公开(公告)号：US20060073349A1

公开(公告)日：2006-04-06

申请号：US11236223

申请日：2005-09-27

申请人： Yasufumi Aihara ,  Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori ,  Tsutomu Kato

发明人： Yasufumi Aihara ,  Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori ,  Tsutomu Kato

IPC分类号： B32B15/04 ,  B32B9/00 ,  B32B19/00

CPC分类号： C04B35/117 ,  B32B18/00 ,  C04B35/119 ,  C04B35/505 ,  C04B35/5626 ,  C04B35/6365 ,  C04B35/645 ,  C04B37/001 ,  C04B37/005 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3246 ,  C04B2235/422 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/604 ,  C04B2235/608 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/9661 ,  C04B2237/064 ,  C04B2237/34 ,  C04B2237/343

摘要： A ceramic member comprises a base including an alumina sintered body, and an yttria sintered body formed on the alumina sintered body and exposed to a corrosive gas; and a metallic member buried in the base.

摘要翻译： 陶瓷构件包括：包含氧化铝烧结体的基体和形成在氧化铝烧结体上并暴露于腐蚀性气体的氧化钇烧结体; 以及埋在基座中的金属构件。

公开(公告)号：US07582367B2

公开(公告)日：2009-09-01

申请号：US11236223

申请日：2005-09-27

申请人： Yasufumi Aihara ,  Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori ,  Tsutomu Kato

发明人： Yasufumi Aihara ,  Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori ,  Tsutomu Kato

IPC分类号： B32B18/00

CPC分类号： C04B35/117 ,  B32B18/00 ,  C04B35/119 ,  C04B35/505 ,  C04B35/5626 ,  C04B35/6365 ,  C04B35/645 ,  C04B37/001 ,  C04B37/005 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3246 ,  C04B2235/422 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/604 ,  C04B2235/608 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/9661 ,  C04B2237/064 ,  C04B2237/34 ,  C04B2237/343

摘要： A ceramic member is provided including a base including an alumina sintered body, an yttria sintered body formed on the alumina sintered body, an intermediate layer including yttrium and aluminum formed between the alumina sintered body and the yttria sintered body, and a metallic member buried in the intermediate layer of the base. A difference between the thermal expansion coefficient of the alumina sintered body and that of the yttria sintered body is equal to or less than about 0.50×10−6/K, and the thermal expansion coefficient of the alumina sintered body is greater than the thermal expansion coefficient of the yttria sintered body. The alumina sintered body, the intermediate layer, the yttria sintered body, and the metallic member are formed into an integrated sintered body, and the content of yttria in the yttria sintered body is 99 wt % or more.

摘要翻译： 提供一种陶瓷构件，其包括基底，其包括氧化铝烧结体，形成在氧化铝烧结体上的氧化钇烧结体，在氧化铝烧结体和氧化钇烧结体之间形成的包括钇和铝的中间层，以及埋入 基底的中间层。 氧化铝烧结体的热膨胀系数与氧化钇烧结体的热膨胀系数之差等于或小于约0.50×10 -6 / K，氧化铝烧结体的热膨胀系数大于热膨胀系数 的氧化钇烧结体。 氧化铝烧结体，中间层，氧化钇烧结体和金属构件形成为一体的烧结体，氧化钇烧结体中的氧化钇含量为99重量％以上。

公开(公告)号：US07375046B2

公开(公告)日：2008-05-20

申请号：US11353861

申请日：2006-02-14

申请人： Yasufumi Aihara ,  Hiroto Matsuda

发明人： Yasufumi Aihara ,  Hiroto Matsuda

IPC分类号： C04B35/505 ,  C04B35/584

CPC分类号： C04B35/505 ,  C04B35/62695 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/3826 ,  C04B2235/3873 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/785 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/9669 ,  H01L21/68757

摘要： A yttria sintered body is provided which includes yttria as a principal ingredient and 5 to 40 vol. % silicon nitride, and which exhibits enhanced corrosion resistance and mechanical strength.

摘要翻译： 提供一种氧化钇烧结体，其包括氧化钇作为主要成分，并且含有5至40体积％ ％的氮化硅，并且其表现出增强的耐腐蚀性和机械强度。

公开(公告)号：US20070042897A1

公开(公告)日：2007-02-22

申请号：US11503715

申请日：2006-08-14

申请人： Yasufumi Aihara ,  Hiroto Matsuda

发明人： Yasufumi Aihara ,  Hiroto Matsuda

IPC分类号： C04B35/505 ,  C04B35/569

CPC分类号： H01L21/6833 ,  C04B35/505 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3826 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/656 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/785 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/95 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/9692 ,  Y10T279/23

摘要： A yttria sintered body contains an amount of silicon carbide within a range of 5 to 40% by volume, has a volume resistivity at room temperature within a range of 1×101 to 1×1017Ω·cm, and is adapted for application to an electrostatic chuck.

摘要翻译： 氧化钇烧结体含有5〜40体积％范围内的碳化硅量，室温下的体积电阻率在1×10 -1〜1×10 17以下的范围内 > Omega.cm，适用于静电吸盘。

公开(公告)号：US20060199722A1

公开(公告)日：2006-09-07

申请号：US11353861

申请日：2006-02-14

申请人： Yasufumi Aihara ,  Hiroto Matsuda

发明人： Yasufumi Aihara ,  Hiroto Matsuda

IPC分类号： C04B35/64 ,  C04B35/505 ,  C04B35/584

CPC分类号： C04B35/505 ,  C04B35/62695 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/3826 ,  C04B2235/3873 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/785 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/9669 ,  H01L21/68757

摘要： A yttria sintered body includes yttria as a principal ingredient, and 5 to 40% by volume of silicone nitride, allowing for an enhanced corrosion resistance and mechanical strength.

摘要翻译： 作为主要成分的氧化钇烧结体和5〜40体积％的氮化硅，能够提高耐腐蚀性和机械强度。

公开(公告)号：US07442450B2

公开(公告)日：2008-10-28

申请号：US11503715

申请日：2006-08-14

申请人： Yasufumi Aihara ,  Hiroto Matsuda

发明人： Yasufumi Aihara ,  Hiroto Matsuda

IPC分类号： B32B15/04 ,  B32B18/00 ,  C04B35/505 ,  C04B35/569

CPC分类号： H01L21/6833 ,  C04B35/505 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3826 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/656 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/785 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/95 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/9692 ,  Y10T279/23

摘要： A yttria sintered body contains an amount of silicon carbide within a range of 5 to 40% by volume, has a volume resistivity at room temperature within a range of 1×101 to 1×1017 Ω·cm, and is adapted for application to an electrostatic chuck.

摘要翻译： 氧化钇烧结体含有5〜40体积％范围内的碳化硅量，室温下的体积电阻率在1×10 -1〜1×10 17以下的范围内 > Omega.cm，适用于静电吸盘。

公开(公告)号：US07564008B2

公开(公告)日：2009-07-21

申请号：US11295150

申请日：2005-12-06

申请人： Yutaka Mori ,  Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori

发明人： Yutaka Mori ,  Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori

IPC分类号： H05B3/68 ,  C23C16/00

CPC分类号： H01L21/68757 ,  B23K35/24 ,  B23K35/32 ,  C04B35/645 ,  C04B37/025 ,  C04B37/026 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/658 ,  C04B2237/086 ,  C04B2237/122 ,  C04B2237/123 ,  C04B2237/125 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/403 ,  C04B2237/62 ,  C04B2237/704 ,  C04B2237/706 ,  C04B2237/72 ,  C04B2237/76 ,  C04B2237/84 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/6833 ,  Y10T29/49087

摘要： An electrostatic chuck includes a base of a sintered body containing alumina, an electrode as a power-supplied member embedded in the base and supplied with electric power, a bonding member embedded in the base and bonded to the electrode, in which a difference in coefficient of thermal expansion from the sintered body is 2×10−6/K or less, and a melting point is higher than baking temperature of the sintered body, and a terminal bonded to the electrode through the bonding member.

摘要翻译： 静电卡盘包括：包含氧化铝的烧结体的基体，嵌入基座中的电力供给部件的电极，供给电力;嵌入到基体中并与电极接合的接合部件，其中系数差 来自烧结体的热膨胀为2×10 -6 / K以下，熔点高于烧结体的烧结温度，以及通过接合部件与电极接合的端子。

公开(公告)号：US20050056976A1

公开(公告)日：2005-03-17

申请号：US10903893

申请日：2004-07-30

申请人： Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori ,  Yutaka Mori

发明人： Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori ,  Yutaka Mori

IPC分类号： H05B3/20 ,  C04B35/00 ,  H01C17/065 ,  H01C17/28 ,  H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683 ,  H05B3/10 ,  H05B3/12 ,  H05B3/14 ,  H05B3/18 ,  H05B3/74

CPC分类号： H01L21/67103 ,  H01C17/06513 ,  H01C17/288 ,  H01L21/6831 ,  Y10T29/49083 ,  Y10T29/49087 ,  Y10T29/49098 ,  Y10T29/49124 ,  Y10T29/49158 ,  Y10T29/49163

摘要： A method of manufacturing an electrical-resistance heating element includes forming sintered ceramics or calcined ceramics, forming an electrode on the sintered ceramics or the calcined ceramics, and forming a ceramic base material having mainly a high melting point metal on the electrode embedded therein, thereby forming a heating element with built-in electrode.

摘要翻译： 电阻加热元件的制造方法包括：在烧结陶瓷或煅烧陶瓷上形成烧结陶瓷或煅烧陶瓷，形成电极，在其上嵌入的电极上形成主要具有高熔点金属的陶瓷基材， 形成具有内置电极的加热元件。

公开(公告)号：US07547407B2

公开(公告)日：2009-06-16

申请号：US11141699

申请日：2005-05-31

申请人： Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori ,  Yutaka Mori

发明人： Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori ,  Yutaka Mori

IPC分类号： B28B3/02 ,  B23B31/28

CPC分类号： C04B35/111 ,  C04B35/62655 ,  C04B35/62665 ,  C04B35/63 ,  C04B35/634 ,  C04B35/6455 ,  C04B41/009 ,  C04B41/52 ,  C04B41/89 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/604 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/963 ,  Y10T279/23 ,  C04B41/4539 ,  C04B41/4572 ,  C04B41/5133 ,  C04B41/5057 ,  C04B41/522 ,  C04B41/5031 ,  C04B41/0072 ,  C04B41/4521 ,  C04B41/4545 ,  C04B35/10

摘要： A manufacturing method for a sintered body having a metallic member buried therein is provided, and includes forming an alumina sintered body, forming a metallic member by printing a printing paste including a refractory metal on the alumina sintered body, forming a green alumina compact on the metallic member, and sintering the alumina compact, the metallic member, and the alumina sintered body or the alumina presintered body.

摘要翻译： 提供了一种埋设有金属构件的烧结体的制造方法，包括：形成氧化铝烧结体，通过在氧化铝烧结体上印刷包含难熔金属的印刷浆料，形成金属构件，在其上形成绿色氧化铝压块 金属构件，烧结氧化铝坯料，金属构件，氧化铝烧结体或氧化铝预烧结体。

公开(公告)号：US20050152089A1

公开(公告)日：2005-07-14

申请号：US11021742

申请日：2004-12-23

申请人： Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori ,  Yasuyoshi Imai ,  Tetsuya Kawajiri

发明人： Hiroto Matsuda ,  Kazuhiro Nobori ,  Yasuyoshi Imai ,  Tetsuya Kawajiri

IPC分类号： C04B35/111 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683 ,  H02N13/00 ,  H02H1/00

CPC分类号： H02N13/00 ,  H01L21/6833 ,  Y10T279/23

摘要： An electrostatic chuck comprises a dielectric ceramic layer made of an alumina sintered body having a volume resistivity equal to or greater than about 1×1017Ω·cm at room temperature and a volume resistivity equal to or greater than about 1×1014Ω·cm at 300° C., and an electrode formed on one surface of the dielectric ceramic layer.

摘要翻译： 静电卡盘包括由室温下体积电阻率等于或大于约1×10 17Ω·cm的氧化铝烧结体制成的电介质陶瓷层，体积电阻率等于或大于约1×10 3 在300℃下的电导率为14Ω·cm，电介质陶瓷层的一个表面上形成电极。