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    TERNARY COMPOSITIONS OF METHYL PERFLUOROHEPTENE ETHERS AND TRANS-1,2-DICHLOROETHYLENE, AND USES THEREOF
    5.
    发明申请
    TERNARY COMPOSITIONS OF METHYL PERFLUOROHEPTENE ETHERS AND TRANS-1,2-DICHLOROETHYLENE, AND USES THEREOF 有权
    甲基全氟代乙酸酯和转化1,2-二氯乙烯的三元组合物及其用途

    公开(公告)号：US20160326468A1

    公开(公告)日：2016-11-10

    申请号：US14707126

    申请日：2015-05-08

    申请人： THE CHEMOURS COMPANY FC LLC

    发明人： MARK L. ROBIN ,  Harrison K. Musyimi ,  Jason R. Juhasz

    IPC分类号： C11D7/50 ,  C11D17/00 ,  B08B3/08 ,  C11D3/24

    CPC分类号： C11D7/5063 ,  B08B3/08 ,  C11D3/24 ,  C11D3/245 ,  C11D3/43 ,  C11D7/30 ,  C11D11/0047 ,  C11D11/0064 ,  C11D11/007 ,  C11D17/0043 ,  C23G5/028 ,  C23G5/032

    摘要： Disclosed are compositions comprising 90 to 99 weight percent trans-1,2-dichloroethylene, from 0.1 to 8 weight percent methylperfluoroheptene ethers and from 0.5 to 2.0 weight percent of a fluorocarbon selected from the group consisting of Z-1,1,1,4,4,4-hexafluoro-2-butene, 1,3,4,4,4-pentafluoro-3-trifluoromethy-1-butene, 1,1,1,4,4,5,5,5-octafluoro-2-pentene, perfluorobutyl methyl ether, perflurobutyl ethyl ether, perfluoroisopropylmethyl ether, perfluoroethyl isopropyl ketone, heptafluorocyclopentane, and E-1,1,1-trifluoro-3-chloro-2-propene, wherein the composition is non-flamable. The disclosure further provides a method for removing residue from a surface of an article comprising: (a) contacting the article with a composition comprising a composition of MPHE, trans-1,2-dichloroethylene and a fluorocarbon selected from the group consisting of Z-1,1,1,4,4,4-hexafluoro-2-butene, 1,3,4,4,4-pentafluoro-3-trifluoromethy-1-butene, 1,1,1,4,4,5,5,5-octafluoro-2-pentene, perfluorobutyl methyl ether, perflurobutyl ethyl ether, perfluoroisopropylmethyl ether, perfluoroethyl isopropyl ketone, heptafluorocyclopentane, and E-1,1,1-trifluoro-3-chloro-2-propene; and (b) recovering the surface from the composition.

    摘要翻译： 公开了包含90至99重量％反-1,2-二氯乙烯，0.1至8重量％的甲基全氟庚烯醚和0.5至2.0重量％的选自Z-1,1,1,4 ，4,4-六氟-2-丁烯，1,3,4,4,4-五氟-3-三氟甲基-1-丁烯，1,1,1,4,4,5,5,5-八氟-2 戊烯，全氟丁基甲基醚，全氟丁基乙基醚，全氟异丙基甲基醚，全氟乙基异丙基酮，七氟环戊烷和E-1,1,1-三氟-3-氯-2-丙烯，其中该组合物是不可挥发的。 本公开还提供了从制品表面除去残余物的方法，包括：（a）使制品与包含MPHE，反式-1,2-二氯乙烯和选自Z- 1,1,1,4,4,4-六氟-2-丁烯，1,3,4,4,4-五氟-3-三氟甲基-1-丁烯，1,1,1,4,4,5， 全氟丁基甲基醚，全氟异丙基甲基醚，全氟乙基异丙基酮，七氟环戊烷和E-1,1,1-三氟-3-氯-2-丙烯; 和（b）从组合物中回收表面。

    WAFER CLEANING FORMULATION
    6.
    发明申请
    WAFER CLEANING FORMULATION 审中-公开
    WAFER CLEANING配方

    公开(公告)号：US20150111805A1

    公开(公告)日：2015-04-23

    申请号：US14582811

    申请日：2014-12-24

    申请人： Lam Research Corporation

    发明人： Artur Kolics

    IPC分类号： C11D11/00 ,  C11D3/20 ,  C11D3/04 ,  C11D1/88

    CPC分类号： C11D11/0047 ,  C11D1/88 ,  C11D3/0073 ,  C11D3/042 ,  C11D3/06 ,  C11D3/2075 ,  C11D3/2082 ,  C11D3/2086 ,  C11D3/245 ,  C11D3/3409 ,  C11D3/361 ,  C11D3/362 ,  H01L21/02071

    摘要： Methods and systems for cleaning corrosion product of a metallic layer from the surface of a substrate are provided. According to one embodiment, a treatment solution includes a surfactant, a complexing agent, and a pH adjuster. The surfactant is configured to enhance wetting of the substrate surface, and inhibit further corrosion of the capping layer. The complexing agent is configured to bind to metal ions which have desorbed from the substrate surface. The pH adjuster is configured to adjust the pH to a desired level, so as to promote desorption of the corrosion product from the substrate surface.

    摘要翻译： 提供了用于从衬底表面清洁金属层的腐蚀产物的方法和系统。 根据一个实施方案，处理溶液包括表面活性剂，络合剂和pH调节剂。 表面活性剂被配置为增强基底表面的润湿，并且抑制覆盖层的进一步腐蚀。 络合剂被配置成结合从衬底表面解吸的金属离子。 pH调节器被配置为将pH调节至所需水平，以便促进腐蚀产物从基底表面的解吸附。