Abstract:
Es wird ein Verfahren zur Strukturierung einer Halbleiteroberfläche angegeben, mit den folgenden Schritten: Bereitstellen eines ersten Wafers (1), welcher eine strukturierte Oberfläche (11) aufweist; Bereitstellen eines zweiten Halbleiterwafers (3); Aufbringen eines Fotolacks (2) auf die Außenflächen des zweiten Halbleiterwafers (3); Strukturieren der dem zweiten Halbleiterwafer (3) abgewandten Oberfläche des Fotolacks (2) durch Abdrucken der strukturierten Oberfläche (11) des ersten Wafers (1) in den Fotolack (2); Anwendung eines Strukturierungsverfahrens (6) auf die strukturierte Oberfläche (21) des Fotolacks (2), wobei die auf dem Fotolack (2) aufgebrachte Struktur zumindest stellenweise auf die Außenfläche (31) des zweiten Halbleiterwafers (3) übertragen wird.
Abstract:
Es wird ein Verfahren zur Herstellung von optoelektronischen Bauelementen (1) angegeben, bei dem eine Mehrzahl von Halbleiterkörpern (2) mit jeweils einer Halbleiterschichtenfolge bereitgestellt wird. Weiterhin wird ein Bauelementträgerverbund (30) mit einer Mehrzahl von Anschlussflächen (35) bereitgestellt. Die Halbleiterkörper (2) werden relativ zum Bauelementträgerverbund (30) positioniert. Zwischen den Anschlussflächen (35) und den zugeordneten Halbleiterkörpern (2) wird eine elektrisch leitende Verbindung hergestellt und die Halbleiterkörper werden an dem Bauelementträgerverbund (30) befestigt. Die optoelektronischen Bauelemente (2) werden fertig gestellt, wobei für jedes optoelektronische Bauelement (1) ein Bauelementträger (3) aus dem Bauelementträgerverbund (30), auf dem die Halbleiterkörper (2) befestigt sind, ausgebildet wird. Ferner wird ein optoelektronisches Bauelement angegeben.
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelementes (9), wobei ein Gitter (7) auf einem Träger (1) gebildet wird, so dass Vertiefungen entstehen, eine Mehrzahl von Halbleiterchips (4) auf dem Träger (1) angeordnet wird, so dass die Halbleiterchips (4) innerhalb der Vertiefungen positioniert sind, die Vertiefungen, in denen die Halbleiterchips (4) angeordnet sind, mit einem Abdeckmaterial (8) gefüllt werden, so dass die Vertiefungen bis zur Höhe des Gitters (7) gefüllt sind, das Abdeckmaterial (8) ausgehärtet wird und die Halbleiterchips (4) von dem Träger (1) und dem Gitter (7) getrennt werden.
Abstract:
Es wird ein optoelektronisches Bauelement mit einem Halbleiterkörper (2), der eine Halbleiterschichtenfolge mit einem zur Strahlungserzeugung geeigneten aktiven Bereich (4) aufweist, einer auf dem Halbleiterkörper angeordneten Reflektorschicht (72) und zwei elektrischen Kontakten (7,8) angegeben, wobei ein erster Kontakt (7) der beiden Kontakte auf der der Reflektorschicht zugewandten Seite des aktiven Bereichs elektrisch leitend mit dem Halbleiterkörper verbunden ist, der zweite Kontakt (8) der beiden Kontakte auf der von der Reflektorschicht abgewandten Seite des aktiven Bereichs elektrisch leitend mit dem Halbleiterkörper verbunden ist und die Reflektorschicht zwischen einem Teilbereich des zweiten Kontakts und dem Halbleiterkörper angeordnet ist.
Abstract:
Es wird ein optoelektronisches Bauelement (1) mit einem Halbleiterkörper (2), der einen zur Strahlungserzeugung geeigneten aktiven Bereich (4) aufweist, und mit zwei auf dem Halbleiterkörper angeordneten elektrischen Kontakten (7, 8) angegeben, wobei die Kontakte elektrisch leitend mit dem aktiven Bereich verbunden sind, die Kontakte jeweils eine vom Halbleiterkörper abgewandte Anschlussfläche (70, 80) aufweisen, die Anschlussflächen auf einer Anschlussseite des Bauelements angeordnet sind und eine von der Anschlussseite verschiedene Seite des Bauelements verspiegelt ist. Weiterhin wird ein Verfahren zur Herstellung einer Mehrzahl derartiger Bauelemente angegeben.
Abstract:
The invention relates to a method for producing an etching mask, characterized by covering the photosensitive resist layer (3), disposed on the surface (2) of a substrate (1), with a metallization layer (7) in order to heat it up so that after heating an etch-resisting photosensitive resist layer having discrete structures is available.
Abstract:
Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterbauteils angegeben, mit den folgenden Schritten: - Bereitstellen eines ersten Wafers (1), welcher eine strukturierte Oberfläche (11) aufweist, wobei die strukturierte Oberfläche (11) zumindest stellenweise durch Erhebungen (E1, E2) erster (H1) und zweiter Höhe (H2) gebildet ist, wobei die erste Höhe (H1) größer ist als die zweite Höhe (H2); - Bereitstellen eines zweiten Wafers (3); - Aufbringen eines Fotolacks (2) auf die Außenflächen des zweiten Wafers (3); - Strukturieren der dem zweiten Wafer (3) abgewandten Oberfläche des Fotolacks (2) durch Abdrucken der strukturierten Oberfläche (11) des ersten Wafers (1) in den Fotolack (2), wobei die Erhebungen (E1, E2) als Gräben (G1, G2) erster und zweiter Tiefe in den Fotolack (2) abgedruckt werden; - Anwendung eines Strukturierungsverf ahrens (6) auf die strukturierte Oberfläche (21) des Fotolacks (2), wobei - die auf dem Fotolack (2) aufgebrachte Struktur zumindest stellenweise auf die Außenfläche (30) des zweiten Wafers (3) übertragen wird.
Abstract:
Es wird ein Verfahren angegeben, bei dem ein Grundkörper bereitgestellt wird, der eine Schichtenfolge für den Lumineszenzdiodenchip aufweist, die geeignet ist, eine elektromagnetische Strahlung zu emittieren. Auf zumindest eine Hauptfläche des Grundkörpers wird eine Deckschicht aufgebracht. In die Deckschicht wird mindestens eine Kavität eingebracht, die vollständig oder teilweise mit einem Lumineszenzkonversionsmaterial gefüllt wird. Das Lumineszenzkonversionsmaterial weist mindestens einen Leuchtstoff auf. Zudem wird ein Verfahren angegeben, bei dem die Deckschicht photostrukturierbares Material sowie mindestens einen Leuchtstoff aufweist, so dass sie als Lumineszenzkonversionsmaterial fungieren und unmittelbar photostrukturiert werden kann. Weiterhin werden Lumineszenzdiodenchips beschrieben, die mit den Verfahren herstellbar sind.
Abstract:
Eine Photolackschicht (3) auf der Oberfläche (2) eines Substrats (1) wird zum Aufheizen mit einer Metallisierungsschicht (7) abgedeckt, so daß nach dem Aufheizen eine ätzstabile Photolackschicht mit scharfen Strukturen zur Verfügung steht.