公开(公告)号：WO2016174565A1

公开(公告)日：2016-11-03

申请号：PCT/IB2016/052335

申请日：2016-04-25

Applicant: FRUMKIN, Ted Greg Lee

Inventor： FRUMKIN, Ted Greg Lee

IPC: B65G15/58 ,  B65G23/08 ,  B65G15/28 ,  B65G15/42 ,  B25J11/00 ,  B25J15/00 ,  B81B7/04

CPC classification number: B81B7/04 ,  B25J15/008 ,  B65G15/30 ,  B65G15/58 ,  C09J7/00 ,  C09J2201/626

Abstract: The present disclosure describes carriers for carrying products, connected with reusable stickiness (adhesive) to grab and release different surfaces (products). The present invention also includes different gecko carriers such as a gecko conveyor, gecko cylinder, mechanical gecko arm, etc. While the gecko's "glue" holds the product on the carrier strongly in one direction, one can easily pull the product out to the other direction. Due to the gecko carrier no extra motor or vacuum is needed, hence saving on costs and on extra parts that can be damaged, as well the shape of the product can be changed and not necessarily symmetric. The gecko carrier can come as a complete new product or the gecko adhesive can be as an add-on a belt of an existing carrier. The present invention also include a carrier that has reusable adhesive made out of carbon nanotubes mimicking a gecko foot.

Abstract translation: 本公开描述了携带产品的载体，其与可重复使用的粘性（粘合剂）连接以抓住并释放不同的表面（产品）。 本发明还包括壁虎式输送机，壁虎式气缸，机械壁虎臂等不同的壁虎装置。而壁虎的“胶水”将产品在一个方向上牢固地承载在载体上，可以方便地将产品拉出到另一个方向 方向。 由于壁虎式载体不需要额外的电动机或真空，因此节省了成本和可损坏的额外部件，并且产品的形状可以改变而不一定对称。 壁虎架可以作为一个完整的新产品，或者壁虎胶粘剂可以作为现有载体的附加带。 本发明还包括具有由可模仿壁虎脚的碳纳米管制成的可重复使用的粘合剂的载体。

公开(公告)号：WO2014031172A1

公开(公告)日：2014-02-27

申请号：PCT/US2013/032486

申请日：2013-03-15

Applicant: PRESIDENT AND FELLOWS OF HARVARD COLLEGE

Inventor： PARK, Hongkun ,  SHALEK, Alexander, K. ,  JORGOLLI, Marsela

IPC: B01L3/00 ,  B82Y5/00 ,  B82Y15/00 ,  C12M1/20 ,  B81C1/00

CPC classification number: B81C1/00111 ,  B01L3/5085 ,  B01L99/00 ,  B01L2300/0851 ,  B01L2300/0896 ,  B01L2300/163 ,  B01L2400/086 ,  B81B7/04 ,  B81B2201/055 ,  B81B2203/0361 ,  B81B2207/056 ,  B82Y15/00 ,  B82Y30/00 ,  C12M23/12 ,  C12M25/00 ,  C12N1/20 ,  C12N5/0068 ,  Y10T156/10

Abstract: The present invention generally relates to nanowire arrays and methods of fabricating such arrays. In certain embodiments, the fabrication methods can consistently form NW arrays with reproducible configurations at nanoscale sites and produce NWs of specified heights, diameters, and densities. In some cases, the methods also allow formation of NW arrays containing barriers between regions, which would be prohibitively expensive if prepared by other methods.

Abstract translation: 本发明一般涉及纳米线阵列和制造这种阵列的方法。 在某些实施例中，制造方法可以一致地形成具有可再现配置的NW阵列，并且产生规定的高度，直径和密度的NW。 在一些情况下，这些方法还允许形成包含区域之间的屏障的NW阵列，如果通过其它方法制备，这将是非常昂贵的。

公开(公告)号：WO2009113315A1

公开(公告)日：2009-09-17

申请号：PCT/JP2009/001126

申请日：2009-03-13

Applicant: 国立大学法人東京大学 ,  パナソニック株式会社 ,  下山勲 ,  松本潔 ,  岩瀬英治 ,  中井亮仁 ,  グェン ビン・キェム ,  田中悠輔 ,  蜂谷修二 ,  中村徹 ,  小林昌市

Inventor： 下山勲 ,  松本潔 ,  岩瀬英治 ,  中井亮仁 ,  グェン ビン・キェム ,  田中悠輔 ,  蜂谷修二 ,  中村徹 ,  小林昌市

IPC: G01L5/16 ,  B81B3/00 ,  G01L5/00 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01L5/228 ,  B81B7/04 ,  B81B2201/0292 ,  G01L5/162

Abstract: 　基板部材に固定された微小３次元構造体要素を覆うようにその内部に配置するとともに、基板部材に固定された弾性体を有する複数の３次元構造体構成用素子を、互いの基板部材を離間させた状態にて膜状弾性体内に配置させて３次元構造体を構成することにより、膜状弾性体内にて、複数の３次元構造体構成用素子を、所望の配置間隔や位置に配置することができ、様々な仕様に対応することができる。

Abstract translation: 提供了包括多个三维结构构造元件的三维结构，每个三维结构构造元件包括基板构件和固定到基板构件并且覆盖设置在其中的多个三维结构构造元件的弹性体，其中 将多个三维结构构造元件设置在膜状弹性体中，使得基板构件彼此间隔开的状态，由此可以将多个三维结构构造元件设置在期望的布置空间或位置 在膜状弹性体中。 因此，三维结构可以对应于各种规格。

公开(公告)号：WO2003042094A2

公开(公告)日：2003-05-22

申请号：PCT/US2002/035890

申请日：2002-11-07

Applicant: MOVAZ NETWORKS, INC.

Inventor： BHATTARAI, Amal ,  RAJAN, Narayanan

IPC: B81B7/04

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B7/04 ,  B81B2201/042 ,  B81C1/00238

Abstract: An integrated module including an array of electrostatically actuated mirrors usable as an optical switch. An array of tiltable mirrors (70, 72) is formed as a micro electromechanical system (MEMS) in one substrate carrier (60). A ceramic multi-chip module (MCM) (62) is formed having multiple layers (80) of wiring and electrodes (94) at one surface forming one side part of the electrostatic capacitive actuators. The MEMS substrate is bonded to the carrier (62) with the carrier electrodes (94) in opposition to the mirrors (70, 72), which form counter electrodes. Advantageously, a handle layer of the MEMS substrate is not removed and the mirrors released until after the bonding with the MCM. Separate high-voltage integrated circuits (ICs) (66) driving the actuators and low-voltage ICs controlling the high-voltage ICs (66) are bonded on the side of the MCM (62) opposite the MEMS (60) with the MCM providing electrical interconnections (68).

Abstract translation: 一种集成模块，包括可用作光学开关的静电致动反射镜阵列。 在一个衬底载体（60）中形成可倾斜反射镜阵列（70,72）作为微机电系统（MEMS）。 陶瓷多芯片模块（MCM）（62）形成为在形成静电电容式致动器的一个侧面的一个表面处具有多层（80）布线和电极（94）。 MEMS基板与载体（62）接合，载体电极（94）与形成对电极的反射镜（70,72）相对。 有利地，MEMS衬底的手柄层不被去除，并且反射镜释放直到与MCM接合之后。 驱动执行器的单独高压集成电路（66）和控制高电压IC（66）的低电压IC与MCM（60）的MCM（62）侧面接合，MCM提供 电互连（68）。

公开(公告)号：WO2002059679A1

公开(公告)日：2002-08-01

申请号：PCT/US2002/002386

申请日：2002-01-25

Applicant: NAYNA NETWORKS, INC.

Inventor： GEE, Dale, A. ,  YANG, Xiao ,  NAYAK, Anup, K.

IPC: G02B26/00

CPC classification number: G02B6/359 ,  B81B7/04 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3556 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3584 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/0841 ,  G02B2006/12104 ,  H04Q11/0005 ,  H04Q2011/003 ,  H04Q2011/0039

Abstract: An integrated circuit and mirror device including a first substrate (401) comprising a plurality of electrode groups (406), wherein each of the groups comprises a plurality of electrodes. A mirror array (402) formed on a second substrate, each mirror has a mirror surface able to pivot about a fixed point in space. Each of the mirrors has a backside surface operably coupled to one of the electrode groups. A bonding layer (404) mechanically couples the first substrate to the second substrate, whereupon the backside surface of each mirror faces one of the electrode groups. The device has a drive circuitry (400) coupled to each electrode group and configured to apply a voltage to any one of the electrodes in each of the groups. The drive circuitry is disposed in the first substrate and being adapted to pivot each of the mirror faces about the point in space.

Abstract translation: 一种集成电路和镜装置，包括包括多个电极组（406）的第一衬底（401），其中每个组包括多个电极。 形成在第二基板上的反射镜阵列（402），每个反射镜具有能够围绕空间中的固定点枢转的镜面。 每个反射镜具有可操作地耦合到电极组之一的背面。 接合层（404）将第一衬底机械地耦合到第二衬底，于是每个镜的背面面对着电极组之一。 该装置具有耦合到每个电极组的驱动电路（400），并被配置为向每个组中的每个组中的任何一个电极施加电压。 所述驱动电路设置在所述第一基板中并且适于使所述镜面中的每一个围绕所述空间点枢转。

公开(公告)号：WO2017006994A1

公开(公告)日：2017-01-12

申请号：PCT/JP2016/070137

申请日：2016-07-07

Applicant: シャープ株式会社

Inventor： 村重　正悟 ,  石田　和泉 ,  小坂　知裕 ,  岡部　達 ,  原　猛 ,  錦　博彦

IPC: G09F9/30 ,  B81B3/00 ,  B81B7/04 ,  G02B26/02 ,  G02F1/1368 ,  G09F9/00 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10 ,  H05B33/22 ,  H05B33/24 ,  H05B33/26

CPC classification number: B81B3/00 ,  B81B7/04 ,  G02B26/02 ,  G02F1/1368 ,  G09F9/00 ,  G09F9/30 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10 ,  H05B33/22 ,  H05B33/24 ,  H05B33/26

Abstract: アクティブマトリクス基板のＴＦＴと基板との間に設けられる膜の端部における クラックの発生を抑制する。アクティブマトリクス基板は、複数のＴＦＴを有する。アクティブマトリクス基板１１は、基板１００と、ＴＦＴと、光透過膜２０４と、保護膜Ｃａｐ４とを備える。ＴＦＴは、複数の画素の各々に対応して基板１００上に設けられる。光透過膜２０４は、ＴＦＴと基板１００の間に設けられる。保護膜Ｃａｐ４は、光透過膜２０４の基板１００と平行でない端面２０４ｂを覆う。ＴＦＴは、ゲート電極と、ゲート絶縁膜と、半導体膜と、ドレイン電極及びソース電極を有する。保護膜Ｃａｐ４は、光透過膜２０４とＴＦＴの半導体膜の間に配置される。

Abstract translation: 本发明抑制在有源矩阵基板的TFT和基板之间设置的膜的边缘发生裂纹。 该有源矩阵基板包括多个TFT。 有源矩阵基板11设置有基板100，TFT，透光膜204和保护膜Cap4。 TFT被布置在基板100上，以分别对应于多个像素。 透光膜204布置在TFT和基板100之间。保护膜Cap4覆盖透光膜204的端面204b，所述端面204b不平行于基板100.每个TFT包括栅极 电极，栅极绝缘膜，半导体膜，漏电极和源电极。 保护膜Cap4布置在透光膜204和每个TFT的半导体膜之间。

公开(公告)号：WO2014035486A1

公开(公告)日：2014-03-06

申请号：PCT/US2013/032702

申请日：2013-03-15

Applicant: MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY ,  MURARKA, Apoorva ,  BULOVIC, Vladimir ,  WANG, Annie, I-jen ,  LANG, Jeffrey, Hastings

Inventor： MURARKA, Apoorva ,  BULOVIC, Vladimir ,  WANG, Annie, I-jen ,  LANG, Jeffrey, Hastings

IPC: B81B7/04 ,  G02B26/08

CPC classification number: B81B7/04 ,  B06B1/02 ,  B81B2201/042 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2207/053 ,  B81C2201/0185 ,  B81C2201/0194 ,  G02B26/0825 ,  G02B26/0841 ,  G10K9/12

Abstract: The disclosed embodiments provide sensitive pixel arrays formed using solvent-assisted or unassisted release processes. Exemplary devices include detectors arrays, tunable optical instruments, deflectable mirrors, digital micro-mirrors, digital light processing chips, tunable optical micro-cavity resonators, acoustic sensors, acoustic actuators, acoustic transducer devices and capacitive zipper actuators to name a few.

Abstract translation: 所公开的实施例提供了使用溶剂辅助或非辅助释放方法形成的敏感像素阵列。 示例性设备包括检测器阵列，可调谐光学仪器，偏转镜，数字微镜，数字光处理芯片，可调谐光学微腔谐振器，声学传感器，声学致动器，声学换能器装置和电容拉链致动器。

公开(公告)号：WO2012037539A1

公开(公告)日：2012-03-22

申请号：PCT/US2011/052064

申请日：2011-09-18

Applicant: FAIRCHILD SEMICONDUCTOR CORPORATION ,  ACAR, Cenk

Inventor： ACAR, Cenk

IPC: G01P15/02 ,  G01P15/097 ,  G01C19/56 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

CPC classification number: H01L29/84 ,  B81B7/04 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2203/051 ,  B81B2203/053 ,  B81B2203/055 ,  B81B2203/056 ,  B81B2203/058 ,  B81B2207/094 ,  G01C19/5755 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0848

Abstract: This document discusses, among other things, an inertial measurement system including a device layer including a single proof-mass 3 -axis accelerometer, a cap wafer bonded to a first surface of the device layer, and a via wafer bonded to a second surface of the device layer, wherein the cap wafer and the via wafer are configured to encapsulate the single proof-mass 3 -axis accelerometer. The single proof-mass 3 -axis accelerometer can be suspended about a single, central anchor, and can include separate x, y, and z-axis flexure bearings, wherein the x and y-axis flexure bearings are symmetrical about the single, central anchor and the z-axis flexure is not symmetrical about the single, central anchor.

Abstract translation: 该文献尤其讨论了一种惯性测量系统，该惯性测量系统包括：包括单个质量块3轴加速度计的器件层，结合到器件层的第一表面的帽晶片和结合到器件层的第二表面的通孔晶片 器件层，其中帽晶片和通孔晶片被配置为封装单个质量块3轴加速度计。 单个质量块3轴加速度计可以围绕单个中心锚悬挂，并且可以包括单独的x，y和z轴挠曲轴承，其中x和y轴挠曲轴承关于单个中心对称 锚和Z轴弯曲关于单个中心锚不对称。

公开(公告)号：WO2010054244A2

公开(公告)日：2010-05-14

申请号：PCT/US2009/063616

申请日：2009-11-06

Applicant: CAVENDISH KINETICS, INC. ,  SMITH, Charles Gordon ,  KNIPE, Richard L. ,  JOSHI, Vikram ,  GADDI, Roberto ,  UNAMUNO, Anartz ,  VAN KAMPEN, Robertus Petrus

Inventor： SMITH, Charles Gordon ,  KNIPE, Richard L. ,  JOSHI, Vikram ,  GADDI, Roberto ,  UNAMUNO, Anartz ,  VAN KAMPEN, Robertus Petrus

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81B7/04 ,  B81B2201/0221 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2207/053 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P15/135 ,  H01G5/18 ,  H01G5/40

Abstract: Embodiments disclosed herein generally include using a large number of small MEMS devices to replace the function of an individual larger MEMS device or digital variable capacitor. The large number of smaller MEMS devices perform the same function as the larger device, but because of the smaller size, they can be encapsulated in a cavity using complementary metal oxide semiconductor (CMOS) compatible processes. Signal averaging over a large number of the smaller devices allows the accuracy of the array of smaller devices to be equivalent to the larger device. The process is exemplified by considering the use of a MEMS based accelerometer switch array with an integrated analog to digital conversion of the inertial response. The process is also exemplified by considering the use of a MEMS based device structure where the MEMS devices operate in parallel as a digital variable capacitor.

Abstract translation: 本文公开的实施例通常包括使用大量的小MEMS器件来代替单个更大的MEMS器件或数字可变电容器的功能。 大量较小的MEMS器件具有与较大器件相同的功能，但是由于尺寸较小，因此可以使用互补金属氧化物半导体（CMOS）兼容工艺封装在腔中。 通过大量较小器件的信号平均，允许较小器件阵列的精度等同于较大的器件。 通过考虑使用具有惯性响应的集成模数转换的基于MEMS的加速度计开关阵列来举例说明该过程。 还通过考虑使用MEMS器件结构（其中MEMS器件并行地作为数字可变电容器）来使用该过程。

公开(公告)号：WO2009002215A1

公开(公告)日：2008-12-31

申请号：PCT/RU2008/000331

申请日：2008-05-28

Applicant: XAPTOB, Станислав Викторович ,  НЕВОЛИН, Владимир Кириллович

Inventor： XAPTOB, Станислав Викторович ,  НЕВОЛИН, Владимир Кириллович ,  СИМУНИН, Михаил Максимович

IPC: B82B1/00 ,  B82B3/00

CPC classification number: B81B7/04 ,  B81B2201/0214 ,  B81C2201/0149 ,  B82Y30/00 ,  G01N29/036 ,  G01N2291/0256

Abstract: Изобретение относится к микро- и наноэлектромеханическим устройствам и к способу их изготовления. В одном из вариантов реализации изобретения в основе получения наноэлектромеханической структуры лежат механизмы самоорганизации и самосовмещения, в результате чего ее существенные геометрические параметры не испытывают ограничения со стороны возможностей традиционной фотолитографии. Данное обстоятельство обеспечивает достижение степени интеграции до 10 16 м -2 и выше. Кроме того, в одном из аспектов изобретения в качестве независимой координаты адресации элементов используется их резонансная частота, что позволяет уменьшить плотность необходимых межсоединений. В другом аспекте изобретения обеспечивается датчик газов, обладающий высокой чувствительностью измерения концентрации определенных газов или частиц в атмосфере, универсальными и гибкими механизмами селективности, контролируемым процессом регенерации сенсорной способности. Предложенная структура обеспечивает простой способ измерения резонансной частоты осциллирующего элемента, не предполагающий анализ высокочастотного сигнала.

Abstract translation: 本发明涉及微机电装置和纳米机电装置及其生产方法。 用于制造纳米机电结构的本发明方法的一个变型是基于自组织和自对准机构的使用，从而相对于传统光刻的可能性来限制其基本几何参数，这使得有可能 达到等于1016 m-2以上的积分度。 此外，本发明的一个方面使用其独立寻址坐标形式的元件的谐振频率，从而可以降低所需互连的密度。 本发明的另一方面提供了一种具有高度灵敏度的气体传感器，其具有多种用途和灵活的选择性机制以及感官能力再生的可控过程。 本发明的结构提供了用于测量不需要高频信号分析的振荡元件的谐振频率的简单方法。