公开(公告)号：WO2014156543A1

公开(公告)日：2014-10-02

申请号：PCT/JP2014/055813

申请日：2014-03-06

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 神藤　明日美 ,  井上　勝弘 ,  勝田　祐司 ,  片居木　俊 ,  天野　真悟 ,  杉本　博哉

IPC: H01L21/683 ,  C04B35/565

CPC classification number: H01L21/67109 ,  B21D53/02 ,  B32B9/005 ,  B32B37/10 ,  B32B38/0012 ,  B32B2311/00 ,  B32B2311/24 ,  B32B2315/02 ,  C04B35/5615 ,  C04B35/575 ,  C04B35/62635 ,  C04B37/006 ,  C04B2235/3826 ,  C04B2235/3843 ,  C04B2235/3891 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/5472 ,  C04B2235/656 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/80 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/9607 ,  C04B2237/365 ,  C04B2237/366 ,  C04B2237/402 ,  C04B2237/708 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/6833 ,  H01L21/68757 ,  Y10T29/4935

Abstract: 半導体製造装置用部材（１０）は、ＡｌＮ製の静電チャック（２０）と、冷却板（３０）と、冷却板－チャック接合層（４０）とを備えている。冷却板（３０）は、第１～第３基板（３１～３３）と、第１及び第２基板（３１，３２）の間に形成された第１金属接合層（３４）と、第２及び第３基板（３２，３３）の間に形成された第２金属接合層（３５）と、冷媒通路（３６）とを備えている。第１～第３基板（３１～３３）は、含有量の多いものからＳｉＣ，Ｔｉ ３ ＳｉＣ ２ 及びＴｉＣをこの順に含む緻密質複合材料で形成されている。金属接合層（３４，３５）は、第１及び第２基板（３１，３２）の間と第２及び第３基板（３２，３３）の間にＡｌ－Ｓｉ－Ｍｇ系接合材を挟んで各基板（３１～３３）を熱圧接合することにより形成されたものである。

Abstract translation: 用于半导体制造装置的构件（10）设置有由AlN，冷却板（30）和冷却板卡盘接合层（40）形成的静电卡盘（20）。 冷却板（30）设置有：第一至第三基板（31-33），形成在第一和第二基板（31,32）之间的第一金属接合层（34），第二金属接合层（35） ）形成在第二和第三基板（32,33）之间，以及冷却剂通道（36）。 第一至第三基底（31-33）由含有SiC，Ti 3 SiC 2和TiC的致密复合材料形成，所述物质按内容的降序列出。 金属接合层（34,35）通过在第一和第二基板（31,32）之间以及第二和第三基板（32,33）之间插入Al-Si-Mg结合材料并将基板（31 -33）。

公开(公告)号：WO2013160581A1

公开(公告)日：2013-10-31

申请号：PCT/FR2013/050814

申请日：2013-04-15

Applicant: SAINT-GOBAIN CENTRE DE RECHERCHES ET D'ETUDES EUROPEEN ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE

Inventor： ROSSIQUET, Gilles ,  JORGE, Eric

IPC: C04B35/575

CPC classification number: C04B35/565 ,  C04B35/573 ,  C04B35/575 ,  C04B35/62625 ,  C04B35/62695 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/666

Abstract: Produit fritté présentant une masse volumique relative supérieure à 97% et constitué par: -plus de 92% poids de carbure de silicium, -entre 0,5 et 8% poids d'une phase secondaire amorphe comprenant les éléments O, Si et un ou deux éléments choisis parmi Al et Y, -moins de 2% d'autres éléments, présents dans ledit produit sous forme d'une phase supplémentaire ou d'impuretés inévitables, dans lequel le carbure de silicium est présent sous forme de grains cristallisés et dans lequel ladite phase secondaire est amorphe et localisée essentiellement aux joints des grains de carbure de silicium.

Abstract translation: 本发明涉及一种相对密度高于97％的烧结产品，由以下组成：超过92重量％的碳化硅; 包含元素O，Si和选自Al和Y的一种或两种元素的次级非晶相的0.5至8重量％; 和至少2％的其它元素，以附加相的形式存在于所述产物中或作为不可避免的杂质，其中碳化硅以结晶晶粒的形式存在，并且其中所述第二相是无定形的并且基本上位于 在碳化硅晶界。

公开(公告)号：WO2013089650A1

公开(公告)日：2013-06-20

申请号：PCT/SK2011/000024

申请日：2011-12-13

Applicant: ÚSTAV ANORGANICKEJ CHEMIE SAV ,  CENTRUM VEDECKO-TECHNICKYCH INFORMACII SR

Inventor： ŠAJGALIK, Pavol ,  HNATKO, Miroslav ,  PÁNEK, Zdeno

IPC: B30B11/02 ,  B30B11/00 ,  B30B15/34

CPC classification number: B30B15/34 ,  B22F3/03 ,  B22F3/14 ,  B28B3/025 ,  B30B11/005 ,  B30B11/027 ,  C04B35/10 ,  C04B35/46 ,  C04B35/48 ,  C04B35/505 ,  C04B35/5607 ,  C04B35/5611 ,  C04B35/5626 ,  C04B35/575 ,  C04B35/58014 ,  C04B35/5805 ,  C04B35/58071 ,  C04B35/58078 ,  C04B35/581 ,  C04B35/583 ,  C04B35/593 ,  C04B35/597 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/96

Abstract: Laboratory heat press consists of furnace part equipped with dilatometer which is placed beneath removable double-acting pneumatic cylinder anchored on four shafts, of power supply and of computer which regulates process and collects data, while in the working space is situated graphite press die with sample, which is placed on sliding piston holder and the device is equipped with control electronics. Heating equipment is graphite element, and around the element are situated graphite shields made from solid graphite and graphite wool insulation. Outer shell of furnace and both flanges are water cooled. Flanges are equipped with holes for thrust pistons and the furnace shell contains hole for connecting the vacuum pump and hole for installation of the pyrometer. Graphite pressing die with sample is equipped with pistons, which are influenced by power from double-acting pneumatic cylinder, while on the both graphite pistons are graphite radiative rings and between them is graphite wool.

Abstract translation: 实验室热压机由炉体部分组成，其内装有膨胀计，该膨胀计位于可移动双作用气缸下方，锚固在四个轴上，电源和计算机进行调节过程并收集数据，而在工作空间内设有石墨压模 ，其放置在滑动活塞保持器上，并且该装置配备有控制电子器件。 加热设备是石墨元件，元件周围设有由固体石墨和石墨棉绝缘材料制成的石墨屏蔽。 炉外壳和两个法兰都是水冷的。 法兰装有推力活塞孔，炉壳包含用于连接真空泵和孔的孔，用于安装高温计。 带样品的石墨压模配有活塞，受双作用气动缸的动力影响，而两个石墨活塞均为石墨辐射环，两者之间为石棉。

公开(公告)号：WO2012063923A1

公开(公告)日：2012-05-18

申请号：PCT/JP2011/076004

申请日：2011-11-10

Applicant: 国立大学法人京都大学 ,  檜木 達也 ,  朴 二玄

Inventor： 檜木　達也 ,  朴　二玄

IPC: C04B35/80 ,  C04B38/06 ,  G21B1/13 ,  G21C3/30 ,  G21C7/10

CPC classification number: C04B35/575 ,  B32B18/00 ,  C04B35/565 ,  C04B35/573 ,  C04B35/645 ,  C04B35/806 ,  C04B38/0032 ,  C04B38/068 ,  C04B2111/28 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3826 ,  C04B2235/383 ,  C04B2235/3834 ,  C04B2235/422 ,  C04B2235/5244 ,  C04B2235/5264 ,  C04B2235/614 ,  C04B2235/616 ,  C04B2235/662 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/9607 ,  C04B2237/365 ,  C04B2237/38 ,  G21B1/13 ,  G21C7/10 ,  G21C15/00 ,  G21C17/017 ,  H05H2001/4695 ,  Y02E30/128 ,  C04B38/0074

Abstract: 　本発明に係るSiCセラミックス材料は、多孔質SiCセラミックス母材中にSiC連続繊維の束を含んで成り、断熱性を有し、高強度であるのみならず、高靱性をも有する。本発明に係るSiCセラミックス構造体は、前記SiCセラミックス材料から構成され、SiC粉末と炭素粉末を水等の液中に入れて混合したスラリーと、SiC連続繊維の束とを用いて加熱焼結体を作製した後、炭素粉末を気化放出することにより製造することができる。また、本発明に係るSiCセラミックス構造体は、SiC連続繊維の束と炭素成分とSi粉末とを含む反応準備体をシリコンの融点以上の温度に加熱し、炭素成分とSi粉末を反応させて得た反応焼結体から残留炭素成分を気化放出することによっても製造することができる。さらに、本発明に係るSiCセラミックス構造体は、化学蒸着法により製造することもできる。　

Abstract translation: 本发明提供一种在多孔碳化硅陶瓷原料中含有一束SiC连续纤维的SiC陶瓷材料，具有绝热性能，不仅具有高强度，而且具有高韧性。 还提供了一种由SiC陶瓷材料构成的SiC陶瓷结构体，其能够通过使用一束SiC连续纤维和混合在水或其它液体中的SiC粉末和碳粉末的浆料来制造热烧结体; 然后汽化并释放碳粉。 SiC陶瓷结构体也可以通过加热包含SiC连续纤维束，碳组成和Si粉末的反应制剂在等于或高于硅的熔点温度下，并蒸发并释放残留的碳组成 由碳组合物和Si粉末反应得到的反应烧结体。 此外，SiC陶瓷结构可以通过化学气相沉积制造。

公开(公告)号：WO2008037765A2

公开(公告)日：2008-04-03

申请号：PCT/EP2007060258

申请日：2007-09-27

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE ,  ALLEMAND ALEXANDRE ,  AUDUBERT FABIENNE

Inventor： ALLEMAND ALEXANDRE ,  AUDUBERT FABIENNE

IPC: C04B37/00

CPC classification number: C04B35/645 ,  C04B35/5611 ,  C04B35/5622 ,  C04B35/575 ,  C04B35/58014 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6565 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/666

Abstract: The invention relates to a method for assembling at least two refractory ceramic parts by means of spark plasma sintering, each of said parts having at least one surface to be assembled by means of spark plasma sintering, comprising the following steps in which: the surfaces of the parts to be assembled are brought into contact with one another with nothing added therebetween, an assembly pressure of between 1 and 200 MPa is applied to the parts, a pulsed electric current with a strength of between 500 and 8000 A is applied to the parts so as to raise the temperature thereof to an assembly temperature of at least 1300°C, the electric current and the pressure are removed simultaneously and the parts are cooled, and the assembled parts are recovered.

Abstract translation: 本发明涉及通过放电等离子体烧结来组装至少两个难熔陶瓷部件的方法，每个所述部件具有至少一个通过放电等离子体烧结组装的表面，其包括以下步骤： 将要组装的部件彼此接触而没有添加到其中，对部件施加1至200MPa的组装压力，将强度为500至8000A的脉冲电流施加到部件 为了使其温度升高至1300℃以上的组装温度，同时除去电流和压力，并且将部件冷却，并且组装好的部件被回收。

公开(公告)号：WO2004060593A1

公开(公告)日：2004-07-22

申请号：PCT/JP2003/016742

申请日：2003-12-25

Applicant: 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  新東ブイセラックス株式会社 ,  渡利 広司 ,  杵鞭 義明 ,  内村 勝次 ,  石黒 裕之 ,  森光 英樹

Inventor： 渡利 広司 ,  杵鞭 義明 ,  内村 勝次 ,  石黒 裕之 ,  森光 英樹

IPC: B22F3/06

CPC classification number: F27B17/0025 ,  B22F3/003 ,  B22F2003/1042 ,  C04B35/10 ,  C04B35/48 ,  C04B35/575 ,  C04B35/584 ,  C04B35/597 ,  C04B35/64 ,  C04B2235/66 ,  C04B2235/668 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/9607 ,  H01L21/68757 ,  H01L21/68792

Abstract: 本発明は、遠心焼結装置のローター、シャフト又は試料ホルダーを提供するものであり、本発明は、セラミックス又は金属粉体からなる成形体、又はセラミックス前駆体膜に、遠心力場及び温度場を付加する遠心焼結装置に使用するローター、シャフト又は試料ホルダーからなる部材であって、試料ホルダーを回転させるローター、シャフト又は試料ホルダーをセラミックスで構成したことを特徴とする遠心焼結装置のセラミックス部材、上記試料ホルダーを回転させるローターを導電性炭化ケイ素セラミックスで構成し、誘導加熱手段を用いてローターだけを選択的に自己発熱させることにより試料を間接加熱するようにした上記セラミックス部材、上記試料ホルダーを誘電損失の大きい材料で構成し、誘電加熱手段を用いて試料ホルダーだけを選択的に発熱させることにより試料を間接加熱するようにした上記セラミックス部材、に関する。

Abstract translation: 离心烧结系统，其对陶瓷或金属粉末或陶瓷前体膜的成型赋予离心力场和温度场，其特征在于，用于转动用于离心烧结系统中的样品架，轴或样品架的转子 由陶瓷组成。 用于转动样品架的陶瓷构件和转子由导电碳化硅陶瓷组成，并且通过使用感应加热装置仅选择性地自加热转子来间接加热样品。 陶瓷构件和样品保持器由具有大的介电损耗的材料构成，并且通过使用介电加热装置仅选择性地加热样品架来间接加热样品。

公开(公告)号：WO1997003030A1

公开(公告)日：1997-01-30

申请号：PCT/CH1996000253

申请日：1996-07-09

Applicant: NEGAWATT GMBH ,  MARAVIC, Dusko

Inventor： NEGAWATT GMBH

IPC: C04B35/569

CPC classification number: C04B35/565 ,  C04B35/575 ,  H01B3/12

Abstract: In a process for fabricating electrically insulating silicon carbide by means of liquid-phase sintering, wherein the sintering additives are added prior to sintering, the quantity of sintering additives, the sintering temperature and the duration of sintering are selected as process parameters. With the aid of these parameters, the quantity of intercrystalline phase remaining in the sintered silicon carbide is predetermined. This yields as end product a high-resistance electrical insulator.

Abstract translation: 在用于生产由液相烧结，其中烧结之前加入电绝缘的碳化硅的方法，该烧结助剂，添加的烧结助剂的量，烧结温度和时间的烧结时间被选择为一个过程参数。 残留在烧结的碳化硅晶界相的量是预定的这些参数的基础上。 其特征在于一个高阻抗电绝缘体被作为最终产品得到的。

公开(公告)号：WO2017109098A1

公开(公告)日：2017-06-29

申请号：PCT/EP2016/082426

申请日：2016-12-22

Applicant: EVONIK DEGUSSA GMBH

Inventor： LYUBINA, Julia ,  KRÖLL, Michael

IPC: C04B35/565 ,  C04B35/575

CPC classification number: C04B35/575 ,  C04B35/565 ,  C04B2235/3826 ,  C04B2235/428 ,  C04B2235/5409 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/5454 ,  C04B2235/549 ,  C04B2235/604 ,  C04B2235/656 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6565 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/6581 ,  C04B2235/666 ,  C04B2235/72 ,  C04B2235/728 ,  C04B2235/761 ,  C04B2235/762 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/781 ,  C04B2235/80

Abstract: Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers, der wenigstens 85 Vol.-% kristallines Siliciumcarbid und maximal 15 Vol.-% Silicium enthält, umfassend die Schritte: • a) Bereitstellen eines pulverförmigen Gemisches, welches mindestens 60 Vol.-% amorphes Siliciumcarbid und maximal 40 Vol.-% Silicium mit einer Kristallitgröße von 3 - 50 nm enthält, • b) Formgebung des Gemisches durch • b1) Heißpressen oder • b2) Kompaktierung bei Raumtemperatur und nachfolgendem Sintern oder Heißpressen wobei das Sintern oder Heißpressen unter Inertgas oder Vakuum bei einer Temperatur von wenigstens 1400°C erfolgt. Das Volumenverhältnis SiC:Si im pulverförmigen Gemisch ist 95:5 - 99:1.

Abstract translation: 制造含有至少85体积％结晶碳化硅和最大15体积％硅的模制品的方法，包括以下步骤：a）提供粉末状混合物 其含有至少60体积％的无定形碳化硅和最大40体积％的微晶尺寸为3至50nm的硅，b）通过b1）热压或b2） 在室温下压实，然后烧结或热压，其中烧结或热压在惰性气体或真空下在至少1400℃的温度下进行 粉末状混合物中SiC：Si的体积比为95：5 - 99：1

公开(公告)号：WO2017018599A1

公开(公告)日：2017-02-02

申请号：PCT/KR2015/010931

申请日：2015-10-15

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 이세훈 ,  윤보라 ,  김진명

IPC: C04B35/565 ,  C04B35/573 ,  C04B35/575 ,  C01B31/36

CPC classification number: H01B1/04 ,  B01F17/0007 ,  B01F17/0042 ,  B01F17/005 ,  B01F17/0085 ,  C04B35/565 ,  C04B35/575 ,  C04B35/6261 ,  C04B35/6263 ,  C04B35/62685 ,  C04B35/6303 ,  C04B35/64 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/3817 ,  C04B2235/3821 ,  C04B2235/3826 ,  C04B2235/3834 ,  C04B2235/402 ,  C04B2235/421 ,  C04B2235/424 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/5472 ,  C04B2235/549 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/666 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/96 ,  H01B1/24

Abstract: 본 발명은 탄화규소 원료물질 및 소결조제 원료물질을 기계적 합금화(mechanical alloying) 공정에 의해 합성 분말로 제조하는 단계; 및 상기 합성 분말을 소결하는 단계를 포함하고, 상기 소결조제는 Al-C계, Al-B-C계 및 B-C 계로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 탄화규소 소결체의 제조방법 및 이에 따른 탄화규소 소결체에 관한 것으로, 저온에서 소결되면서도 치밀화되며, 높은 강도 및 전기전도성을 갖는 탄화규소 소결체를 제조할 수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及一种制备碳化硅烧结体的方法和由此获得的碳化硅烧结体，该方法包括以下步骤：通过机械合金化从碳化硅材料和烧结助剂材料制备合成粉末; 并烧结合成粉末，其中所述烧结助剂为选自Al-C系，Al-BC体系和BC体系中的至少一种，以及碳化硅烧结体，即使在 可以制备低温烧结并具有高强度和导电性。

公开(公告)号：WO2014081005A1

公开(公告)日：2014-05-30

申请号：PCT/JP2013/081485

申请日：2013-11-22

Applicant: 東洋炭素株式会社

Inventor： 宮本　欽生 ,  陳　衛武

IPC: C04B35/52 ,  C04B35/80 ,  C04B35/83 ,  C01B31/04

CPC classification number: C04B35/806 ,  C01B32/20 ,  C04B35/522 ,  C04B35/575 ,  C04B35/593 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3865 ,  C04B2235/425 ,  C04B2235/5248 ,  C04B2235/526 ,  C04B2235/5264 ,  C04B2235/5296 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/5463 ,  C04B2235/666 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/9607

Abstract: 炭素質材料間にセラミックスの界面層が形成され、前記セラミックスの界面層が炭素質材料間で連続した３次元網目構造を有しているセラミックス炭素複合材において、特性を制御する方法、及び特性が制御されたセラミックス炭素複合材を提供することにある。 炭素質材料２間にセラミックスの界面層３が形成され、前記セラミックスの界面層３が炭素質材料２間で連続した３次元網目構造を有しているセラミックス炭素複合材１の特性制御方法であって、前記炭素質材料２の形状、硬さ、及び黒鉛化度の、いずれか少なくとも１つを特定して選択することで特性を制御し、製造条件の調整に頼ることなく、特性の制御されたセラミックス炭素複合材１を得ることができる。

Abstract translation: 提供了一种用于控制在碳质材料之间形成有陶瓷界面层的陶瓷碳复合材料的特性的方法，并且具有陶瓷界面层在碳质材料之间不间断的三维网状结构; 和陶瓷碳复合材料，其特性受到控制。 用于控制在碳质材料（2）之间形成有陶瓷界面层（3）的陶瓷碳复合材料（1）的特性的方法，并且具有陶瓷界面层（3）不间断的三维网状结构 在碳质材料（2）之间，通过识别和选择碳质材料（2）的形状，硬度和石墨化程度中的至少一种来控制特性，使得陶瓷碳复合材料（1）的特性是 控制，而不依赖于调整制造条件。