積層フィルムの製造方法、積層フィルムおよびそれを用いた半導体装置の製造方法
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    发明申请
    積層フィルムの製造方法、積層フィルムおよびそれを用いた半導体装置の製造方法 审中-公开
    层压薄膜的生产方法,层压薄膜及其使用的半导体器件的制造方法

    公开(公告)号:WO2014156127A1

    公开(公告)日:2014-10-02

    申请号:PCT/JP2014/001710

    申请日:2014-03-25

    Inventor: 林下 英司

    Abstract:  本発明の目的は、所定の形状に精度よくプリカット加工された積層フィルムを製造する方法を提供することである。本発明は、長尺状の離型フィルムと、その上に設けられ、長尺方向に沿って互いに隣接する島状粘着フィルムAと島状粘着フィルムBを含む複数の島状粘着フィルムとを有する積層フィルムの製造方法であって、離型フィルムと粘着フィルムとを有する長尺状の積層体を得る工程;該積層体の粘着フィルムをプリカットして第一の剥離部を得る工程;第一の剥離部を離型フィルムから剥離する工程を含み、第一の剥離部が、島状粘着フィルムAの離型フィルムの幅方向一端側の周縁部A1と、島状粘着フィルムBの離型フィルムの幅方向他端側の周縁部B2と、周縁部A1と周縁部B2とを連結する連結部Cとを含み、かつ島状粘着フィルムAの離型フィルムの幅方向他端側の周縁部A2と島状粘着フィルムBの離型フィルムの幅方向一端側の周縁部B1とを含まない。

    Abstract translation: 本发明的目的是提供一种已经精确地预切成所需形状的层压膜的制造方法。 该制造方法是在具有延长的剥离膜的层叠膜上配置有多个岛状自粘合膜,所述岛状自粘合膜包括岛状自粘合膜(A)和岛状自粘合膜(B) 该方法包括:获得具有脱模膜和自粘膜的细长层压体的步骤; 剥离层压体的自粘膜以获得第一剥离部的步骤; 以及从剥离膜剥离第一剥离部的步骤。 第一剥离部包括在剥离膜的第一横向边缘处的岛状自粘合膜(A)的周缘部(A1),岛状自粘合膜(B)的周缘部(B2) 剥离膜的另一个宽度方向的边缘,以及连接周缘部(A1)和周缘部(B2)的连结部(C),但不包括岛状自粘合的周缘部(A2) 在剥离膜的另一个宽度方向的边缘处的薄膜(A)或隔离膜的第一宽度方向边缘处的岛状自粘合膜(B)的周缘部(B1)。

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