静电换能器及阵列中的贯穿晶片互连

    公开(公告)号:CN101874287B

    公开(公告)日:2012-08-29

    申请号:CN200880118644.3

    申请日:2008-12-03

    发明人: 黄勇力

    IPC分类号: H01L21/00

    摘要: 一种用于制造静电换能器和阵列的方法使用涉及两个切割步骤的技术来使换能器元件的衬底段彼此电分离,其中,第一步骤在衬底中形成摹制开口以产生衬底段的部分分离,以及第二步骤在衬底段被固定之后完成分离以防止在第二步骤完成时衬底段的不稳定。可以通过在部分分离中填充非导电材料或者在支撑衬底上固定换能器阵列来完成衬底段的固定。当衬底是导电性的时,分离的衬底段用作可以被单独编址的分离的底部电极。该方法对于制造1D换能器阵列尤其有用。