公开(公告)号：CN109411390A

公开(公告)日：2019-03-01

申请号：CN201811056009.9

申请日：2018-09-11

申请人： 深圳赛意法微电子有限公司

发明人： 曹晶 ,  郑旭东

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/60

CPC分类号： H01L21/67276 ,  H01L24/85 ,  H01L2224/852

摘要： 本发明公开半导体器件的自动化分级封装方法，其中，所述半导体器件的追溯性信息包括批次、坐标、和分级信息；所述自动化分级封装方法在生产线的处理工位上对所述半导体器件进行封装处理；多个所述半导体器件按阵列的方式排列在载具上。所述自动化分级封装方法至少包括以下步骤：建立通信步骤；更新信息步骤；分级处理步骤：在后续处理工位，后续产线工位机器从所述产线管理服务器中下载所述半导体器件的更新的追溯性信息，并且，根据所述产线管理服务器的设置，所述后续产线工位机器仅处理指定分级信息的半导体器件。本发明达到了提高产品质量和机器效率、节省资源和能源、节省成本的技术效果。

公开(公告)号：CN109148332A

公开(公告)日：2019-01-04

申请号：CN201810792201.8

申请日：2018-07-18

申请人： 凯盛光伏材料有限公司

发明人： 吴恒艳 ,  徐根保 ,  顾承越 ,  王浩 ,  李涛

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/673

CPC分类号： H01L21/67253 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/673

摘要： 本发明公开一种用于测试光伏组件反向电流过载测试台，包括托架，托架顶部水平设有散热托板，散热托板的板面设有一组装配孔；散热托板的上方设有松木板，松木板与散热托板之间留有间隙；松木板板面设有一组安装孔，安装孔与装配孔一一对应，安装孔的孔径大于装配孔的孔径；每个安装孔内均设有竖直的橡胶柱垫，橡胶柱垫能够沿安装孔自由移动，橡胶柱垫与散热托板之间设有复位弹簧，橡胶柱垫顶部设有能够与光伏组件形成配合的温度探头，温度探头的导线依次穿过橡胶柱垫与装配孔连接温度采集器，温度采集器连接有显示屏；在进行直流反向电流过载测试时，温度探头能够实时监测光伏组件不同位置的温度，并通过显示屏直观地进行显示，提高工作效率与测试的可靠性。

公开(公告)号：CN108962798A

公开(公告)日：2018-12-07

申请号：CN201810879557.5

申请日：2018-08-03

申请人： 华南理工大学

发明人： 胡跃明 ,  苏丽莉 ,  夏子轩

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/66 ,  H01L21/677 ,  H01L33/50 ,  H01L33/52

CPC分类号： H01L33/50 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67253 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/6776 ,  H01L22/12 ,  H01L33/52 ,  H01L2933/0041 ,  H01L2933/005

摘要： 本发明公开了一种三基色RGB‑LED全自动荧光粉胶高速智能涂覆设备，包括下位机和上位机控制系统，下位机包括机架、荧光粉胶上料机构、传送机构、涂覆运动模块、荧光粉胶测厚机构、下位机控制器，荧光粉胶上料机构利用气压将混合好的荧光粉胶压入涂覆运动模块中的喷头，传送机构将芯片阵列传送并固定在涂覆位置，涂覆运动模块上的喷头对涂覆位置处的芯片进行涂覆，荧光粉胶测厚机构检测当前芯片阵列涂覆厚度，下位机控制器与上位机控制系统相连。本发明设备自动化程度高，具有涂覆反馈控制以及在线整定控制参数的功能，可实现对荧光粉胶涂覆厚度高精度控制的目的，有效地提高RGB‑LED的涂覆精度以及涂覆效率。

公开(公告)号：CN108766903A

公开(公告)日：2018-11-06

申请号：CN201810362521.X

申请日：2018-04-20

申请人： 上海华力微电子有限公司

发明人： 韩超 ,  龙吟 ,  倪棋梁

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/66

CPC分类号： H01L21/67276 ,  H01L22/12

摘要： 本发明公开了一种检测站的来料负荷控制方法，其属于领域的技术，包括：步骤S1，判断所述待检晶圆组的总数是否大于一预设的临界值M：若是则进行步骤S2；若否则回到步骤S1；步骤S2，根据一预设的评分规则获得每一所述待检晶圆组的检测评分；步骤S3，将每一所述待检晶圆组按照所述检测评分从大到小排列；步骤S4，保留前M个所述待检晶圆组，将其余所述待检晶圆组移出所述检测站的所述待检队列，随后转到步骤S1。该技术方案的有益效果是：本发明能够根据待检晶圆组所经过的工艺处理的数量、待检时间以及在各个工艺处理中的次序来确定该待检晶圆组是否需要跳站，从而减少了潜在的风险，从整体上提高了存在缺陷的晶圆被检测出来的概率。

公开(公告)号：CN108695186A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201710218335.4

申请日：2017-04-05

申请人： 玄创半导体设备(上海)有限公司

发明人： 赵德闻

IPC分类号： H01L21/67 ,  G07C9/00

CPC分类号： H01L21/67276 ,  G07C9/00174 ,  G07C9/00896

摘要： 本发明涉及一种化学品更换智能防呆系统，包括设备化学品更换控制系统、化学品更换智能推车，设备化学品更换控制系统包括化学品更换防呆服务器、设备通信终端。化学品更换防呆服务器包括设备化学品容器监控模块、服务器化学品信息匹配模块、智能推车对接模块，化学品更换智能推车包括推车组合柜、推车化学品更换控制系统，推车组合柜包括若干化学品储存分柜，推车化学品更换控制系统包括化学品储存分柜监控模块、化学品识别模块、推车化学品信息匹配模块、设备通信终端对接模块、人机交互触摸屏。本发明防呆方法包括取品、换品、回收等步骤。本发明采用智能信息识别装置在更换化学品前检验物品信息的正确性，具有更换化学品智能防呆的特点。

公开(公告)号：CN108538758A

公开(公告)日：2018-09-14

申请号：CN201810278962.1

申请日：2018-03-31

申请人： 格润智能光伏南通有限公司

发明人： 马俊

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L31/18

CPC分类号： Y02P70/521 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67253 ,  H01L31/18

摘要： 本发明公开了一种在线纸护角自动识别方法，包括以下步骤：A、当组件经流水线从检查工位流过时，光电感应器将自动启动并检查流过组件是否缺失纸护角；B、组件四个角均需安装纸护角，若光电感应器感应到每个角部均安装有纸护角，则组件顺利经过并进入自动分档工位；C、若其中任何一个角部缺失纸护角，则流水线立即停止运输组件，同时，报警功能启动并发出报警，提醒员工前去检查是否缺失纸护角，若缺失补装完成后按压复位按钮，组件方可流出进入自动分档工位，本发明能够实现在组件分档之前进行检查是否安装纸护角，保证异常发现及时性，避免分档后返工，减少员工作业强度，提高制造效率。

公开(公告)号：CN108335997A

公开(公告)日：2018-07-27

申请号：CN201810040900.7

申请日：2018-01-16

申请人： 株式会社荏原制作所

发明人： 野野部宏司 ,  三谷隆 ,  小泉龙也 ,  大石邦夫

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC分类号： G05B19/4155 ,  G05B19/41865 ,  G05B2219/32252 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/6723 ,  H01L21/67253 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67745 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67778 ,  Y02P90/18 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/26 ,  Y02P90/28 ,  H01L21/67739

摘要： 一种调度器，内装于具备进行基板的处理的多个基板处理部、对所述基板进行搬运的搬运部、对所述搬运部与所述基板处理部进行控制的控制部的基板处理装置的所述控制部，并计算基板搬运行程表，该调度器具有：模型化部，该模型化部使用网络图理论而将基板处理装置的处理条件、处理时间以及制约条件模型化为点以及边，生成网络图并进行到各点的最长路径长度的计算；以及计算部，该计算部基于最长路径长度而计算所述基板搬运行程表。该调度器能够削减用于基板搬运行程表的计算量以及计算时间。

公开(公告)号：CN108091590A

公开(公告)日：2018-05-29

申请号：CN201710712078.X

申请日：2017-08-18

申请人： 日新离子机器株式会社

发明人： 高冈邦文

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01J37/317 ,  H01J37/20

CPC分类号： H01L21/67098 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67213 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/6831 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3171 ,  H01L21/67276

摘要： 本发明提供一种半导体制造装置及基板支承装置的冷却方法。使用简单的结构在短时间内使基板支承装置的温度下降。半导体制造装置具备：收纳处理基板的第一收纳室；收纳伪基板的第二收纳室；对基板进行支承的带有加热功能的基板支承装置；及在各收纳室与基板支承装置之间进行各基板的搬运的基板搬运装置，其中，所述半导体制造装置还具备控制装置，控制装置在前面的基板处理中的基板处理温度比后面的基板处理中的基板处理温度高的情况下，在进行后面的基板处理之前对基板搬运装置进行操作，对温度比前面的基板处理中的基板处理温度低的伪基板进行搬运。

公开(公告)号：CN105474356B

公开(公告)日：2018-03-30

申请号：CN201480045393.6

申请日：2014-07-10

申请人： 株式会社思可林集团

发明人： 高木克明 ,  佐野诚一郎 ,  内田雄三 ,  山中智史

IPC分类号： H01L21/02 ,  G05B19/418

CPC分类号： H01L21/67155 ,  G05B15/02 ,  G05B19/41865 ,  G05B2219/32078 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67253 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67742 ,  Y02P90/20

摘要： 第二基板处理装置的第二控制装置判断基板的处理开始预想时刻是否在处理开始期限以前。如果处理开始预想时刻在处理开始期限以前，则第二控制装置使第二基板处理装置执行起初的第一计划以及第二计划。另一方面，在处理开始预想时刻在处理开始期限之后的情况下，第二控制装置以处理开始预想时刻变为处理开始期限以前的方式变更起初的第一计划以及第二计划，使第二基板处理装置执行变更后的第一计划以及第二计划。

公开(公告)号：CN107785285A

公开(公告)日：2018-03-09

申请号：CN201610726876.3

申请日：2016-08-25

申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 ,  中芯国际集成电路制造(北京)有限公司

发明人： 刘兰娜

IPC分类号： H01L21/67

CPC分类号： H01L21/67242 ,  H01L21/67276

摘要： 本发明提供一种用于机台监控的方法和系统，所述方法包括：基于机台监控数据库中的历史数据计算机台的风险相关参数，包括离线监控未通过率、晶圆受影响率、以及离线监控未命中率；基于所述风险相关参数计算机台的风险级别；以及基于所述风险级别与预定阈值的大小关系确定是否需要改变监控项目的数目和/或监控频率的大小。本发明所提供的用于机台监控的方法和系统将机台的风险相关参数与离线监控机制建立联系，能够实现离线监控的动态调整，使得既能在强势环节节约质量监控成本，又能在薄弱环节加以严格控制，防患于未然，实现质量监控成本最优化分配。