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公开(公告)号：CN105143956A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201480014003.9
申请日：2014-03-10
申请人： 高通MEMS科技公司
发明人： 爱德华·杰·廉·陈 , 约翰·贤哲·洪 , 琼·厄克·李 , 伊萨克·克拉克·莱因斯
CPC分类号： G02B26/001 , B81B3/0059 , B81B2201/047 , B81B2203/0127 , B81B2203/04 , G09G5/10
摘要： 本发明提供用于在机电系统EMS装置内增加可移动层的稳定行进位置范围的系统、方法以及设备。在一个方面中，电隔离的浮动电极可被设置在可移动层内的驱动电极和固定电极之间，以便增加所述可移动层的稳定行进范围。通过将所述电隔离的浮动电极分段成多个隔离电极段，响应于所述可移动层的倾斜的不平衡的电荷积聚可被限制以进一步增加所述可移动层的所述稳定行进范围。
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公开(公告)号：CN104280161A
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201310277659.7
申请日：2013-07-03
申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
发明人： 洪中山
CPC分类号： B81B3/0059 , B81B3/0021 , B81B2201/0264 , B81B2203/0109 , B81B2203/0315 , B81B2203/0392 , B81B2203/04 , B81C1/00023 , B81C1/00134 , B81C1/00166 , B81C1/00182 , B81C1/00373 , B81C1/00523 , G01L9/00 , G01L9/0045 , G01L9/0047 , G01L9/0073 , H01L41/113
摘要： 一种压力传感器及其形成方法，其中，压力传感器包括：具有器件区的衬底，所述衬底表面具有第一介质层；位于器件区的第一介质层表面的第二介质层，所述第二介质层具有台阶状侧壁；位于第一介质层和第二介质层表面的第一电极层，所述第一电极层具有位于第二介质层的台阶状侧壁表面的台阶区，所述第一电极层的台阶区表面形貌与所述第二介质层侧壁表面形貌相对应而呈台阶状；位于第一电极层表面的第二电极层，所述第二电极层和第一电极层之间电隔离，且器件区的第二电极层和第一电极层之间具有空腔，所述空腔内第二电极层表面形貌与空腔内第一电极层表面形貌相互对应而呈台阶状。所述压力传感器的灵敏度得到提高。
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公开(公告)号：CN103569937A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201210451121.9
申请日：2012-11-12
申请人： 台湾积体电路制造股份有限公司
CPC分类号： B81B3/0059 , B81B2201/0235 , B81B2201/0257 , B81B2203/0315 , B81B2207/012 , B81C2203/0118 , G01P15/0802 , G01P15/125 , H04R2201/003
摘要： 本发明公开了一种包括内含微机电系统(MEMS)器件的MEMS晶圆的器件。所述MEMS器件包括可移动元件，以及在所述MEMS晶圆中的第一开口。所述可移动元件设置在所述第一开口中。载体晶圆接合到MEMS晶圆。所述载体晶圆包括连接到所述第一开口的第二开口，其中所述第二开口包括自所述载体晶圆的表面延伸入所述载体晶圆的入口部分，以及比所述入口部分宽的内部部分，其中所述内部部分在所述载体晶圆中比所述入口部分深。本发明还公开了微机电系统(MEMS)器件以及MEMS器件形成方法。
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公开(公告)号：CN103502139A
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN201280019348.4
申请日：2012-04-19
申请人： 卡文迪什动力有限公司
发明人： 威利布罗德·杰拉杜斯·玛丽亚·凡登豪克 , 罗伯托·彼得勒斯·范-卡普恩 , 理查德·L·奈普 , 查尔斯·G·史密斯
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： H01L29/84 , B81B3/0059 , B81B7/0035 , B81B2203/0127 , B81C1/00285 , B81C1/00293 , B81C1/00682
摘要： 本发明通常涉及用于通过凭借将气体引入到包围MEMS设备的切换元件的腔体中来降低切换时的冲击速度来延长MEMS设备的寿命的方法。利用将离子注入到在容纳切换元件的腔体附近并经由通道连接到该腔体的腔体中来引入所述气体，气体可以通过所述通道从一个腔体流动到另一个腔体。注入能量选择为将许多原子注入靠近腔体的内顶部和底部，使得退火时那些原子扩散进入腔体内。气体提供降低切换MEMS设备的动能的气体阻尼，于是所述切换MEMS设备应具有更长的寿命。
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公开(公告)号：CN104280161B
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201310277659.7
申请日：2013-07-03
申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
发明人： 洪中山
CPC分类号： B81B3/0059 , B81B3/0021 , B81B2201/0264 , B81B2203/0109 , B81B2203/0315 , B81B2203/0392 , B81B2203/04 , B81C1/00023 , B81C1/00134 , B81C1/00166 , B81C1/00182 , B81C1/00373 , B81C1/00523 , G01L9/00 , G01L9/0045 , G01L9/0047 , G01L9/0073 , H01L41/113
摘要： 一种压力传感器及其形成方法，其中，压力传感器包括：具有器件区的衬底，所述衬底表面具有第一介质层；位于器件区的第一介质层表面的第二介质层，所述第二介质层具有台阶状侧壁；位于第一介质层和第二介质层表面的第一电极层，所述第一电极层具有位于第二介质层的台阶状侧壁表面的台阶区，所述第一电极层的台阶区表面形貌与所述第二介质层侧壁表面形貌相对应而呈台阶状；位于第一电极层表面的第二电极层，所述第二电极层和第一电极层之间电隔离，且器件区的第二电极层和第一电极层之间具有空腔，所述空腔内第二电极层表面形貌与空腔内第一电极层表面形貌相互对应而呈台阶状。所述压力传感器的灵敏度得到提高。
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公开(公告)号：CN103569937B
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201210451121.9
申请日：2012-11-12
申请人： 台湾积体电路制造股份有限公司
CPC分类号： B81B3/0059 , B81B2201/0235 , B81B2201/0257 , B81B2203/0315 , B81B2207/012 , B81C2203/0118 , G01P15/0802 , G01P15/125 , H04R2201/003
摘要： 本发明公开了一种包括内含微机电系统(MEMS)器件的MEMS晶圆的器件。所述MEMS器件包括可移动元件，以及在所述MEMS晶圆中的第一开口。所述可移动元件设置在所述第一开口中。载体晶圆接合到MEMS晶圆。所述载体晶圆包括连接到所述第一开口的第二开口，其中所述第二开口包括自所述载体晶圆的表面延伸入所述载体晶圆的入口部分，以及比所述入口部分宽的内部部分，其中所述内部部分在所述载体晶圆中比所述入口部分深。本发明还公开了微机电系统(MEMS)器件以及MEMS器件形成方法。
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公开(公告)号：CN104977103A
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201510161531.3
申请日：2015-04-07
申请人： 英飞凌科技股份有限公司
发明人： D.哈默施密特
IPC分类号： G01L1/14
CPC分类号： G01L9/0072 , B81B3/0059 , G01L1/086 , G01L1/144
摘要： 用于压力传感器的力反馈环路。压力传感器系统包括力反馈环路。力反馈环路被配置成接收测量压力传感器信号并基于测量压力和静电力而生成反馈信号。基于反馈信号而生成静电力并将其与测量力组合，保持所得到的传感器信号稳定。
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公开(公告)号：CN101813075B
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN200910261566.9
申请日：2009-12-03
申请人： 通用汽车环球科技运作公司
IPC分类号： F03G7/06
CPC分类号： B81B3/0059 , B81B3/0094 , C08G2280/00
摘要： 本发明涉及基于活性材料的柔顺机构。柔顺机构包括配置成响应于机械输入而产生机构输出的本体。本体具有由活性材料形成的至少一个区域。柔顺机构也包括至少一个激活装置，所述激活装置配置成选择性地施加激活信号给该至少一个区域。活性材料配置成响应于激活信号而经历模量上变化，使得输出在激活装置施加激活信号时以第一幅度或方向为特征、且在激活装置未施加激活信号时以第二幅度或方向为特征。
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公开(公告)号：CN101049045B
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN200580036791.2
申请日：2005-10-24
申请人： 爱普科斯公司
发明人： 彼得·G·斯蒂尼肯 , 约瑟夫·托马斯·马蒂纳斯·范贝克 , 特奥·里克斯
CPC分类号： H01H59/0009 , B81B3/0059 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , H01G5/16 , H01H2001/0084
摘要： 一种微机电器件，含有基板(10)、可移动装置，可移动装置能够在电极静电力的作用下向基板移动，可移动装置和基板的相对表面的形状使得当其在闭合位置时，通过相对的表面限定一个或多个排气通道(VC)，配置使得相对表面之间的流体可以流过相对的表面，从而进入或离开位于相对表面之间的区域。该通道可以使可移动装置的移动流体阻尼受控。增加进入或离开相对表面之间区域的流量，可以减少该阻尼，并且因此增加了器件打开和闭合的速度。该通道可以与电极的孔相连。
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公开(公告)号：CN101813075A
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN200910261566.9
申请日：2009-12-03
申请人： 通用汽车环球科技运作公司
IPC分类号： F03G7/06
CPC分类号： B81B3/0059 , B81B3/0094 , C08G2280/00
摘要： 本发明涉及基于活性材料的柔顺机构。柔顺机构包括配置成响应于机械输入而产生机构输出的本体。本体具有由活性材料形成的至少一个区域。柔顺机构也包括至少一个激活装置，所述激活装置配置成选择性地施加激活信号给该至少一个区域。活性材料配置成响应于激活信号而经历模量上变化，使得输出在激活装置施加激活信号时以第一幅度或方向为特征、且在激活装置未施加激活信号时以第二幅度或方向为特征。
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