真空蒸镀装置和真空涂覆方法
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108070825A

    公开(公告)日:2018-05-25

    申请号:CN201711084964.9

    申请日:2017-11-07

    发明人: F.马雄奇克

    IPC分类号: C23C14/24

    摘要: 本发明涉及真空蒸镀装置(10),具有-真空室(2);-用于接收蒸镀材料(11)的坩埚(31);-具有用于蒸镀材料(11)的储存容器(41)的补充装置(40);以及-定位装置(50),该定位装置被形成为用于使该坩埚(31)在蒸镀位置(33)与补充位置(34)之间往复运动,该补充位置用于从该储存容器中补充蒸镀材料;其中该蒸镀位置(33)和该补充位置(34)位于该真空室内部。