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公开(公告)号：CN110699672B
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN201911173929.3
申请日：2019-11-26
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： C23C16/46 , C23C16/455 , C23C16/513
摘要： 本发明公开了一种PECVD设备的氮气辅助加热方法，包括：S01、在往工艺腔体内通入氮气前，检测工艺腔体内的温度；S02、根据工艺腔体内的温度值确定是否对氮气进行加热；在温度未达到设定值时，对氮气进行加热后再通入至工艺腔体内，以提高工艺腔体内的温度。本发明还公开了一种氮气辅助加热装置，包括氮气加热器和主管道，主管道上设置有主开关和直通开关，氮气加热器的进气口与直通开关的输入端相连，氮气加热器的出气口与直通开关的输出端相连；氮气加热器的出气口设置有氮气温度检测件，氮气加热器根据工艺腔体内温度与氮气温度检测件检测的氮气温度之间的偏差调整加热功率。本发明的方法及装置均具有加热效率高等优点。
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公开(公告)号：CN114371741A
公开(公告)日：2022-04-19
申请号：CN202111519682.3
申请日：2021-12-13
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： G05D16/20
摘要： 本发明公开了一种串联真空腔体内气流场的控制方法及系统，所述方法包括步骤：S01、预先将其中部分真空腔体的蝶阀设为主蝶阀，并设置为压力控制模式，其它真空腔体的蝶阀设为从蝶阀，并设置为位置控制模式；其中主蝶阀与从蝶阀相互对应；S02、获取主蝶阀对应的真空腔体内的压力，并根据压力调整所述主蝶阀的开度，进入压力控制模式；S03、获取所述主蝶阀的开度，根据所述主蝶阀的开度来实时调整对应各从蝶阀的开度，进入位置控制模式。本发明能够获得稳定均匀的气流场，而且操作简便且成本低。
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公开(公告)号：CN114351122A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202111527141.5
申请日：2021-12-14
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： C23C16/54 , C23C16/46 , C23C16/455 , H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种用于异质结CVD设备的载板传输提升系统，包括腔体、喷淋板、载板、加热基板和传输装置，传输装置包括外轴动力、内轴动力和多对磁流体传输机构，磁流体传输机构包括磁流体、内轴、外轴、传输轴和翻转板，外轴套在内轴上且二者可相对转动，磁流体套在外轴上且二者可相对转动，翻转板与内轴固定连接，传输轴可转动的设在翻转板上，传输轴与外轴通过啮合件配合，外轴动力用于驱动外轴转动，内轴动力用于驱动内轴转动，传输轴和翻转板设于腔体内，载板置于各传输轴上。本发明利用同心双轴磁流体结构，同时驱动载板的传输和提升，既能使实现载板传输，又能使载板在镀膜时脱离传输轴并与加热基板接触，简化了结构，降低了设备成本。
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公开(公告)号：CN114335253A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111678593.3
申请日：2021-12-31
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L21/683 , H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种硅片取放装置及取放方法。装置包括安装支架、第一吸盘组件、第二吸盘组件、旋转驱动组件、直线移动模组和叠合驱动组件，第一吸盘组件上设有多个第一吸盘，第二吸盘组件上设有多个第二吸盘，旋转驱动组件用于驱动第二吸盘组件旋转以使第二吸盘吸取的硅片与第一吸盘吸取的硅片背对背布置，直线移动模组设于安装支架上并用于驱动第一吸盘组件和第二吸盘组件相向移动以使第一吸盘吸取的硅片和第二吸盘吸取的硅片相互交叉，叠合驱动组件用于驱动第一吸盘组件和/或第二吸盘组件移动以消除交叉后硅片间的间隙。该硅片取放装置及取放方法具有自动化程度高、适应场合多、取放效率高和节约生产成本的优点。
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公开(公告)号：CN114256112A
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202210017759.5
申请日：2022-01-07
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种高产能立式炉，包括炉体、供气系统、真空系统、竖直装载机构及安装于炉体内的内部加热部件、工艺管、载具舟、隔热支撑组件；所述炉体为立式炉结构，所述炉体上设置有炉门组件，所述竖直装载机构用来连接炉门组件，用来实现炉门组件中炉门的开启、关闭和密封；所述载具舟置于隔热支撑组件上；所述供气系统用来为炉体内提供设备工艺过程所需要气体；所述真空系统用来为炉体内提供真空气氛；所述载具舟为两组以上，用于放置载片。本发明具有原理简单、操作简便、能提高设备生产产能并提升电池片良率等优点。
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公开(公告)号：CN113903817A
公开(公告)日：2022-01-07
申请号：CN202111045200.5
申请日：2021-09-07
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： H01L31/0224 , H01L31/068 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种晶硅太阳能电池选择性发射极的制备方法，包括以下步骤：在硅基体表面制备硼原子掺杂浓度≥1E21atoms/cm3的硼硅玻璃薄膜；采用激光对硅基体表面金属接触区域的硼硅玻璃薄膜进行局部掺杂；对经过局部掺杂后的硅基体进行高温退火，完成对晶硅太阳能电池选择性发射极的制备。本发明制备方法，通过先在硅基体表面制备高掺杂浓度的硼硅玻璃薄膜，进而通过激光选择性掺杂和高温退火处理制备得到了性能更佳的晶硅太阳能电池选择性发射极，有利于显著提升晶硅太阳能电池的光电转换效率；同时本发明制备方法还具有工艺简单、操作方便、易于控制等优点，能够直接利用现有设备进行制备，适合性强，便于工业化利用。
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公开(公告)号：CN113720161A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202010448730.3
申请日：2020-05-25
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种炉内快速降温系统，包括加热炉体，所述加热炉体内设有炉管，还包括散热组件、连接管、风机组件和控制器，所述散热组件设置在所述炉管内，所述散热组件的进风口和出风口均穿过炉管的外壁并向外伸出，所述散热组件的进风口通过连接管与风机组件相连，所述控制器与风机组件相连，所述控制器用于控制风机组件启停及风量大小。本发明具有结构简单、降温效率高、降温效果好等优点。
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公开(公告)号：CN110373657B
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN201910790369.X
申请日：2019-08-26
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明的管式PECVD设备压力控制装置，包括控制器、第一反应室、第二反应室、第一薄膜规、第二薄膜规、主抽泵和VAT阀，主抽泵分别通过第一、第二主管路与第一、第二反应室连接，第一主管路与第二主管路并联形成汇流管路，VAT阀设于汇流管路上，第一反应室与第二反应室之间设有并联的第一支管路和第二支管路，第一支管路上设有第一气动阀和第二气动阀，第二支管路上设有第三气动阀和第四气动阀，第一、第三气动阀为互锁阀，第二、第四气动阀为互锁阀，第一薄膜规设于第一支管路上并在第一、第二气动阀之间，且通过第一控制线路与VAT阀连接，第二薄膜规设于第二支管路上并在第三、第四气动阀之间，且通过第二控制线路与控制器连接。
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公开(公告)号：CN112391611A
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN201910749095.X
申请日：2019-08-14
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/50
摘要： 本发明公开了一种等离子体增强原子层沉积镀膜装置，包括反应炉、第一进气支路和第二进气支路，所述反应炉一端设有用于进气的进气端盖，所述第一进气支路和第二进气支路均与所述进气端盖相连、且交替进气。本发明具有有利于使气体反应更加充分、膜层更加均匀、膜厚可以更加精准控制、减少环境污染等优点。
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公开(公告)号：CN109524340B
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN201811420107.6
申请日：2018-11-26
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种太阳能电池片生产工艺中用于搬运花篮盒的AGV小车，包括具有激光导航功能的AGV底盘和设于AGV底盘上的主车箱，主车箱内部分为上下两层，每层设有两个并排的存放区，每个存放区至少可以存放一个花篮盒，存放区的底部设有传送花篮盒的传送机构，主车箱至少有一个侧面为敞开的，各存放区的进口位于主车箱敞开的一侧，主车箱设有信号收发单元。本发明的AGV小车能自动装卸和传递花篮盒，解决了人工搬运花篮劳动强度大、生产效率低、碎片率高和容易造成硅片污染的问题，能够实现太阳能电池线的完全自动化生产，极大提高工作效率和产品质量，同时很大程度降低了生产成本，提高经济效益。
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