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    磁分析器
    42.
    发明授权
    磁分析器 有权

    公开(公告)号：CN104103479B

    公开(公告)日：2017-02-15

    申请号：CN201310114301.2

    申请日：2013-04-02

    申请人： 无锡华润上华科技有限公司

    发明人： 郭楠 ,  曹志伟

    IPC分类号： H01J37/05

    摘要： 本发明公开了一种磁分析器，包括轭铁和设于轭铁外的磁铁，所述轭铁包围形成的离子飞行管道内设有束板，所述束板上开有多个穿透束板的离子通道，每个所述离子通道对应一特定质荷比离子的偏转半径。本发明能够一次性析出多种离子，实现了阱注入工艺多种离子的一次性注入，提高了离子注入的效率，降低了制造周期，提高了生产效率。

    用于带形离子束的离子束弯曲磁体
    43.
    发明授权
    用于带形离子束的离子束弯曲磁体 有权

    公开(公告)号：CN103367084B

    公开(公告)日：2015-07-15

    申请号：CN201310110403.7

    申请日：2013-04-01

    申请人： 日新离子机器株式会社

    发明人： 希尔顿·F·格拉维斯 ,  土肥正二郎 ,  本杰明·托马斯·金

    IPC分类号： H01J37/05 ,  H01J37/317

    CPC分类号： H01J37/05 ,  H01J37/1475 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/1523 ,  H01J2237/31701

    摘要： 本发明涉及用于带形离子束的离子束弯曲磁体。本发明提供适合于容纳且弯曲带形离子束的改进的弯曲磁体，所述带形离子束的横截面轮廓具有垂直于弯曲磁体的弯曲平面的主尺寸。离子束弯曲磁体提供了通过磁体的弯曲的路径以用于将带形离子束弯曲，所述带形离子束具有其垂直于磁体的弯曲平面的主横截面尺寸。磁体包括铁磁性轭，所述铁磁性轭围绕束路径且具有由四个成角度的边形成的横截面内轮廓。这些边与通过磁体的带形束的主尺寸成角度，使得轭的内轮廓在带形束的中心中相对宽而在带形束的顶部和底部边缘附近相对窄。靠着轭的内表面的电导体提供了沿轮廓的成角度的边的每单位长度均匀分布的电流，从而在磁体轭内提供了大体上均匀的磁性弯曲场。

    一种高温高能离子注入机离子光学系统
    44.
    发明公开
    一种高温高能离子注入机离子光学系统 无效

    公开(公告)号：CN104051211A

    公开(公告)日：2014-09-17

    申请号：CN201410243508.4

    申请日：2014-06-04

    申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所

    发明人： 孙雪平 ,  张赛 ,  易文杰 ,  彭立波

    IPC分类号： H01J37/317 ,  H01J37/05

    摘要： 本发明公开了一种高温高能离子注入机离子光学系统，包括离子源，所述离子源产生的离子通过引出系统后形成离子束，所述离子束依次通过质量分析器和分析光栏，所述分析光栏分析提纯后的离子束经过一对垂直扫描电极板，所述垂直扫描电极板将经分析提纯后的离子束扫描成扇形状束带，所述扇形状束带通过30°平行束透镜后形成平行的带状束，所述平行的带状束通过加速管加速后，经高温靶盘注入晶片。本发明能保证注入离子种类和能量精度，满足注入工艺需要晶片加热的要求。

    用于带形离子束的离子束弯曲磁体
    45.
    发明公开
    用于带形离子束的离子束弯曲磁体 有权

    公开(公告)号：CN103367084A

    公开(公告)日：2013-10-23

    申请号：CN201310110403.7

    申请日：2013-04-01

    申请人： 日新离子机器株式会社

    发明人： 希尔顿·F·格拉维斯 ,  土肥正二郎 ,  本杰明·托马斯·金

    IPC分类号： H01J37/05 ,  H01J37/317

    CPC分类号： H01J37/05 ,  H01J37/1475 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/1523 ,  H01J2237/31701

    摘要： 本发明涉及用于带形离子束的离子束弯曲磁体。本发明提供适合于容纳且弯曲带形离子束的改进的弯曲磁体，所述带形离子束的横截面轮廓具有垂直于弯曲磁体的弯曲平面的主尺寸。离子束弯曲磁体提供了通过磁体的弯曲的路径以用于将带形离子束弯曲，所述带形离子束具有其垂直于磁体的弯曲平面的主横截面尺寸。磁体包括铁磁性轭，所述铁磁性轭围绕束路径且具有由四个成角度的边形成的横截面内轮廓。这些边与通过磁体的带形束的主尺寸成角度，使得轭的内轮廓在带形束的中心中相对宽而在带形束的顶部和底部边缘附近相对窄。靠着轭的内表面的电导体提供了沿轮廓的成角度的边的每单位长度均匀分布的电流，从而在磁体轭内提供了大体上均匀的磁性弯曲场。

    像差校正阴极透镜显微镜仪器
    48.
    发明授权
    像差校正阴极透镜显微镜仪器 有权

    公开(公告)号：CN101390186B

    公开(公告)日：2011-02-16

    申请号：CN200780006879.9

    申请日：2007-02-14

    申请人： 国际商业机器公司

    发明人： R·M·特罗普

    IPC分类号： H01J37/05 ,  H01J37/153 ,  G01N23/20 ,  G01N23/227

    CPC分类号： H01J37/153 ,  H01J37/05 ,  H01J37/252 ,  H01J37/295 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/2538 ,  H01J2237/2544

    摘要： 提供一种像差校正显微镜仪器。所述仪器具有用于接收第一非色散的电子衍射图形的第一磁偏转器(206)。第一磁偏转器还被构造为在第一磁偏转器的出射面(A2)内投影第一能量色散的电子衍射图形。在第一磁偏转器的出射面内设置有静电透镜(224)。第二磁偏转器(222)基本上与第一磁偏转器相同，其被设置用于接收来自静电透镜的第一能量色散的电子衍射图形。第二磁偏转器还被构造为在第二磁偏转器的第一出射面(B2)内投影第二非色散的电子衍射图形。电子反射镜(226)被构造为用于校正第二非色散的电子衍射图形内的一个或多个像差。电子反射镜被设置用于将第二非色散的电子衍射图形反射到第二磁偏转器，用于在第二磁偏转器的第二出射面(B3)内投影第二能量色散的电子衍射图形。

    一体化的光离子化传感器
    49.
    发明授权
    一体化的光离子化传感器 失效 许可

    公开(公告)号：CN101006339B

    公开(公告)日：2010-08-04

    申请号：CN200480043755.4

    申请日：2004-08-06

    申请人： 华瑞科学仪器(上海)有限公司

    发明人： 钱永彪 ,  孙鸿涛 ,  叶伟立 ,  苏爱民

    IPC分类号： G01N27/66 ,  H01J37/05

    CPC分类号： G01N27/66 ,  H01J41/02

    摘要： 本发明提供了一种一体化的光离子化传感器(10)，它不仅包括离子化室(36)、紫外线灯(32)、驱动电极(40，42)、离子检测器(48)，还包括灯驱动电路(44)、偏置电路(54)等通用电路。本发明的光离子化传感器包括一支撑件(230)，将外壳内的空间分割成两个部分。前述检测元件位于一个部分内，而通用电路被集成在电路板(95)上，位于另一部分内。本发明对电路板所处的空间灌封闭粘结剂，使其避免与外界接触。本发明为传感器外壳的顶盖设计了单个大圆孔、栅状和网状通气窗口，使得传感器既适用于气泵抽运模式，又适用于气体扩散模式。同时，特殊的通气窗口允许在不拆卸传感器的情况下，无需使用气泵，便能清除UV灯(32)的光学窗口(34)上的污染。本发明还在电路板上集成了光敏传感器(20)，以便在不拆卸传感器的情况下了解UV灯(32)的工作情况。