横向双扩散场效应晶体管、制作方法、芯片及电路

    公开(公告)号:CN118610267A

    公开(公告)日:2024-09-06

    申请号:CN202411082428.5

    申请日:2024-08-08

    摘要: 本发明提供一种横向双扩散场效应晶体管、制作方法、芯片及电路,涉及半导体技术领域。晶体管包括:衬底、有源阱区、体区、漂移区、源极、漏极和栅极,场板凹槽形成于漂移区;多晶硅夹心结构形成于场板凹槽内,包括第一多晶硅层和包裹在其外的密封氧化层,密封氧化层包括下氧化层和上氧化层;载流子吸引层,形成于多晶硅夹心结构下方的漂移区内;第二多晶硅层,形成于多晶硅夹心结构表面;第一多晶硅层与下氧化层构成第一场板结构;第二多晶硅层和多晶硅夹心结构构成第二场板结构;第二多晶硅层施加电压后,第一多晶硅层能存储电荷,控制载流子在漂移区的流通路径。本发明能存储大量电荷,提高电荷存储稳定性,改善表面自热效应,提高击穿电压。

    ESD保护电路及芯片
    60.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117878854A

    公开(公告)日:2024-04-12

    申请号:CN202311617293.3

    申请日:2023-11-29

    IPC分类号: H02H9/04

    摘要: 本发明涉及集成电路及芯片领域,提供一种ESD保护电路及芯片。ESD保护电路包括控制信号输入单元、RC延时单元以及泄放单元,泄放单元包括至少两种ESD泄放路径,控制信号输入单元用于根据输入的芯片通电状态信号控制泄放单元开启对应的ESD泄放路径进行ESD泄放,RC延时单元用于产生使泄放单元开启ESD泄放的RC时间常数。本发明针对断电和上电后两种状态设计不同的ESD保护,可以根据不同的应用场景切换不同ESD泄放方式,消除ESD上电过程中因毛刺导致的误触发事件的发生,解决上电过程中因Active Clamp钳位电压抬高导致的NMOS泄放管源漏跨压过大、功耗过大的问题。