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公开(公告)号:CN100531526C
公开(公告)日:2009-08-19
申请号:CN200480002365.2
申请日:2004-01-16
申请人: 凸版印刷株式会社
CPC分类号: C23F1/02 , H01L23/49548 , H01L2924/0002 , H05K3/06 , H05K3/064 , H05K3/202 , H05K2203/0369 , H05K2203/1476 , Y10T428/12361 , Y10T428/12368 , Y10T428/24273 , H01L2924/00
摘要: 本发明提供一种具有加工部的金属光蚀刻制品,其中所述加工部具有金属图案,所述金属图案在金属层的表层侧具有通过一次蚀刻形成的侧壁、并具有沿一次蚀刻形成的侧壁在膜厚方向上是延续的并通过使用了电沉积抗蚀剂的1次或多次蚀刻形成的至少一个侧壁,并且所述金属图案还具有与通过一次蚀刻形成的凹部不同形状的并通过二次蚀刻或其后的蚀刻形成的凹部的形状。
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公开(公告)号:CN1738927A
公开(公告)日:2006-02-22
申请号:CN200480002365.2
申请日:2004-01-16
申请人: 凸版印刷株式会社
IPC分类号: C23F1/00
CPC分类号: C23F1/02 , H01L23/49548 , H01L2924/0002 , H05K3/06 , H05K3/064 , H05K3/202 , H05K2203/0369 , H05K2203/1476 , Y10T428/12361 , Y10T428/12368 , Y10T428/24273 , H01L2924/00
摘要: 本发明提供一种具有加工部的金属光蚀刻制品,其中所述加工部具有金属图案,所述金属图案在金属层的表层侧具有通过一次蚀刻形成的侧壁、并具有沿一次蚀刻形成的侧壁在膜厚方向上是延续的并通过使用了电沉积抗蚀剂的1次或多次蚀刻形成的至少一个侧壁,并且所述金属图案还具有与通过一次蚀刻形成的凹部不同形状的并通过二次蚀刻或其后的蚀刻形成的凹部的形状。
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公开(公告)号:CN1559162A
公开(公告)日:2004-12-29
申请号:CN02818891.8
申请日:2002-09-30
申请人: 凸版印刷株式会社
CPC分类号: H01L23/49827 , H01L23/49822 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L2224/16225 , H01L2224/45124 , H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2924/01012 , H01L2924/01019 , H01L2924/0102 , H01L2924/01046 , H01L2924/01057 , H01L2924/01077 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/12042 , H01L2924/14 , H01L2924/15174 , H01L2924/15311 , H01L2924/16152 , H01L2924/16195 , H01L2924/181 , H01L2924/3011 , H05K1/0393 , H05K3/386 , H05K3/423 , H05K3/4652 , H05K2201/0195 , H05K2201/0394 , H05K2201/096 , H05K2203/0733 , Y10T29/49126 , Y10T29/49128 , Y10T29/4913 , Y10T29/49155 , Y10T29/49156 , Y10T29/49165 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
摘要: 本发明提供多层电路布线板、集成电路封装及多层电路布线板的制造方法。该多层电路布线板,层叠多个膜(131a、131b、131c),在各膜(131a、131b、131c)的至少一个面上形成布线图形(17a、17b、21、23),在分别形成于相邻的膜(131a、131b、131c)的面上的布线图形(17a、17b、21、23),经由形成于一个膜(131a、131b、131c)中的导通孔接触层(19a、19b)相互电连接。
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