在自旋转移力矩磁阻随机存取存储器中加电期间的数据保护

    公开(公告)号:CN102197433B

    公开(公告)日:2014-11-12

    申请号:CN200980143154.3

    申请日:2009-11-04

    发明人: 杨赛森 升·H·康

    IPC分类号: G11C11/16

    摘要: 本发明揭示一种自旋转移力矩磁阻随机存取存储器(STT-MRAM)阵列,其包括多个位单元(420到432)、一加电控制器(405)及第一多个预充电晶体管(410到413)。所述多个位单元各自耦合到多个位线(BL)及字线(WL)中的一者。所述加电控制器经配置以在加电期间提供加电控制信号以控制所述位线或所述字线中的至少一者的电压电平。所述第一多个预充电晶体管分别耦合到所述多个位线或所述多个字线中的至少一者,每一预充电晶体管经配置以基于所述加电控制信号而将对应的位线或字线放电到所要电压电平。

    磁性隧道结存储元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN102823008A

    公开(公告)日:2012-12-12

    申请号:CN201180016094.6

    申请日:2011-03-25

    发明人: 陈维川 升·H·康

    IPC分类号: H01L43/08 H01L43/12 H01L27/22

    摘要: 揭示用于形成磁性隧道结MTJ存储元件的方法及所形成的MTJ存储元件。所述MTJ存储元件包括MTJ堆叠,所述MTJ堆叠具有钉扎层堆叠、势垒层及自由层。在所述自由层上形成调整层,使得所述自由层经保护不受工艺相关损坏。在所述调整层上形成顶部电极,且利用所述顶部电极作为掩模来蚀刻所述调整层及所述自由层。接着形成间隔件层,其囊封所述顶部电极、所述调整层及所述自由层。蚀刻所述间隔件层及所述MTJ堆叠的剩余部分。在所述间隔件层及所述MTJ堆叠上沉积保护性覆盖层。特定来说,所述调整层在光致抗蚀剂移除过程期间保护所述自由层不受氧灰化。