执行电子器件的晶片级老化的方法

    公开(公告)号:CN100533165C

    公开(公告)日:2009-08-26

    申请号:CN02820299.6

    申请日:2002-08-12

    申请人: 菲尼萨公司

    IPC分类号: G01R31/316

    摘要: 描述了执行半导体器件的晶片级老化(WLBI)的方法,其中,系统设置为具有至少两个电极(210、215)。电偏压(920)和/或热功率(925)施加在具有用于由晶片承载的半导体器件的前后电接触件的晶片(100)的每个侧面上。柔性导电层(910)描述为用于用电接触件来供给晶片的器件侧面上的引脚,和/或还用于保护晶片不受到施加到其表面上的机械压力。还描述了使用冷却系统(950)来使得可以施加均匀的温度到受到老化的晶片。晶片级老化这样执行,即,通过使用上部接触板来将电和机械接触(915)施加到用于半导体器件的单个接触件;使用下部接触板(910)来将电和机械接触施加到所述半导体晶片的衬底表面;从连接到所述上下接触板的电源通过所述上下第二接触板来给所述半导体器件提供电能(920);根据特定的老化标准监测和控制给所述半导体器件的电能(935)一段时间;在所述一段时间(955)完成时去除电能;以及去除到给述半导体晶片的电和机械接触(965)。

    用于调整半导体晶体管的驱动电流的方法和装置

    公开(公告)号:CN103891144B

    公开(公告)日:2016-11-09

    申请号:CN201280052476.9

    申请日:2012-10-24

    IPC分类号: H03K17/30 H03K17/687

    摘要: 本发明公开了用于修复晶体管的方法和装置,包括:给PFET的源极施加第一电压,给PFET的栅极施加第二电压,以及给PFET的漏极施加第三电压达预定时间。其中第一电压大于第二电压,并且第二电压大于第三电压。本发明人已经确定,通过施加这些电压,被捕获于栅极电介质内的空穴将会减少。以此方式,可以修复半导体结构或者使其恢复至或接近最初的操作特性。另一种实施例是通过给NFET的漏极施加第一电压、给NFET的栅极施加第二电压以及给NFET的源极施加第三电压达预定时间来修复NFET晶体管的方法和装置。第一电压大于第二电压,而第二电压大于第三电压。如同在第一实施例中所示出的,本发明的目的是修复晶体管。在NFET的情形中,电子在正常的操作期间聚积于栅极电介质上。通过按照所描述的方式来施加电压,可以修复晶体管以使其在处于或接近于最初的规范下操作。

    用于调整半导体晶体管的驱动电流的方法和装置

    公开(公告)号:CN103891144A

    公开(公告)日:2014-06-25

    申请号:CN201280052476.9

    申请日:2012-10-24

    IPC分类号: H03K17/30 H03K17/687

    摘要: 本发明公开了用于修复晶体管的方法和装置,包括:给PFET的源极施加第一电压,给PFET的栅极施加第二电压,以及给PFET的漏极施加第三电压达预定时间。其中第一电压大于第二电压,并且第二电压大于第三电压。本发明人已经确定,通过施加这些电压,被捕获于栅极电介质内的空穴将会减少。以此方式,可以修复半导体结构或者使其恢复至或接近最初的操作特性。另一种实施例是通过给NFET的漏极施加第一电压、给NFET的栅极施加第二电压以及给NFET的源极施加第三电压达预定时间来修复NFET晶体管的方法和装置。第一电压大于第二电压,而第二电压大于第三电压。如同在第一实施例中所示出的,本发明的目的是修复晶体管。在NFET的情形中,电子在正常的操作期间聚积于栅极电介质上。通过按照所描述的方式来施加电压,可以修复晶体管以使其在处于或接近于最初的规范下操作。

    利用阵列与解码器进行器件表征的方法与系统

    公开(公告)号:CN1987501A

    公开(公告)日:2007-06-27

    申请号:CN200510111997.9

    申请日:2005-12-22

    发明人: 龚斌

    IPC分类号: G01R31/26 G01R31/00 H01L21/66

    CPC分类号: G01R31/2884 G01R31/275

    摘要: 一种测试器件的系统与方法。所述系统包括多个焊盘和耦合到多个器件的解码器。所述解码器被配置从所述多个焊盘接收多个选择信号,并至少基于与所述多个选择信号相关联的信息从所述多个器件选择器件。此外,所述系统包括连接到所选器件的一个或多个焊盘。所述一个或多个焊盘中的至少一个焊盘没有连接到所述多个器件中除所选器件之外的任何器件。所述一个或多个焊盘被用于测试所选器件。