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公开(公告)号:CN103930980B
公开(公告)日:2016-11-23
申请号:CN201280055529.2
申请日:2012-11-30
申请人: 株式会社新川
IPC分类号: H01L21/60
CPC分类号: B23K20/007 , B23K9/16 , B23K20/005 , B23K37/00 , H01L24/45 , H01L24/78 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/781 , H01L2224/78268 , H01L2224/78301 , H01L2224/85045 , H01L2224/85054 , H01L2924/00014 , H01L2924/00015 , Y10T137/6416 , H01L2224/48
摘要: 本发明提供一种防止氧化的气体的吹送单元,其具备:中空板状基体部(10),于内部形成有气体流路(53)、(54);气体入口(20),使防止氧化的气体流入至气体流路(53)、(54);贯通孔(30),以可拔插毛细管(72)的方式贯通基体部(10)的厚度方向,且与气体流路(53)、(54)连通而使防止氧化的气体流出;及薄膜加热器(40),安装于贯通孔(30)周围的基体部(10)的外面,该防止氧化的气体的吹送单元可利用紧凑的构造有效果地对接合球进行加温。
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公开(公告)号:CN106463424A
公开(公告)日:2017-02-22
申请号:CN201580026579.1
申请日:2015-04-28
申请人: 华祥股份有限公司
IPC分类号: H01L21/60
CPC分类号: B23K31/125 , B23K20/005 , B23K20/007 , B23K20/10 , B23K20/233 , B23K31/02 , B23K2101/32 , B23K2101/42 , B23K2103/08 , B23K2103/12 , H01L24/01 , H01L24/45 , H01L24/78 , H01L24/85 , H01L2224/45139 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/781 , H01L2224/78268 , H01L2224/78301 , H01L2224/78308 , H01L2224/78353 , H01L2224/78704 , H01L2224/78901 , H01L2224/85045 , H01L2224/85054 , H01L2924/00014 , H01L2224/45015 , H01L2924/207 , H01L2924/00015
摘要: 本发明提供一种打线接合方法及打线接合装置,可抑制无空气焊球的氧化并且可稳定地形成焊球直径大的无空气焊球。除自气体供给单元10向插通部32内部供给氧化防止气体以外,还自设置在插通部32外部的气体供给喷嘴40以覆盖插通部32的入口的方式供给氧化防止气体,在使导线74的前端位于插通部32内,且使瓷嘴3的前端位于插通部32外的状态下产生火花放电,由此可抑制无空气焊球75的氧化及实现无空气焊球75的稳定化,并且可形成焊球直径大的无空气焊球75。
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公开(公告)号:CN107041160A
公开(公告)日:2017-08-11
申请号:CN201580002609.5
申请日:2015-06-05
申请人: 日铁住金新材料股份有限公司 , 新日铁住金高新材料株式会社
CPC分类号: H01L24/45 , C22C9/00 , C22F1/08 , H01L24/05 , H01L24/43 , H01L24/48 , H01L24/85 , H01L2224/05624 , H01L2224/4312 , H01L2224/43125 , H01L2224/4321 , H01L2224/43848 , H01L2224/45 , H01L2224/45005 , H01L2224/45015 , H01L2224/45109 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/45565 , H01L2224/45572 , H01L2224/45609 , H01L2224/45644 , H01L2224/45664 , H01L2224/48011 , H01L2224/48247 , H01L2224/48465 , H01L2224/48507 , H01L2224/48824 , H01L2224/85045 , H01L2224/85054 , H01L2224/85065 , H01L2224/85075 , H01L2224/8509 , H01L2224/85203 , H01L2224/85439 , H01L2924/00011 , H01L2924/01005 , H01L2924/01012 , H01L2924/01015 , H01L2924/01028 , H01L2924/01031 , H01L2924/01032 , H01L2924/01045 , H01L2924/01046 , H01L2924/01078 , H01L2924/10253 , H01L2924/1576 , H01L2924/181 , H01L2924/00014 , H01L2924/00012 , H01L2924/20106 , H01L2924/20107 , H01L2924/20108 , H01L2924/20109 , H01L2924/20111 , H01L2924/20752 , H01L2924/01204 , H01L2924/01049 , H01L2924/01014 , H01L2924/01029 , H01L2924/013 , H01L2924/00013 , H01L2924/01001 , H01L2924/01007 , H01L2924/20105 , H01L2924/20656 , H01L2924/00 , H01L2924/2011 , H01L2924/01004 , H01L2924/01033
摘要: 本发明提供一种适合车载用装置的接合线,其是在表面具有Pd被覆层的Cu接合线,改善了高温高湿环境下的球接合部的接合可靠性。一种半导体装置用接合线,具有Cu合金芯材、和在所述Cu合金芯材的表面形成的Pd被覆层,该接合线包含0.011~1.2质量%的In,Pd被覆层的厚度为0.015~0.150μm。因此,能够提高高温高湿环境下的球接合部的接合寿命并改善接合可靠性。当Cu合金芯材含有分别为0.05~1.2质量%的Pt、Pd、Rh、Ni中的1种以上时,能够提高在175℃以上的高温环境下的球接合部可靠性。另外,当在Pd被覆层的表面进一步形成Au表皮层时,楔接合性改善。
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公开(公告)号:CN105122434A
公开(公告)日:2015-12-02
申请号:CN201380026062.3
申请日:2013-04-15
申请人: 株式会社新川
IPC分类号: H01L21/60
CPC分类号: H01L24/742 , B23K3/082 , B23K20/007 , H01L24/45 , H01L24/78 , H01L24/85 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/781 , H01L2224/78253 , H01L2224/78268 , H01L2224/78269 , H01L2224/78301 , H01L2224/85045 , H01L2224/85054 , H01L2224/852 , H01L2224/85205 , H01L2924/01029 , H01L2924/181 , H01L2924/365 , H01L2924/00014 , H01L2924/00015 , H01L2924/00
摘要: 本发明具备:中空板状的基体部(20),其在内部形成有氧化防止气体流路(30);孔(24),其以焊针(12)可抽出插入的方式设置于基体部(20),并与氧化防止气体流路(30)连通;及加热器(50),其是安装于基体部(20)的外表面;氧化防止气体流路(30)包含设置于基体部(20)的安装加热器(50)的外表面的附近的第一流路。藉此,在安装于打线接合装置的氧化防止气体吹出单元中,以小型的构造对无空气球有效地进行加热。
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公开(公告)号:CN104335338A
公开(公告)日:2015-02-04
申请号:CN201380027935.2
申请日:2013-04-11
申请人: 株式会社新川
发明人: 前田彻
IPC分类号: H01L21/60
CPC分类号: B23K3/082 , B23K20/007 , B23K20/26 , H01L24/45 , H01L24/78 , H01L24/85 , H01L2224/45139 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/781 , H01L2224/78253 , H01L2224/78269 , H01L2224/78301 , H01L2224/85045 , H01L2224/85054 , H01L2224/85205 , H01L2924/181 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
摘要: 本发明的特征在于具备:中空板状的基体部(20),其于内部形成有氧化防止气体流路(30);孔(24),其以焊针可抽出插入的方式设置于基体部(20),并与氧化防止气体流路(30)连通;以及多个电极(75a)、(75b),其埋入于孔(24)附近的基体部(20)的壁(21w)中,将氧化防止气体等离子体化。由此,能在打线接合装置中使接合品质更加提升。
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公开(公告)号:CN103930980A
公开(公告)日:2014-07-16
申请号:CN201280055529.2
申请日:2012-11-30
申请人: 株式会社新川
IPC分类号: H01L21/60
CPC分类号: B23K20/007 , B23K9/16 , B23K20/005 , B23K37/00 , H01L24/45 , H01L24/78 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/781 , H01L2224/78268 , H01L2224/78301 , H01L2224/85045 , H01L2224/85054 , H01L2924/00014 , H01L2924/00015 , Y10T137/6416 , H01L2224/48
摘要: 本发明提供一种氧化防止气体吹送单元,其具备:中空板状基体部(10),于内部形成有氧化防止气体流路(53)、(54);氧化防止气体入口(20),使氧化防止气体流入至氧化防止气体流路(53)、(54);贯通孔(30),以可拔插毛细管(72)的方式贯通基体部(10)的厚度方向,且与氧化防止气体流路(53)、(54)连通而使氧化防止气体流出;及薄膜加热器(40),安装于贯通孔(30)周围的基体部(10)的外面,该氧化防止气体吹送单元可利用紧凑的构造有效果地对接合球进行加温。
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公开(公告)号:CN107041160B
公开(公告)日:2018-10-02
申请号:CN201580002609.5
申请日:2015-06-05
申请人: 日铁住金新材料股份有限公司 , 新日铁住金高新材料株式会社
CPC分类号: H01L24/45 , C22C9/00 , C22F1/08 , H01L24/05 , H01L24/43 , H01L24/48 , H01L24/85 , H01L2224/05624 , H01L2224/4312 , H01L2224/43125 , H01L2224/4321 , H01L2224/43848 , H01L2224/45 , H01L2224/45005 , H01L2224/45015 , H01L2224/45109 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/45565 , H01L2224/45572 , H01L2224/45609 , H01L2224/45644 , H01L2224/45664 , H01L2224/48011 , H01L2224/48247 , H01L2224/48465 , H01L2224/48507 , H01L2224/48824 , H01L2224/85045 , H01L2224/85054 , H01L2224/85065 , H01L2224/85075 , H01L2224/8509 , H01L2224/85203 , H01L2224/85439 , H01L2924/00011 , H01L2924/01005 , H01L2924/01012 , H01L2924/01015 , H01L2924/01028 , H01L2924/01031 , H01L2924/01032 , H01L2924/01045 , H01L2924/01046 , H01L2924/01078 , H01L2924/10253 , H01L2924/1576 , H01L2924/181 , H01L2924/00014 , H01L2924/00012 , H01L2924/20106 , H01L2924/20107 , H01L2924/20108 , H01L2924/20109 , H01L2924/20111 , H01L2924/20752 , H01L2924/01204 , H01L2924/01049 , H01L2924/01014 , H01L2924/01029 , H01L2924/013 , H01L2924/00013 , H01L2924/01001 , H01L2924/01007 , H01L2924/20105 , H01L2924/20656 , H01L2924/00 , H01L2924/2011 , H01L2924/01004 , H01L2924/01033
摘要: 本发明提供一种适合车载用装置的接合线,其是在表面具有Pd被覆层的Cu接合线,改善了高温高湿环境下的球接合部的接合可靠性。一种半导体装置用接合线,具有Cu合金芯材、和在所述Cu合金芯材的表面形成的Pd被覆层,该接合线包含0.011~1.2质量%的In,Pd被覆层的厚度为0.015~0.150μm。因此,能够提高高温高湿环境下的球接合部的接合寿命并改善接合可靠性。当Cu合金芯材含有分别为0.05~1.2质量%的Pt、Pd、Rh、Ni中的1种以上时,能够提高在175℃以上的高温环境下的球接合部可靠性。另外,当在Pd被覆层的表面进一步形成Au表皮层时,楔接合性改善。
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公开(公告)号:CN105122434B
公开(公告)日:2018-08-24
申请号:CN201380026062.3
申请日:2013-04-15
申请人: 株式会社新川
IPC分类号: H01L21/60
CPC分类号: H01L24/742 , B23K3/082 , B23K20/007 , H01L24/45 , H01L24/78 , H01L24/85 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/781 , H01L2224/78253 , H01L2224/78268 , H01L2224/78269 , H01L2224/78301 , H01L2224/85045 , H01L2224/85054 , H01L2224/852 , H01L2224/85205 , H01L2924/01029 , H01L2924/181 , H01L2924/365 , H01L2924/00014 , H01L2924/00015 , H01L2924/00
摘要: 本发明提供一种氧化防止气体吹出单元,所述氧化防止气体吹出单元具备:中空板状的基体部(20),其在内部形成有氧化防止气体流路(30);孔(24),其以焊针(12)可抽出插入的方式设置于基体部(20),并与氧化防止气体流路(30)连通;及加热器(50),其是安装于基体部(20)的外表面;氧化防止气体流路(30)包含设置于基体部(20)的安装加热器(50)的外表面的附近的第一流路。藉此,在安装于打线接合装置的氧化防止气体吹出单元中,以小型的构造对无空气球有效地进行加热。
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公开(公告)号:CN104335338B
公开(公告)日:2017-09-26
申请号:CN201380027935.2
申请日:2013-04-11
申请人: 株式会社新川
发明人: 前田彻
IPC分类号: H01L21/60
CPC分类号: B23K3/082 , B23K20/007 , B23K20/26 , H01L24/45 , H01L24/78 , H01L24/85 , H01L2224/45139 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/781 , H01L2224/78253 , H01L2224/78269 , H01L2224/78301 , H01L2224/85045 , H01L2224/85054 , H01L2224/85205 , H01L2924/181 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
摘要: 本发明提供一种氧化防止气体吹出单元,所述氧化防止气体吹出单元具备:中空板状的基体部(20),其于内部形成有氧化防止气体流路(30);孔(24),其以焊针可抽出插入的方式设置于基体部(20),并与氧化防止气体流路(30)连通;以及多个电极(75a)、(75b),其埋入于孔(24)附近的基体部(20)的壁(21w)中,将氧化防止气体等离子体化。由此,能在打线接合装置中使接合品质更加提升。
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公开(公告)号:CN103311136A
公开(公告)日:2013-09-18
申请号:CN201210055863.X
申请日:2012-03-06
申请人: 深圳赛意法微电子有限公司
IPC分类号: H01L21/60
CPC分类号: H01L2224/45015 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/48456 , H01L2224/78 , H01L2224/78301 , H01L2224/85 , H01L2224/85054 , H01L2924/00011 , H01L2924/00 , H01L2924/00012 , H01L2924/01005 , H01L2924/01004 , H01L2924/00015 , H01L2924/00014
摘要: 一种基于BGA封装的铜线焊接装置,用于产生焊球将键合基板上的芯片引脚与半导体器件外部进行铜线键合连接,包括:真空加热块,用于放置键合基板,包括多个均匀分布的真空吸孔,形状为十字星状;劈刀,其倒角直径CD为28~30um,内倒角孔角CA为48~52°,端面角FA为7~9°;内置电火花发生器,设置于临近键合基板的焊盘且将形成焊球的位置;合成气体喷嘴,设置于临近电火花发生器的位置;数字流量计和流量调节装置,用于控制合成气体喷嘴喷出的混合保护气流流速,混合保护气流的成分为95%氮气和5%氢气,流速为0.4~0.6L/min。本发明使铜线键合强度明显提高,短路、晶圆破裂以及劈刀破损的出现几率降低。
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