公开(公告)号：JPWO2014083805A1

公开(公告)日：2017-01-05

申请号：JP2014549801

申请日：2013-11-20

Applicant: パナソニックIpマネジメント株式会社

Inventor： 小屋　賢一 ,  賢一 小屋 ,  米倉　勇 ,  勇 米倉 ,  大輔 深町 ,  大輔 深町 ,  慎也 原野 ,  慎也 原野

IPC: H01L21/60 ,  H01L21/56 ,  H01L23/28

CPC classification number: H01L24/48 ,  H01L24/45 ,  H01L24/49 ,  H01L24/78 ,  H01L24/85 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2224/451 ,  H01L2224/45139 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/45147 ,  H01L2224/48137 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/48247 ,  H01L2224/4845 ,  H01L2224/48455 ,  H01L2224/48465 ,  H01L2224/48479 ,  H01L2224/48482 ,  H01L2224/48997 ,  H01L2224/49 ,  H01L2224/78301 ,  H01L2224/85051 ,  H01L2224/85186 ,  H01L2224/85951 ,  H01L2224/85986 ,  H01L2924/00011 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/12041 ,  H01L2924/351 ,  H01L2224/48471 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2224/85181 ,  H01L2924/20752 ,  H01L2924/01201 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/01044 ,  H01L2924/01076 ,  H01L2924/01045 ,  H01L2924/01077 ,  H01L2924/0102 ,  H01L2924/01038 ,  H01L2924/01039 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/01058 ,  H01L2924/01063 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/01032 ,  H01L2924/01049 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/013 ,  H01L2224/43848 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2224/4554

Abstract: 第1の電極に第1のボンド部を形成し、この第1のボンド部から配線したワイヤ(6)に対して、第2の電極に形成されたバンプ(B)にキャピラリ(C)の先端を押圧して、キャピラリ(C)の先端の押圧面(S1)の形状が転写された第2のボンド部(62)を形成する。ワイヤ(6)が細くなり始める第2のボンド部(62)の基端(P1)を、接合面(S2)の長さに対して10%以上、一端P21からバンプ(B)側に入り込ませて、キャピラリ(C)によりワイヤ(6)を切断する。

Abstract translation: 形成在第一电极上的第一焊接部分，所述毛细管（C）的前端到第一金属丝（6），其从键部布线，形成在所述第二电极上的凸块（B）的 通过压制，从而形成（C）的毛细管压力端面的第二结合部的形状（S1）转移（62）。 第二结合单元导线（6）开始缩小近端（62）和（P1），10％或更多的相对于所述接合面的长度（S2）中，使其从一端P21输入到凸块（B）侧 碲，通过毛细管（C）切割线（6）。