公开(公告)号：JP6480823B2

公开(公告)日：2019-03-13

申请号：JP2015145612

申请日：2015-07-23

申请人： 東芝メモリ株式会社

发明人： 本間 荘一 ,  志摩 真也 ,  高野 勇佑 ,  渡部 武志 ,  澁谷 克則

IPC分类号： H01L23/28 ,  H01L23/12 ,  H01L23/00

公开(公告)号：JP6190264B2

公开(公告)日：2017-08-30

申请号：JP2013257774

申请日：2013-12-13

申请人： 東芝メモリ株式会社

发明人： 澁谷 克則 ,  井本 孝志 ,  本間 荘一 ,  渡部 武志 ,  高野 勇佑

IPC分类号： H01L21/48 ,  H01L23/00

CPC分类号： H01L21/67265 ,  C23C14/54 ,  C23C14/56 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67288 ,  H01L23/552 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/14

公开(公告)号：JP6418625B2

公开(公告)日：2018-11-07

申请号：JP2013258660

申请日：2013-12-13

申请人： 東芝メモリ株式会社

发明人： 渡部 武志 ,  井本 孝志 ,  高野 勇佑 ,  本間 荘一 ,  澁谷 克則

IPC分类号： H01L23/00 ,  H01L23/28 ,  H01L21/56

CPC分类号： H01L23/552 ,  H01L21/561 ,  H01L23/295 ,  H01L23/3128 ,  H01L23/544 ,  H01L24/48 ,  H01L24/73 ,  H01L24/97 ,  H01L25/0657 ,  H01L2223/54406 ,  H01L2223/54433 ,  H01L2223/54486 ,  H01L2224/32145 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48145 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2224/97 ,  H01L2225/06506 ,  H01L2225/0651 ,  H01L2225/06537 ,  H01L2225/06562 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/1438 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/15787 ,  H01L2924/15788 ,  H01L2924/1579 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/1815 ,  H01L2224/85 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/45099 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2924/207

公开(公告)号：JP6219155B2

公开(公告)日：2017-10-25

申请号：JP2013258704

申请日：2013-12-13

申请人： 東芝メモリ株式会社

发明人： 高野 勇佑 ,  井本 孝志 ,  渡部 武志 ,  本間 荘一 ,  澁谷 克則

IPC分类号： H01L21/56 ,  H01L23/00 ,  H01L23/28

CPC分类号： H01L23/552 ,  H01L23/3128 ,  H01L24/97 ,  H01L21/561 ,  H01L2223/54406 ,  H01L2223/5442 ,  H01L2223/54433 ,  H01L2223/54486 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/48095 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2224/97 ,  H01L23/295 ,  H01L24/32 ,  H01L24/48 ,  H01L24/73 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/15159 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/181