KR102233439B1 - 
  Wafer processing tape

    公开(公告)号:KR102233439B1

    公开(公告)日:2021-03-30

    申请号:KR1020187021158A

    申请日:2017-02-23

    Abstract: 프리컷 가공된 웨이퍼 가공용 테이프를 롤 상태에서 보관하였을 때, 라벨부가 웨이퍼 가공용 테이프의 배면과 블로킹하는 것을 억제하고, 롤 상태로부터 라벨부를 양호하게 조출할 수 있는 웨이퍼 가공용 테이프를 제공한다. 장척의(긴) 이형 필름(11)과, 이형 필름(11)의 제1 면(11a) 상에 설치된 링 프레임(R)에 대응하는 소정 형상을 갖는 라벨부(12a)와, 라벨부(12a)의 외측을 둘러싸는 주변부(12b)를 갖는 점착 필름(12)과, 이형 필름(11)의 짧은 변 방향 양단부이며, 점착 필름(12)이 설치된 제1 면(11a)과는 반대인 제2 면(11b) 상에 설치된 지지 부재(13)를 갖고, 점착 필름(12)은 이형 필름(11)에 접촉하고 있지 않은 측의 산술 표면 조도 Ra가 0.3㎛ 이하이고, 지지 부재(13)는 두께가 30 내지 150㎛인 것을 특징으로 한다.

    半導体加工用粘着テープ
    10.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2018152420A

    公开(公告)日:2018-09-27

    申请号:JP2017046435

    申请日:2017-03-10

    CPC classification number: C09J7/20 C09J201/00 H01L21/304

    Abstract: 【課題】本発明は、半導体ウェハの加工、特にシリコンウェハ等の裏面研削工程において、薄膜に研削しても、剥離性に優れ、また層間密着性に優れ、さらに不良チップの発生を十分に抑制することができる半導体加工用粘着テープを提供する。 【解決手段】基材と、該基材の片面に設けられた粘着剤層とからなる粘着テープであって、前記基材が複層構造からなり、該複層構造の少なくとも1層が環状オレフィンポリマーを80質量%以上含有する層Aであって、該層Aとは別に、直鎖状低密度ポリエチレンまたは高密度ポリエチレンを含有する層Bを有することを特徴とする、半導体加工用粘着テープ。 【選択図】図1

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