レーザ光を高速で走査可能なガルバノスキャナを含む加工システム
    7.
    发明专利
    レーザ光を高速で走査可能なガルバノスキャナを含む加工システム 审中-公开
    包含扫描激光束高速扫描仪的加工系统

    公开(公告)号:JP2016055308A

    公开(公告)日:2016-04-21

    申请号:JP2014182633

    申请日:2014-09-08

    摘要: 【課題】ガルバノスキャナによるレーザ光の走査精度を維持しつつ走査速度を高速化できる加工システムを提供する。 【解決手段】レーザ光を生成するレーザ光源2と、レーザ光を反射するミラー31及びミラー31を回転駆動するサーボモータ32を備え、レーザ光を被加工物Wに照射するガルバノスキャナ3と、正弦波状の駆動指令に従ってサーボモータ32の動作を制御する動作制御装置4と、を含む加工システム。 【選択図】図1

    摘要翻译: 要解决的问题:提供一种能够通过电动扫描仪保持激光束的扫描精度来加快扫描速度的处理系统。解决方案:处理系统包括:用于产生激光束的激光源2; 包括用于反射激光束的反射镜31和旋转地驱动反射镜31的伺服电动机32的电流计扫描器3; 以及用于根据正弦波形状的驱动命令来控制伺服电动机32的操作的操作控制装置4.选择的图示:图1