KR102231993B1 - 
  Manufacturing method of multilayer wiring board

    公开(公告)号:KR102231993B1

    公开(公告)日:2021-03-25

    申请号:KR1020207021006A

    申请日:2019-03-22

    摘要: 회로 밀착성이 우수하면서도, 레이저 가공에 의한 내층 회로의 관통을 매우 효과적으로 방지하는 것이 가능한, 다층 배선판의 제조 방법이 제공된다. 이 다층 배선판의 제조 방법은, (a) 제1 금속박 위에 제1 절연층 및 제2 금속박을 순서대로 적층하여 제1 적층체를 형성하는 공정과, (b) 제2 배선층을 형성하는 공정과, (c) 제2 절연층 및 제3 금속박을 순서대로 적층하여 제2 적층체를 형성하는 공정과, (d) 제1 비아 홀과 제2 비아 홀을 형성하는 공정과, (e) 제1 배선층, 제2 배선층 및 제3 배선층을 포함하는 다층 배선판을 형성하는 공정을 포함하고, 제2 금속박의 적어도 제1 절연층과 대향하는 면은, 푸리에 변환 적외 분광 광도계(FT-IR)에 의해 측정되는 파장 10.6㎛의 레이저의 반사율이 80% 이상이며, 또한, ISO25178에 준거하여 측정되는 산의 정점 밀도 Spd가 7000개/㎟ 이상 15000개/㎟ 이하이다.