公开(公告)号：US5321685A

公开(公告)日：1994-06-14

申请号：US979453

申请日：1992-11-20

申请人： Hiroyasu Nose ,  Kunihiro Sakai ,  Toshimitsu Kawase ,  Toshihiko Miyazaki ,  Katsuhiko Shinjo ,  Yutaka Hirai ,  Takayuki Yagi ,  Katsunori Hatanaka ,  Keisuke Yamamoto ,  Yuki Kasanuki ,  Yoshio Suzuki

发明人： Hiroyasu Nose ,  Kunihiro Sakai ,  Toshimitsu Kawase ,  Toshihiko Miyazaki ,  Katsuhiko Shinjo ,  Yutaka Hirai ,  Takayuki Yagi ,  Katsunori Hatanaka ,  Keisuke Yamamoto ,  Yuki Kasanuki ,  Yoshio Suzuki

IPC分类号： G01B7/34 ,  G01Q60/00 ,  G01N27/00 ,  G01N37/00 ,  G01Q10/02 ,  G01Q10/04 ,  G01Q30/18 ,  G01Q60/10 ,  G01Q60/16 ,  G01Q60/38 ,  G01Q80/00 ,  G11B9/00 ,  G11B9/14 ,  H01J37/28

CPC分类号： G11B9/1409 ,  B82Y35/00 ,  G01Q10/045 ,  G01Q60/16 ,  G11B9/1436 ,  B82Y10/00 ,  G01Q80/00 ,  Y10S977/732 ,  Y10S977/861 ,  Y10S977/873 ,  Y10S977/881 ,  Y10S977/947

摘要： A cantilever type probe comprising a piezoelectric bimorph cantilever containing a piezoelectric material provided between driving electrodes for driving a cantilever, a probe formed thereon and a drawing electrode for a probe provided along the surface where a probe is formed, wherein there is provided a shielding electrode for electrically isolating the probe and the drawing electrode from the driving electrodes.

摘要翻译： 一种悬臂式探头，包括压电双晶片悬臂，其包含设置在用于驱动悬臂的驱动电极之间的压电材料，形成在其上的探针和沿着形成探针的表面设置的用于探针的牵引电极，其中设置有屏蔽电极 用于将探针和绘图电极与驱动电极电隔离。

公开(公告)号：US5412641A

公开(公告)日：1995-05-02

申请号：US55088

申请日：1993-05-03

申请人： Katsuhiko Shinjo ,  Toshihiko Miyazaki ,  Ryo Kuroda ,  Keisuke Yamamoto ,  Toshimitsu Kawase

发明人： Katsuhiko Shinjo ,  Toshihiko Miyazaki ,  Ryo Kuroda ,  Keisuke Yamamoto ,  Toshimitsu Kawase

IPC分类号： G01Q60/16 ,  G01N37/00 ,  G01Q10/04 ,  G01Q60/10 ,  G01Q70/06 ,  G01Q80/00 ,  G11B9/00 ,  G11B9/14 ,  H01L27/10

CPC分类号： G11B9/1418 ,  G11B9/1454 ,  G11B9/1472 ,  B82Y10/00 ,  G01Q70/06 ,  G01Q80/00 ,  Y10S977/874

摘要： An information recording and/or reproducing apparatus performs at least one of record and reproduction of information on an information record medium with a plurality of probes. The apparatus includes a support plate supporting the plurality of probes and segmented into a plurality of blocks, and a driving mechanism for driving the plurality of blocks independently of one another. Another apparatus may include an information record medium segmented into a plurality of blocks, a support plate supporting a plurality of probes, and a driving mechanism for driving the plurality of blocks independently of one another.

摘要翻译： 信息记录和/或再现装置利用多个探针在信息记录介质上执行信息的记录和再现中的至少一个。 该装置包括支撑多个探针并分割成多个块的支撑板，以及用于彼此独立地驱动多个块的驱动机构。 另一装置可以包括分割成多个块的信息记录介质，支撑多个探针的支撑板以及用于彼此独立地驱动多个块的驱动机构。

公开(公告)号：US5357108A

公开(公告)日：1994-10-18

申请号：US895621

申请日：1992-06-09

申请人： Yoshio Suzuki ,  Yutaka Hirai ,  Osamu Takamatsu ,  Masaru Nakayama ,  Takayuki Yagi ,  Yuji Kasanuki ,  Keisuke Yamamoto ,  Yasuhiro Shimada

发明人： Yoshio Suzuki ,  Yutaka Hirai ,  Osamu Takamatsu ,  Masaru Nakayama ,  Takayuki Yagi ,  Yuji Kasanuki ,  Keisuke Yamamoto ,  Yasuhiro Shimada

IPC分类号： G01B21/30 ,  B81B3/00 ,  G01N27/00 ,  G01N37/00 ,  G01Q10/04 ,  G01Q60/10 ,  G01Q60/16 ,  G01Q70/08 ,  G01Q70/16 ,  G01Q80/00 ,  G11B9/00 ,  G11B9/14 ,  H01J37/28 ,  H01L41/09 ,  H01J37/26

CPC分类号： G01Q60/16 ,  B82Y35/00 ,  G11B9/1418 ,  G11B9/1436 ,  H01L41/094 ,  H01L41/096 ,  H01L41/0966 ,  B82Y10/00 ,  G01Q80/00 ,  Y10S977/837 ,  Y10S977/861 ,  Y10S977/872 ,  Y10S977/873

摘要： A cantilever type displacement element comprises a piezoelectric layer and at least two electrodes for applying a voltage to said piezoelectric layer, at least one of said electrodes being a comb-shaped electrode pair having respectively comb-tooth portions disposed separately as facing and alongside of each other in the width direction of the cantilever.

摘要翻译： 悬臂式位移元件包括压电层和用于向所述压电层施加电压的至少两个电极，所述电极中的至少一个是梳状电极对，其中梳齿状电极对具有分别设置为各自的梳齿部分 其他在悬臂的宽度方向。

公开(公告)号：US5268571A

公开(公告)日：1993-12-07

申请号：US888789

申请日：1992-05-27

申请人： Keisuke Yamamoto ,  Yutaka Hirai ,  Masaru Nakayama ,  Takayuki Yagi ,  Yuji Kasanuki ,  Yoshio Suzuki

发明人： Keisuke Yamamoto ,  Yutaka Hirai ,  Masaru Nakayama ,  Takayuki Yagi ,  Yuji Kasanuki ,  Yoshio Suzuki

IPC分类号： B81B3/00 ,  G01N27/00 ,  G01N37/00 ,  G01Q20/04 ,  G01Q30/02 ,  G01Q60/10 ,  G01Q60/16 ,  G01Q70/06 ,  G01Q70/14 ,  G01Q80/00 ,  G11B9/00 ,  G11B9/14 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H02N2/00 ,  H01J37/26

CPC分类号： G01Q60/16 ,  B82Y35/00 ,  G01Q10/045 ,  G01Q70/06 ,  G11B9/1436 ,  H01L41/094 ,  B82Y10/00 ,  G01Q80/00 ,  Y10S977/837 ,  Y10S977/861 ,  Y10S977/872 ,  Y10S977/873

摘要： A micro-displacement element comprises a unimorph cantilever having a piezoelectric thin film, a pair of electrodes between which the piezoelectric thin film is sandwiched, and an elastic thin film. One end of the cantilever is supported by a support, and the other end thereof is provided with a probe. The micro-displacement element can be used particularly as an array of plural elements, for an information processing apparatus in which the element faces to a recording medium such that an information recording pulse voltage or an information reproducing bias voltage can be applied to between the probe and the recording medium.

摘要翻译： 微位移元件包括具有压电薄膜的单压电晶片，夹在压电薄膜之间的一对电极和弹性薄膜。 悬臂的一端由支撑件支撑，并且其另一端设置有探针。 微位移元件可以特别地用作多个元件的阵列，对于其中元件面向记录介质的信息处理设备，使得可以在探头之间施加信息记录脉冲电压或信息再现偏置电压 和记录介质。

公开(公告)号：US5966787A

公开(公告)日：1999-10-19

申请号：US646551

申请日：1996-05-08

申请人： Masaru Nakayama ,  Yutaka Hirai ,  Takayuki Yagi ,  Yuji Kasanuki ,  Keisuke Yamamoto ,  Yasuhiro Shimada ,  Yoshio Suzuki

发明人： Masaru Nakayama ,  Yutaka Hirai ,  Takayuki Yagi ,  Yuji Kasanuki ,  Keisuke Yamamoto ,  Yasuhiro Shimada ,  Yoshio Suzuki

IPC分类号： G01B21/30 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B81B3/00 ,  G01N37/00 ,  G01Q10/00 ,  G01Q10/04 ,  G01Q60/10 ,  G01Q60/16 ,  G01Q70/06 ,  G01Q70/16 ,  G01Q80/00 ,  G11B9/00 ,  G11B9/14 ,  H01J37/28 ,  H01L41/083 ,  H01L41/09 ,  H01L41/22

CPC分类号： G01Q60/16 ,  B82Y35/00 ,  G01Q10/04 ,  G01Q10/045 ,  G01Q70/06 ,  G11B9/1436 ,  H01L41/094 ,  B82Y10/00 ,  G01Q80/00 ,  Y10T29/42

摘要： A process for producing a probe-driving mechanism. A laminate of a first and second insulating layer is placed on a support. Electrode layers and piezoelectric layers are successively laminated on the second insulating layer. Part of the support and second insulating layer is removed to form a cantilever.

摘要翻译： 一种用于产生探针驱动机构的方法。 将第一和第二绝缘层的叠层放置在支撑体上。 电极层和压电层依次层叠在第二绝缘层上。 部分支撑和第二绝缘层被去除以形成悬臂。

公开(公告)号：US5506829A

公开(公告)日：1996-04-09

申请号：US253606

申请日：1994-06-03

申请人： Takayuki Yagi ,  Yutaka Hirai ,  Osamu Takamatsu ,  Masaru Nakayama ,  Yuji Kasanuki ,  Yasuhiro Shimada ,  Keisuke Yamamoto ,  Yoshio Suzuki

发明人： Takayuki Yagi ,  Yutaka Hirai ,  Osamu Takamatsu ,  Masaru Nakayama ,  Yuji Kasanuki ,  Yasuhiro Shimada ,  Keisuke Yamamoto ,  Yoshio Suzuki

IPC分类号： B81B3/00 ,  G01N27/00 ,  G01Q10/00 ,  G01Q10/04 ,  G01Q60/00 ,  G01Q60/16 ,  G01Q70/14 ,  G01Q80/00 ,  G11B9/00 ,  G11B9/14 ,  H01J37/28 ,  H01L21/66 ,  H01L41/09 ,  H01L41/22

CPC分类号： G01Q10/06 ,  B82Y35/00 ,  G01Q20/04 ,  G01Q60/16 ,  G01Q70/14 ,  G11B9/1436 ,  H01L41/094 ,  B82Y10/00 ,  Y10S977/872 ,  Y10S977/873

摘要： A cantilever probe comprising a cantilever displacement element containing a piezoelectric material provided between driving electrodes for causing displacement of the piezoelectric material, a probe for information input and output provided on the free end of the element, a drawing electrode for the probe and, a non-electroconductive thin film provided on at least a portion of an end of the element.

摘要翻译： 一种悬臂探头，包括悬臂位移元件，该悬臂位移元件包含设置在驱动电极之间的用于引起压电材料位移的压电材料，设置在元件自由端上的用于信息输入和输出的探针，用于探针的拉伸电极， - 设置在元件的端部的至少一部分上的导电薄膜。

公开(公告)号：US5412597A

公开(公告)日：1995-05-02

申请号：US155375

申请日：1993-10-15

申请人： Toshihiko Miyazaki ,  Hiroshi Matsuda ,  Hisaaki Kawade ,  Ken Eguchi ,  Haruki Kawada ,  Hideyuki Kawagishi ,  Yoshihiro Yanagisawa ,  Keisuke Yamamoto ,  Toshimitsu Kawase ,  Takahiro Oguchi ,  Toshihiko Takeda ,  Masahiro Tagawa

发明人： Toshihiko Miyazaki ,  Hiroshi Matsuda ,  Hisaaki Kawade ,  Ken Eguchi ,  Haruki Kawada ,  Hideyuki Kawagishi ,  Yoshihiro Yanagisawa ,  Keisuke Yamamoto ,  Toshimitsu Kawase ,  Takahiro Oguchi ,  Toshihiko Takeda ,  Masahiro Tagawa

IPC分类号： G11B9/00 ,  G11B17/32 ,  G11B21/00 ,  G11B21/21 ,  G11C13/00

CPC分类号： G11B9/1436 ,  G11B17/32 ,  G11B21/00 ,  G11B21/21 ,  B82Y10/00 ,  Y10S977/852

摘要： A method for detecting a slope of a surface of an information record medium in an apparatus for detecting/writing information using one or a plurality of probes from/in the information record medium. The surface of the information record medium is scanned using the probe. The information from the surface of the information record medium is detected through the probe when the scanning is executed, and the slope of the surface of the information record medium is detected on the basis of the detected information.

摘要翻译： 一种用于使用信息记录介质中的一个或多个探测器检测/写入信息的设备中的信息记录介质的表面的斜率的方法。 使用探头扫描信息记录介质的表面。 当执行扫描时，通过探测器检测来自信息记录介质表面的信息，并且基于检测到的信息检测信息记录介质的表面的斜率。

公开(公告)号：US5334835A

公开(公告)日：1994-08-02

申请号：US951751

申请日：1992-09-28

申请人： Masaru Nakayama ,  Osamu Takamatsu ,  Takayuki Yagi ,  Keisuke Yamamoto ,  Takehiko Kawasaki ,  Yasuhiro Shimada ,  Yoshio Suzuki

发明人： Masaru Nakayama ,  Osamu Takamatsu ,  Takayuki Yagi ,  Keisuke Yamamoto ,  Takehiko Kawasaki ,  Yasuhiro Shimada ,  Yoshio Suzuki

IPC分类号： G01B7/34 ,  B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  G01N37/00 ,  G01Q10/04 ,  G01Q60/10 ,  G01Q60/16 ,  G01Q70/06 ,  G01Q70/08 ,  G01Q70/16 ,  G01Q80/00 ,  G05D3/00 ,  G11B5/48 ,  G11B9/00 ,  G11B9/14 ,  H01L27/20 ,  H01L29/84 ,  H01J37/00

CPC分类号： G01Q60/16 ,  B82Y35/00 ,  G01Q70/06 ,  G11B9/14 ,  G11B9/1409 ,  G11B9/1418 ,  B82Y10/00 ,  G01Q80/00 ,  G11B5/486 ,  Y10S148/159 ,  Y10S977/732 ,  Y10S977/837 ,  Y10S977/861 ,  Y10S977/873 ,  Y10S977/875 ,  Y10S977/881 ,  Y10S977/947

摘要： A probe drive mechanism includes a cantilever portion in which a piezoelectric layer is disposed between electrode layers, and a circuit portion which is positioned adjacent to the cantilever portion and drives the cantilever. The cantilever portion and the circuit portion are formed on the same substrate. A protection layer covers the circuit portion and part of the substrate, and the cantilever portion is formed on the protection layer adjacent to the circuit portion.

摘要翻译： 探针驱动机构包括悬臂部分，其中压电层设置在电极层之间，电路部分位于悬臂部分附近并驱动悬臂。 悬臂部分和电路部分形成在相同的基板上。 保护层覆盖电路部分和基板的一部分，并且悬臂部分形成在与电路部分相邻的保护层上。

公开(公告)号：US5648300A

公开(公告)日：1997-07-15

申请号：US344585

申请日：1994-11-18

申请人： Masaru Nakayama ,  Osamu Takamatsu ,  Takayuki Yagi ,  Keisuke Yamamoto ,  Takehiko Kawasaki ,  Yasuhiro Shimada ,  Yoshio Suzuki

发明人： Masaru Nakayama ,  Osamu Takamatsu ,  Takayuki Yagi ,  Keisuke Yamamoto ,  Takehiko Kawasaki ,  Yasuhiro Shimada ,  Yoshio Suzuki

IPC分类号： G01B7/34 ,  B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  G01N37/00 ,  G01Q10/04 ,  G01Q60/10 ,  G01Q60/16 ,  G01Q70/06 ,  G01Q70/08 ,  G01Q70/16 ,  G01Q80/00 ,  G05D3/00 ,  G11B5/48 ,  G11B9/00 ,  G11B9/14 ,  H01L27/20 ,  H01L29/84 ,  H01L21/465

CPC分类号： G01Q60/16 ,  B82Y35/00 ,  G01Q70/06 ,  G11B9/14 ,  G11B9/1409 ,  G11B9/1418 ,  B82Y10/00 ,  G01Q80/00 ,  G11B5/486 ,  Y10S148/159 ,  Y10S977/732 ,  Y10S977/837 ,  Y10S977/861 ,  Y10S977/873 ,  Y10S977/875 ,  Y10S977/881 ,  Y10S977/947

摘要： A method of manufacturing a cantilever drive mechanism arranged in such a manner that a cantilever portion, in which a piezoelectric layer is disposed between electrode layers, and a circuit portion, which is positioned adjacent to the cantilever portion and which drives the cantilever, are formed on the same substrate. The method includes the steps of first forming the circuit portion and then forming the cantilever portion after the circuit portion has been formed.

摘要翻译： 一种制造悬臂驱动机构的方法，其以这样一种方式布置，使得其中压电层设置在电极层之间的悬臂部分和与悬臂部分相邻并且驱动悬臂的电路部分形成 在同一基板上。 该方法包括以下步骤：首先形成电路部分，然后在形成电路部分之后形成悬臂部分。

公开(公告)号：US5398229A

公开(公告)日：1995-03-14

申请号：US240479

申请日：1994-05-10

申请人： Masaru Nakayama ,  Osamu Takamatsu ,  Takayuki Yagi ,  Keisuke Yamamoto ,  Takehiko Kawasaki ,  Yasuhiro Shimada ,  Yoshio Suzuki

发明人： Masaru Nakayama ,  Osamu Takamatsu ,  Takayuki Yagi ,  Keisuke Yamamoto ,  Takehiko Kawasaki ,  Yasuhiro Shimada ,  Yoshio Suzuki

IPC分类号： G01B7/34 ,  B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  G01N37/00 ,  G01Q10/04 ,  G01Q60/10 ,  G01Q60/16 ,  G01Q70/06 ,  G01Q70/08 ,  G01Q70/16 ,  G01Q80/00 ,  G05D3/00 ,  G11B5/48 ,  G11B9/00 ,  G11B9/14 ,  H01L27/20 ,  H01L29/84 ,  H01J37/00

CPC分类号： G01Q60/16 ,  B82Y35/00 ,  G01Q70/06 ,  G11B9/14 ,  G11B9/1409 ,  G11B9/1418 ,  B82Y10/00 ,  G01Q80/00 ,  G11B5/486 ,  Y10S148/159 ,  Y10S977/732 ,  Y10S977/837 ,  Y10S977/861 ,  Y10S977/873 ,  Y10S977/875 ,  Y10S977/881 ,  Y10S977/947

摘要： A method of manufacturing a cantilever drive mechanism arranged in such a manner that a cantilever portion, in which a piezoelectric layer is disposed between electrode layers, and a circuit portion, which is positioned adjacent to the cantilever portion and which drives the cantilever are formed on the same substrate. The method includes the steps of first forming the circuit portion and then forming the cantilever portion after the circuit portion has been formed.

摘要翻译： 一种制造悬臂驱动机构的方法，该悬臂驱动机构以这样的方式设置，使得在电极层之间设置压电层的悬臂部分和与悬臂部分相邻并驱动悬臂的电路部分形成在 相同的底物。 该方法包括以下步骤：首先形成电路部分，然后在形成电路部分之后形成悬臂部分。