公开(公告)号：US5321685A

公开(公告)日：1994-06-14

申请号：US979453

申请日：1992-11-20

申请人： Hiroyasu Nose ,  Kunihiro Sakai ,  Toshimitsu Kawase ,  Toshihiko Miyazaki ,  Katsuhiko Shinjo ,  Yutaka Hirai ,  Takayuki Yagi ,  Katsunori Hatanaka ,  Keisuke Yamamoto ,  Yuki Kasanuki ,  Yoshio Suzuki

发明人： Hiroyasu Nose ,  Kunihiro Sakai ,  Toshimitsu Kawase ,  Toshihiko Miyazaki ,  Katsuhiko Shinjo ,  Yutaka Hirai ,  Takayuki Yagi ,  Katsunori Hatanaka ,  Keisuke Yamamoto ,  Yuki Kasanuki ,  Yoshio Suzuki

IPC分类号： G01B7/34 ,  G01Q60/00 ,  G01N27/00 ,  G01N37/00 ,  G01Q10/02 ,  G01Q10/04 ,  G01Q30/18 ,  G01Q60/10 ,  G01Q60/16 ,  G01Q60/38 ,  G01Q80/00 ,  G11B9/00 ,  G11B9/14 ,  H01J37/28

CPC分类号： G11B9/1409 ,  B82Y35/00 ,  G01Q10/045 ,  G01Q60/16 ,  G11B9/1436 ,  B82Y10/00 ,  G01Q80/00 ,  Y10S977/732 ,  Y10S977/861 ,  Y10S977/873 ,  Y10S977/881 ,  Y10S977/947

摘要： A cantilever type probe comprising a piezoelectric bimorph cantilever containing a piezoelectric material provided between driving electrodes for driving a cantilever, a probe formed thereon and a drawing electrode for a probe provided along the surface where a probe is formed, wherein there is provided a shielding electrode for electrically isolating the probe and the drawing electrode from the driving electrodes.

摘要翻译： 一种悬臂式探头，包括压电双晶片悬臂，其包含设置在用于驱动悬臂的驱动电极之间的压电材料，形成在其上的探针和沿着形成探针的表面设置的用于探针的牵引电极，其中设置有屏蔽电极 用于将探针和绘图电极与驱动电极电隔离。

公开(公告)号：US5187367A

公开(公告)日：1993-02-16

申请号：US742436

申请日：1991-08-08

申请人： Toshihiko Miyazaki ,  Hiroyasu Nose ,  Takayuki Yagi ,  Toshimitsu Kawase ,  Katsuhiko Shinjo

发明人： Toshihiko Miyazaki ,  Hiroyasu Nose ,  Takayuki Yagi ,  Toshimitsu Kawase ,  Katsuhiko Shinjo

IPC分类号： B81B3/00 ,  G01N27/00 ,  G01Q20/04 ,  G01Q60/16 ,  G01Q70/10 ,  G01Q70/14 ,  G01Q80/00 ,  G11B9/00 ,  G11B11/00 ,  H01L41/09

CPC分类号： G01Q20/04 ,  B82Y35/00 ,  G01Q60/16 ,  G11B11/00 ,  G11B9/1409 ,  G11B9/1436 ,  H01L41/094 ,  B82Y10/00 ,  G01Q80/00 ,  Y10S977/861 ,  Y10S977/873 ,  Y10S977/947

摘要： A cantilever type probe comprises a cantilever-shaped displacement element having electrodes for driving which displace two layers of piezoelectric material at the interface and first and second surfaces of the layers, respectively, and each of the electrodes being arranged separately within the same plane, and a tip for information input and output connected to electrodes for drawing out arranged separately from the electrodes for driving at the free end of either one of the first and second surfaces of the element. A scanning tunneling microscopy or an information processing device comprises the cantilever type probe, a driver for driving the displacement element of the cantilever type probe and a bias or pulse voltage applicator for applying a bias or pulse voltage between a sample and the probe.

公开(公告)号：US5260567A

公开(公告)日：1993-11-09

申请号：US865227

申请日：1992-04-08

申请人： Ryo Kuroda ,  Katsunori Hatanaka ,  Toshihiko Miyazaki ,  Takayuki Yagi ,  Toshimitsu Kawase ,  Katsuhiko Shinjo

发明人： Ryo Kuroda ,  Katsunori Hatanaka ,  Toshihiko Miyazaki ,  Takayuki Yagi ,  Toshimitsu Kawase ,  Katsuhiko Shinjo

IPC分类号： G01B21/30 ,  G01B7/34 ,  G01B9/02 ,  G01N37/00 ,  G01P15/08 ,  G01Q20/02 ,  G01Q60/08 ,  G01Q60/24 ,  G01Q60/40 ,  G01Q60/50 ,  G01Q60/56 ,  G01Q70/14 ,  G01Q80/00 ,  G01R33/038 ,  G11B9/00 ,  G11B9/14 ,  H01J5/16

CPC分类号： G01B9/02051 ,  B82Y35/00 ,  G01B9/02022 ,  G01B9/02023 ,  G01P15/0894 ,  G01Q20/02 ,  G01Q60/08 ,  G01Q60/38 ,  G01Q60/56 ,  G01R33/0385 ,  G11B9/14 ,  G11B9/1409 ,  G11B9/1418 ,  B82Y10/00 ,  B82Y25/00 ,  G01B2290/30 ,  G01Q80/00 ,  Y10S977/868 ,  Y10S977/873

摘要： A cantilever unit comprises a cantilever for supporting a probe and a displacement amount detecting means, the displacement amount detecting means being integrated with the cantilever. An information processing apparatus comprises the cantilever unit and optionally an information recording medium stationed in close vicinity to the unit, wherein an information in the medium is reproduced at a signal on the basis of an displacement amount of the cantilever. An atomic force microscope and magnetic force microscope comprise the cantilever unit, respectively.

公开(公告)号：US5349858A

公开(公告)日：1994-09-27

申请号：US826867

申请日：1992-01-28

申请人： Takayuki Yagi ,  Yutaka Hirai ,  Osamu Takamatsu ,  Masaru Nakayama ,  Hiroyasu Nose ,  Katsuhiko Shinjo ,  Yasuhiro Simada

发明人： Takayuki Yagi ,  Yutaka Hirai ,  Osamu Takamatsu ,  Masaru Nakayama ,  Hiroyasu Nose ,  Katsuhiko Shinjo ,  Yasuhiro Simada

IPC分类号： G01P15/125 ,  G01P15/08 ,  G01P15/18

CPC分类号： G01P15/08 ,  G01P2015/0828 ,  G01P2015/086

摘要： An angular acceleration sensor has a weight member, a resilient member for supporting the weight member from the both sides thereof, the resilient member being disposed on a predetermined rotational axis and supporting the weight member for rotation about the rotational axis, and an opposed member opposed to the weight member, an angular acceleration applied to the weight member being detected from a variation in the spacing between the opposed member and the weight member resulting from the rotation of the weight member

摘要翻译： 角加速度传感器具有配重构件，用于从其两侧支撑配重构件的弹性构件，所述弹性构件设置在预定旋转轴线上并且支撑所述配重构件围绕所述旋转轴线旋转，并且相对构件相对 从配重构件的旋转产生的相对构件和配重构件之间的间隔的变化检测到施加到配重构件的角加速度，

公开(公告)号：US5554851A

公开(公告)日：1996-09-10

申请号：US407245

申请日：1995-03-20

申请人： Yutaka Hirai ,  Osamu Takamatsu ,  Katsunori Hatanaka ,  Masaru Nakayama ,  Hiroyasu Nose ,  Takayuki Yagi ,  Yasuhiro Shimida

发明人： Yutaka Hirai ,  Osamu Takamatsu ,  Katsunori Hatanaka ,  Masaru Nakayama ,  Hiroyasu Nose ,  Takayuki Yagi ,  Yasuhiro Shimida

IPC分类号： B81B3/00 ,  G01B5/00 ,  G01B7/34 ,  G01Q10/00 ,  G01Q10/02 ,  G01Q10/04 ,  G01Q60/10 ,  G01Q80/00 ,  G01Q90/00 ,  G11B9/00 ,  G11B9/14 ,  H01L27/10 ,  H01J37/28

CPC分类号： G01Q10/04 ,  B82Y35/00 ,  G01B5/0004 ,  G11B9/14 ,  B82Y10/00 ,  Y10S977/872

摘要： A parallel plane holding mechanism is constructed as follows. Beams are provided on the peripheral portion of a flat plate-shaped weight member. A base plate is provided so as to face the weight member. First and second electrodes are provided on both surfaces of the weight member and the base plate to face each other. A voltage is applied between the first electrode and the second electrode so that the distance between the weight member and the base plate is controlled to move the weight member to thereby hold a reference surface of the weight member to be parallel to a predetermined reference surface.

摘要翻译： 平行平面保持机构如下构成。 梁设置在平板状的重量部件的周边部分上。 基板设置为面对配重构件。 第一和第二电极设置在配重构件和基板的两个表面上以彼此面对。 在第一电极和第二电极之间施加电压，使得配重构件和基板之间的距离被控制以移动配重构件，从而将配重构件的基准表面保持为平行于预定的参考表面。

公开(公告)号：US5268571A

公开(公告)日：1993-12-07

申请号：US888789

申请日：1992-05-27

申请人： Keisuke Yamamoto ,  Yutaka Hirai ,  Masaru Nakayama ,  Takayuki Yagi ,  Yuji Kasanuki ,  Yoshio Suzuki

发明人： Keisuke Yamamoto ,  Yutaka Hirai ,  Masaru Nakayama ,  Takayuki Yagi ,  Yuji Kasanuki ,  Yoshio Suzuki

IPC分类号： B81B3/00 ,  G01N27/00 ,  G01N37/00 ,  G01Q20/04 ,  G01Q30/02 ,  G01Q60/10 ,  G01Q60/16 ,  G01Q70/06 ,  G01Q70/14 ,  G01Q80/00 ,  G11B9/00 ,  G11B9/14 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H02N2/00 ,  H01J37/26

CPC分类号： G01Q60/16 ,  B82Y35/00 ,  G01Q10/045 ,  G01Q70/06 ,  G11B9/1436 ,  H01L41/094 ,  B82Y10/00 ,  G01Q80/00 ,  Y10S977/837 ,  Y10S977/861 ,  Y10S977/872 ,  Y10S977/873

摘要： A micro-displacement element comprises a unimorph cantilever having a piezoelectric thin film, a pair of electrodes between which the piezoelectric thin film is sandwiched, and an elastic thin film. One end of the cantilever is supported by a support, and the other end thereof is provided with a probe. The micro-displacement element can be used particularly as an array of plural elements, for an information processing apparatus in which the element faces to a recording medium such that an information recording pulse voltage or an information reproducing bias voltage can be applied to between the probe and the recording medium.

摘要翻译： 微位移元件包括具有压电薄膜的单压电晶片，夹在压电薄膜之间的一对电极和弹性薄膜。 悬臂的一端由支撑件支撑，并且其另一端设置有探针。 微位移元件可以特别地用作多个元件的阵列，对于其中元件面向记录介质的信息处理设备，使得可以在探头之间施加信息记录脉冲电压或信息再现偏置电压 和记录介质。

公开(公告)号：US5966787A

公开(公告)日：1999-10-19

申请号：US646551

申请日：1996-05-08

申请人： Masaru Nakayama ,  Yutaka Hirai ,  Takayuki Yagi ,  Yuji Kasanuki ,  Keisuke Yamamoto ,  Yasuhiro Shimada ,  Yoshio Suzuki

发明人： Masaru Nakayama ,  Yutaka Hirai ,  Takayuki Yagi ,  Yuji Kasanuki ,  Keisuke Yamamoto ,  Yasuhiro Shimada ,  Yoshio Suzuki

IPC分类号： G01B21/30 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B81B3/00 ,  G01N37/00 ,  G01Q10/00 ,  G01Q10/04 ,  G01Q60/10 ,  G01Q60/16 ,  G01Q70/06 ,  G01Q70/16 ,  G01Q80/00 ,  G11B9/00 ,  G11B9/14 ,  H01J37/28 ,  H01L41/083 ,  H01L41/09 ,  H01L41/22

CPC分类号： G01Q60/16 ,  B82Y35/00 ,  G01Q10/04 ,  G01Q10/045 ,  G01Q70/06 ,  G11B9/1436 ,  H01L41/094 ,  B82Y10/00 ,  G01Q80/00 ,  Y10T29/42

摘要： A process for producing a probe-driving mechanism. A laminate of a first and second insulating layer is placed on a support. Electrode layers and piezoelectric layers are successively laminated on the second insulating layer. Part of the support and second insulating layer is removed to form a cantilever.

摘要翻译： 一种用于产生探针驱动机构的方法。 将第一和第二绝缘层的叠层放置在支撑体上。 电极层和压电层依次层叠在第二绝缘层上。 部分支撑和第二绝缘层被去除以形成悬臂。

公开(公告)号：US5506829A

公开(公告)日：1996-04-09

申请号：US253606

申请日：1994-06-03

申请人： Takayuki Yagi ,  Yutaka Hirai ,  Osamu Takamatsu ,  Masaru Nakayama ,  Yuji Kasanuki ,  Yasuhiro Shimada ,  Keisuke Yamamoto ,  Yoshio Suzuki

发明人： Takayuki Yagi ,  Yutaka Hirai ,  Osamu Takamatsu ,  Masaru Nakayama ,  Yuji Kasanuki ,  Yasuhiro Shimada ,  Keisuke Yamamoto ,  Yoshio Suzuki

IPC分类号： B81B3/00 ,  G01N27/00 ,  G01Q10/00 ,  G01Q10/04 ,  G01Q60/00 ,  G01Q60/16 ,  G01Q70/14 ,  G01Q80/00 ,  G11B9/00 ,  G11B9/14 ,  H01J37/28 ,  H01L21/66 ,  H01L41/09 ,  H01L41/22

CPC分类号： G01Q10/06 ,  B82Y35/00 ,  G01Q20/04 ,  G01Q60/16 ,  G01Q70/14 ,  G11B9/1436 ,  H01L41/094 ,  B82Y10/00 ,  Y10S977/872 ,  Y10S977/873

摘要： A cantilever probe comprising a cantilever displacement element containing a piezoelectric material provided between driving electrodes for causing displacement of the piezoelectric material, a probe for information input and output provided on the free end of the element, a drawing electrode for the probe and, a non-electroconductive thin film provided on at least a portion of an end of the element.

摘要翻译： 一种悬臂探头，包括悬臂位移元件，该悬臂位移元件包含设置在驱动电极之间的用于引起压电材料位移的压电材料，设置在元件自由端上的用于信息输入和输出的探针，用于探针的拉伸电极， - 设置在元件的端部的至少一部分上的导电薄膜。

公开(公告)号：US5357108A

公开(公告)日：1994-10-18

申请号：US895621

申请日：1992-06-09

申请人： Yoshio Suzuki ,  Yutaka Hirai ,  Osamu Takamatsu ,  Masaru Nakayama ,  Takayuki Yagi ,  Yuji Kasanuki ,  Keisuke Yamamoto ,  Yasuhiro Shimada

发明人： Yoshio Suzuki ,  Yutaka Hirai ,  Osamu Takamatsu ,  Masaru Nakayama ,  Takayuki Yagi ,  Yuji Kasanuki ,  Keisuke Yamamoto ,  Yasuhiro Shimada

IPC分类号： G01B21/30 ,  B81B3/00 ,  G01N27/00 ,  G01N37/00 ,  G01Q10/04 ,  G01Q60/10 ,  G01Q60/16 ,  G01Q70/08 ,  G01Q70/16 ,  G01Q80/00 ,  G11B9/00 ,  G11B9/14 ,  H01J37/28 ,  H01L41/09 ,  H01J37/26

CPC分类号： G01Q60/16 ,  B82Y35/00 ,  G11B9/1418 ,  G11B9/1436 ,  H01L41/094 ,  H01L41/096 ,  H01L41/0966 ,  B82Y10/00 ,  G01Q80/00 ,  Y10S977/837 ,  Y10S977/861 ,  Y10S977/872 ,  Y10S977/873

摘要： A cantilever type displacement element comprises a piezoelectric layer and at least two electrodes for applying a voltage to said piezoelectric layer, at least one of said electrodes being a comb-shaped electrode pair having respectively comb-tooth portions disposed separately as facing and alongside of each other in the width direction of the cantilever.

摘要翻译： 悬臂式位移元件包括压电层和用于向所述压电层施加电压的至少两个电极，所述电极中的至少一个是梳状电极对，其中梳齿状电极对具有分别设置为各自的梳齿部分 其他在悬臂的宽度方向。

公开(公告)号：US5490132A

公开(公告)日：1996-02-06

申请号：US7000

申请日：1993-01-21

申请人： Takayuki Yagi ,  Toshiyuki Komatsu ,  Katsunori Hatanaka ,  Toshihiko Miyazaki

发明人： Takayuki Yagi ,  Toshiyuki Komatsu ,  Katsunori Hatanaka ,  Toshihiko Miyazaki

IPC分类号： G01Q60/00 ,  G01Q60/10 ,  G01Q80/00 ,  G11B9/00 ,  G11B9/14

CPC分类号： G11B9/1454 ,  G11B9/14 ,  G11B9/1436 ,  B82Y10/00 ,  G01Q70/06 ,  G01Q80/00 ,  Y10S977/874 ,  Y10S977/947

摘要： An apparatus for inputting and/or outputting information includes a plurality of probes arranged at positions respectively facing each of the plural blocks which carry information, a device for enabling the plurality of probes to respectively perform tracking independently, and a device for inputting information to and/or outputting information from the information carrier by the use of the aforesaid probes.

摘要翻译： 一种用于输入和/或输出信息的装置，包括：多个探针，其布置在分别面向携带信息的多个块中的每一个的位置处;多个探针独立地分别执行跟踪的装置;以及用于输入和/ /或通过使用上述探针从信息载体输出信息。