公开(公告)号：US20050126710A1

公开(公告)日：2005-06-16

申请号：US10506457

申请日：2003-03-05

申请人： Franz Laermer ,  Klaus Breitschwerdt ,  Bernd Kutsch

发明人： Franz Laermer ,  Klaus Breitschwerdt ,  Bernd Kutsch

IPC分类号： H01L21/00 ,  C23F1/00

CPC分类号： H01L21/67069

摘要： A method and device for implementing the method for anisotropically plasma etching a substrate (e.g., silicon body). The device has a chamber and plasma source for generating a high-frequency electromagnetic alternating field and a reaction region for generating a plasma having reactive species, within the chamber, that is generated by the action of the alternating field on etching gas and passivation gas introduced at the same time but spatially separated from it. An arrangement defines at least one first zone acted on by the etching gas and at least one second zone acted on by the passivation gas in the reaction region. The device has a mixing region downstream of the reaction region in which the reactive species generated from the etching gas in the first zone and the reactive species generated from the passivation gas in the second zone are blended before they act on the substrate.

摘要翻译： 一种用于实现用于各向异性等离子体蚀刻衬底（例如硅体）的方法的方法和装置。 该装置具有用于产生高频电磁交变场的室和等离子体源，以及用于产生等离子体的反应区域，所述反应区域在室内产生，其通过蚀刻气体和钝化气体引入的交变场的作用而产生 同时又与之空间分离。 排列限定了至少一个由蚀刻气体起作用的第一区域和由反应区域中的钝化气体作用的至少一个第二区域。 该装置具有在反应区域下游的混合区域，其中在第一区域内从蚀刻气体产生的反应物质和由第二区域中的钝化气体产生的反应物质在它们作用于基底之前被共混。

公开(公告)号：US06645800B2

公开(公告)日：2003-11-11

申请号：US10016259

申请日：2001-10-26

申请人： Wilhelm Frey ,  Franz Laermer ,  Klaus Heyers

发明人： Wilhelm Frey ,  Franz Laermer ,  Klaus Heyers

IPC分类号： H01L218238

CPC分类号： G01P15/0802 ,  G01P15/124 ,  H01L21/3065

摘要： In a method for the production of a field-effect structure and a field-effect structure, a movable gate structure is arranged above a gate region in a substrate between a drain and a source. The gate region is covered with a gate oxide. The movable gate structure is created from silicon-germanium and in an intermediate step of the production method is arranged on a germanium sacrificial layer on the gate oxide.

摘要翻译： 在制造场效应结构和场效应结构的方法中，可动栅极结构布置在漏极和源极之间的衬底中的栅极区域的上方。 栅极区域被栅极氧化物覆盖。 可移动栅极结构由硅锗制成，并且在制造方法的中间步骤中，栅极氧化物上的锗牺牲层上布置有可动栅结构。

公开(公告)号：US06558559B1

公开(公告)日：2003-05-06

申请号：US09019011

申请日：1998-02-05

申请人： Volker Becker ,  Franz Laermer ,  Michael Offenberg ,  Andrea Schilp

发明人： Volker Becker ,  Franz Laermer ,  Michael Offenberg ,  Andrea Schilp

IPC分类号： C23F100

CPC分类号： B81C1/00

摘要： A method of sacrificial layer etching of micromechanical surface structures, in which a sacrificial layer is deposited on a heatable silicon substrate and is structured. A temperature difference between the substrate and the vapor phase of an etching medium is established in such a way that exposed metal contacts made of aluminum alloys are not attacked at the same time and are not subsequently exposed to any risk of corrosion.

摘要翻译： 一种牺牲层蚀刻微机械表面结构的方法，其中牺牲层沉积在可加热的硅衬底上并被构造。 蚀刻介质的衬底和气相之间的温度差异以这样的方式建立，使得由铝合金制成的暴露的金属触点不会同时受到冲击，并且不会随后暴露于任何腐蚀的风险。

公开(公告)号：US06217647B1

公开(公告)日：2001-04-17

申请号：US09235018

申请日：1999-01-21

申请人： Franz Laermer ,  Wilhelm Frey

发明人： Franz Laermer ,  Wilhelm Frey

IPC分类号： C30B102

CPC分类号： C23C16/24 ,  C30B1/023 ,  C30B29/06

摘要： To produce monocrystalline layers of conducting or semiconducting materials on porous monocrystalline layers of the same material in a reproducible and time-saving manner, a method is provided which involves applying an amorphous layer of the same material to the porous material and converting the amorphous layer to a monocrystalline layer by tempering.

摘要翻译： 为了以可重复且节省时间的方式在相同材料的多孔单晶层上制造导电或半导体材料的单晶层，提供了一种方法，其包括将相同材料的非晶层施加到多孔材料并将非晶层转化为 单晶层通过回火处理。

公开(公告)号：US06062082A

公开(公告)日：2000-05-16

申请号：US913598

申请日：1997-09-18

申请人： Gero Guenther ,  Karsten Funk ,  Franz Laermer ,  Andrea Schilp

发明人： Gero Guenther ,  Karsten Funk ,  Franz Laermer ,  Andrea Schilp

IPC分类号： G01C19/5712 ,  G01P15/14 ,  G01P15/08 ,  G01P9/04

CPC分类号： G01C19/5712

摘要： An acceleration sensor, particularly a Coriolis rotation-rate sensor, having a swinging structure that is movably suspended on a substrate (base) and can be deflected due to an acceleration effect, the sensor further having an arrangement for generating a planar swinging movement of the swinging structure, particularly a rotational swinging movement, and an evaluating arrangement for detecting a deflection of the swinging structure that is stipulated by acceleration, particularly for detecting a Coriolis acceleration. The swinging structure (12) is rotatably suspended so as to perform a planar swinging movement, and should perform a planar, rotational swinging movement.

摘要翻译： PCT No.PCT / DE96 / 00248 Sec。 371日期：1997年9月18日 102（e）1997年9月18日PCT PCT 1996年2月17日PCT公布。 出版物WO97 / 02467 日期1997年1月23日具有摆动结构的加速度传感器，特别是科里奥利旋转速率传感器，其可移动地悬挂在基板（基座）上并且可由于加速效应而偏转，该传感器还具有用于产生 摆动结构的平面摆动运动，特别是旋转摆动运动，以及用于检测由加速度规定的摆动结构的偏转的评估装置，特别是用于检测科里奥利加速度。 摆动结构（12）可旋转地悬挂以便进行平面摆动，并且应该进行平面旋转摆动。

公开(公告)号：US6012341A

公开(公告)日：2000-01-11

申请号：US91315

申请日：1998-09-23

申请人： Karsten Funk ,  Hans-Martin Kulcke ,  Franz Laermer ,  Werner Uhler ,  Andrea Schilp

发明人： Karsten Funk ,  Hans-Martin Kulcke ,  Franz Laermer ,  Werner Uhler ,  Andrea Schilp

IPC分类号： G01L1/10 ,  G01L9/00 ,  G01P15/097 ,  G01P15/10

CPC分类号： G01P15/097 ,  G01L1/10 ,  G01L9/0008

摘要： A force sensor, especially an acceleration sensor or a pressure sensor, has a structure that vibrates in resonance, and its oscillation frequency is variable due to an acting force which is to be detected. The distance of an operating point of the force sensor from the point of its mechanical instability can be adjusted by applying an electric voltage.

摘要翻译： PCT No.PCT / DE96 / 02070 Sec。 371日期：1998年9月23日 102（e）1998年9月23日PCT PCT 1996年10月31日PCT公布。 公开号WO97 / 22864 日期：1997年6月26日力传感器，特别是加速度传感器或压力传感器具有振动的结构，其振动频率由于待检测的作用力而变化。 可以通过施加电压来调节力传感器的操作点与其机械不稳定性的距离。

公开(公告)号：US6008138A

公开(公告)日：1999-12-28

申请号：US814760

申请日：1997-03-07

申请人： Franz Laermer ,  Andrea Schilp

发明人： Franz Laermer ,  Andrea Schilp

IPC分类号： B81B3/00 ,  H01L21/302

CPC分类号： B81B3/0051 ,  B81B2203/053 ,  B81C2201/0108

摘要： A process for structuring a movable element out of a membrane region. A sacrificial layer and a sealing layer are applied to the underside of the membrane region. Following removal of the sacrificial layer, sealing layer forms a limit stop and a seal for the movement of the movable element.

摘要翻译： 一种用于从膜区域构造可移动元件的工艺。 将牺牲层和密封层施加到膜区域的下侧。 在去除牺牲层之后，密封层形成限位挡块和用于可移动元件运动的密封件。

公开(公告)号：US5804457A

公开(公告)日：1998-09-08

申请号：US659694

申请日：1996-06-05

申请人： Gerhard Benz ,  Franz Laermer ,  Andrea Schilp ,  Erich Zabler ,  Jurgen Schirmer ,  Werner Uhler

发明人： Gerhard Benz ,  Franz Laermer ,  Andrea Schilp ,  Erich Zabler ,  Jurgen Schirmer ,  Werner Uhler

IPC分类号： G01L1/10 ,  G01L9/00 ,  G01P15/08 ,  G01P15/097 ,  G01P15/10 ,  H01L29/84 ,  H01L21/77

CPC分类号： G01P15/097 ,  G01L9/0019 ,  G01L9/0042 ,  G01P15/0802 ,  Y10S148/159

摘要： In a force sensor, a resonator is mounted by means of a dielectric layer on a bending element. Deformation of the bending element changes the resonant frequency of the resonator.

摘要翻译： 在力传感器中，通过介电层将谐振器安装在弯曲元件上。 弯曲元件的变形会改变谐振器的谐振频率。

公开(公告)号：US5616523A

公开(公告)日：1997-04-01

申请号：US627819

申请日：1996-04-02

申请人： Gerhard Benz ,  Jiri Marek ,  Frank Bantien ,  Horst Muenzel ,  Franz Laermer ,  Michael Offenberg ,  Andrea Schilp

发明人： Gerhard Benz ,  Jiri Marek ,  Frank Bantien ,  Horst Muenzel ,  Franz Laermer ,  Michael Offenberg ,  Andrea Schilp

IPC分类号： H01L21/306 ,  G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  H01L29/84

CPC分类号： G01P15/125 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/0817 ,  G01P2015/0828

摘要： A method for manufacturing sensors from a multilayer plate with upper and lower monocrystalline silicon layers and an etching layer between them. The upper silicon layer is structured by the introduction of troughs therein extending down to the etching layer. Sensor structures, such as a bending beam that is used in an acceleration sensor, are created by etching the etching layer beneath a part of the silicon layer structured in this manner.

摘要翻译： 一种从具有上，下单晶硅层的多层板和它们之间的蚀刻层制造传感器的方法。 上硅层通过引入其中向下延伸到蚀刻层的槽而构成。 传感器结构，例如用于加速度传感器中的弯曲梁，通过蚀刻以这种方式构造的硅层的一部分下方的蚀刻层来产生。

公开(公告)号：US09358985B2

公开(公告)日：2016-06-07

申请号：US11920360

申请日：2006-05-02

申请人： Volker Pitzal ,  Oliver Froehlich ,  Wolfram Gerwing ,  Martin Grosser ,  Franz Laermer ,  Udo Schulz ,  Thomas Proepper

发明人： Volker Pitzal ,  Oliver Froehlich ,  Wolfram Gerwing ,  Martin Grosser ,  Franz Laermer ,  Udo Schulz ,  Thomas Proepper

IPC分类号： F02D7/00 ,  F02D28/00 ,  B60W50/02 ,  B60G17/0185 ,  F02D41/02 ,  B60W40/13 ,  F02D41/10 ,  F02D41/20 ,  F02D41/22

CPC分类号： B60W50/0205 ,  B60G17/0185 ,  B60L11/14 ,  B60L2250/24 ,  B60W40/13 ,  B60W2520/105 ,  B60W2520/125 ,  B60W2520/16 ,  F02D41/0215 ,  F02D41/022 ,  F02D41/10 ,  F02D41/2096 ,  F02D41/222 ,  Y02T10/44

摘要： A method and a device for controlling a drive unit of a vehicle are provided in which, starting from the comparison of a first acceleration variable, which is calculated at least from the operating state of the drive unit, and a second acceleration variable, an error is detected. The second acceleration variable includes a first component, in the direction of the vehicle longitudinal axis, and a second component, perpendicular to the vehicle longitudinal axis.

摘要翻译： 提供了一种用于控制车辆的驱动单元的方法和装置，其中，从至少从驱动单元的运行状态计算的第一加速度变量与第二加速度变量的比较开始， 被检测到。 第二加速度变量包括在车辆纵向轴线的方向上的第一分量和垂直于车辆纵向轴线的第二分量。