公开(公告)号：US07051749B2

公开(公告)日：2006-05-30

申请号：US10720357

申请日：2003-11-24

申请人： Michael J. Wodjenski ,  James A. Dietz

发明人： Michael J. Wodjenski ,  James A. Dietz

IPC分类号： G05D7/00

CPC分类号： F17C13/04 ,  F17C2205/0142 ,  F17C2205/0146 ,  F17C2205/0326 ,  F17C2205/0329 ,  F17C2205/0335 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2223/033 ,  F17C2223/035 ,  F17C2223/036 ,  F17C2223/038 ,  F17C2227/0114 ,  F17C2227/044 ,  F17C2270/0518 ,  Y10T137/0396 ,  Y10T137/0419 ,  Y10T137/4259 ,  Y10T137/7043 ,  Y10T137/87877

摘要： A gas cabinet including an enclosure containing at least one gas supply vessel and flow circuitry coupled to the gas supply vessel(s). The flow circuitry is constructed and arranged to flow dispensed gas from an on-stream gas supply vessel to multiple sticks of the flow circuitry, with each of the multiple sticks being joined in gas flow communication to a respective gas-utilizing process unit. The flow circuitry is valved to enable sections of the flow circuitry associated with respective ones of the multiple sticks to be isolated from other sections of the flow circuitry, so that process gas can be flowed to one or more of the sticks, while other sticks are being evacuated and purged, or otherwise are closed to dispensed gas flow therethrough.

摘要翻译： 一种气柜，包括包含至少一个气体供应容器和耦合到气体供应容器的流动回路的外壳。 流动电路被构造和布置成将分配的气体从流动气体供应容器流动到流动电路的多个棒，其中每个多个棒以气体流动连通的方式连接到相应的气体利用处理单元。 流动电路是阀门，以使得与多个棒中的相应的一个杆相关联的流动回路的部分与流动回路的其它部分隔离，使得处理气体可以流到一个或多个棒，而其他棒是 被排空和吹扫，或以其他方式关闭以分配气体流过其中。

公开(公告)号：US09109755B2

公开(公告)日：2015-08-18

申请号：US13704612

申请日：2011-06-18

申请人： Joseph D. Sweeney ,  Anthony M. Avila ,  Michael J. Wodjenski ,  Joseph R. Despres ,  Thomas H. Baum

发明人： Joseph D. Sweeney ,  Anthony M. Avila ,  Michael J. Wodjenski ,  Joseph R. Despres ,  Thomas H. Baum

IPC分类号： F17D3/00 ,  H01L21/67

CPC分类号： F17D3/01 ,  F17D3/00 ,  G05D7/0635 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/30466 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67253 ,  Y10T137/0324 ,  Y10T137/86389

摘要： Apparatus and method for determining endpoint of a fluid supply vessel in which fluid flow is controlled through a flow passage disposed in an interior volume of the fluid supply vessel with a static flow restricting device and a selectively actuatable valve element upon establishing fluid flow. The endpoint determination can be employed to terminate fluid supply from the fluid supply vessel and/or to switch from a fluid-depleted supply vessel to a fresh vessel for continuity or renewal of fluid supply operation. The apparatus and method are suitable for use with fluidutilizing apparatus such as ion implanters.

摘要翻译： 用于确定流体供应容器的端点的装置和方法，其中通过设置在流体供应容器的内部容积中的流动通道具有静态流动限制装置和在建立流体流动时可选择性致动的阀元件来控制流体流动。 端点确定可以用于终止从流体供应容器供应的流体和/或从流体耗尽的供应容器切换到新鲜的容器，以便连续或更新流体供应操作。 该设备和方法适用于离子注入机等流体化处理装置。

公开(公告)号：US06857447B2

公开(公告)日：2005-02-22

申请号：US10166242

申请日：2002-06-10

申请人： W. Karl Olander ,  Matthew B. Donatucci ,  Luping Wang ,  Michael J. Wodjenski

发明人： W. Karl Olander ,  Matthew B. Donatucci ,  Luping Wang ,  Michael J. Wodjenski

IPC分类号： F17C7/00 ,  F17C5/00 ,  B08B9/027 ,  B08B5/00 ,  G05B11/01 ,  G06F15/00

CPC分类号： F17C13/04 ,  F17C5/00 ,  F17C2201/0109 ,  F17C2201/0119 ,  F17C2201/032 ,  F17C2201/056 ,  F17C2201/058 ,  F17C2205/0111 ,  F17C2205/0176 ,  F17C2205/0326 ,  F17C2205/0332 ,  F17C2205/0335 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2205/0341 ,  F17C2205/0391 ,  F17C2205/0394 ,  F17C2221/012 ,  F17C2221/014 ,  F17C2221/016 ,  F17C2221/037 ,  F17C2221/05 ,  F17C2223/0123 ,  F17C2223/036 ,  F17C2225/0123 ,  F17C2225/033 ,  F17C2225/035 ,  F17C2225/038 ,  F17C2227/044 ,  F17C2227/045 ,  F17C2250/032 ,  F17C2250/043 ,  F17C2260/036 ,  F17C2260/044 ,  F17C2270/0518 ,  Y02E60/321 ,  Y10T137/0324 ,  Y10T137/0419 ,  Y10T137/2569 ,  Y10T137/4259 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/7762 ,  Y10T137/7793 ,  Y10T137/8158 ,  Y10T137/87249

摘要： Apparatus and method for dispensing a gas using a gas source coupled in selective flow relationship with a gas manifold. The gas manifold includes flow circuitry for discharging gas to a gas-using zone, and the gas source includes a pressure-regulated gas source vessel containing the gas at superatmospheric pressure. The pressure-regulated gas source vessel can be arranged with a pressure regulator at or within the vessel and a flow control valve coupled in flow relationship to the vessel, so that gas dispensed from the vessel flows through the regulator prior to flow through the flow control valve, and into the gas manifold. The apparatus and method permit an enhancement of the safety of storage and dispensing of toxic or otherwise hazardous gases used in semiconductor processes.

摘要翻译： 使用与气体歧管以选择性流动关系耦合的气体源分配气体的装置和方法。 气体歧管包括用于将气体排放到气体使用区域的流动回路，并且气体源包括在超大气压下容纳气体的压力调节气体源容器。 压力调节的气体源容器可以布置有在容器内或容器内的压力调节器，以及与容器流动关系的流量控制阀，使得从容器分配的气体在流过流量控制器之前流过调节器 阀，并进入气体歧管。 该装置和方法允许提高半导体工艺中使用的有毒或其他有害气体的储存和分配的安全性。

公开(公告)号：US07966879B2

公开(公告)日：2011-06-28

申请号：US11577864

申请日：2005-10-24

申请人： James Dietz ,  Steven E. Bishop ,  James V. McManus ,  Steven M. Lurcott ,  Michael J. Wodjenski ,  Robert Kaim ,  Frank Dimeo, Jr.

发明人： James Dietz ,  Steven E. Bishop ,  James V. McManus ,  Steven M. Lurcott ,  Michael J. Wodjenski ,  Robert Kaim ,  Frank Dimeo, Jr.

IPC分类号： G01F23/00

CPC分类号： G01N33/00 ,  F17C11/00 ,  G01F15/063 ,  G01F22/02 ,  G01F23/0076 ,  G01M3/32 ,  G01M3/3236 ,  G06Q10/087 ,  G06Q30/04 ,  G06Q50/04 ,  H01L21/561 ,  H01L21/568 ,  H01L21/6835 ,  H01L22/10 ,  H01L23/5389 ,  H01L24/24 ,  H01L24/48 ,  H01L24/82 ,  H01L25/03 ,  H01L25/0652 ,  H01L25/16 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/16227 ,  H01L2224/24011 ,  H01L2224/2518 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01058 ,  H01L2924/01076 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/19042 ,  H05K1/185 ,  H05K3/4602 ,  H05K2203/0165 ,  H05K2203/085 ,  H05K2203/1469 ,  Y02P90/30 ,  Y10T29/4913 ,  Y10T29/49133 ,  Y10T29/49165 ,  Y10T29/53183 ,  H01L2224/45099

摘要： A monitoring system (100) for monitoring fluid in a fluid supply vessel (22, 24, 26, 28, 108) during operation including dispensing of fluid from the fluid supply vessel. The monitoring system includes (i) one or more sensors (114, 126) for monitoring a characteristic of the fluid supply vessel or the fluid dispensed therefrom, (ii) a data acquisition module (40, 132, 146) operatively coupled to the one or more sensors to receive monitoring data therefrom and responsively generate an output correlative to the characteristic monitored by the one or more sensors, and (iii) a processor (50, 150) and display (52, 150) operatively coupled with the data acquisition module and arranged to process the output from the data acquisition module and responsively output a graphical representation of fluid in the fluid supply vessel, billing documents, usage reports, and/or resupply requests.

摘要翻译： 一种用于在操作期间监测流体供应容器（22,24,26,28,108）中的流体的监测系统（100），包括从所述流体供应容器分配流体。 监测系统包括（i）用于监测流体供应容器或从其分配的流体的特性的一个或多个传感器（114,126），（ii）可操作地耦合到一个的数据采集模块（40,132,146） 或多个传感器以从其接收监测数据并且响应地产生与由所述一个或多个传感器监测的特性相关的输出，以及（iii）处理器（50,150）和显示器（52,150），其与所述数据采集模块 并且被布置成处理来自数据采集模块的输出并且响应地输出流体供应容器中的流体的图形表示，计费凭证，使用报告和/或再供应请求。

公开(公告)号：US07798168B2

公开(公告)日：2010-09-21

申请号：US12615722

申请日：2009-11-10

申请人： W. Karl Olander ,  Matthew B. Donatucci ,  Luping Wang ,  Michael J. Wodjenski

发明人： W. Karl Olander ,  Matthew B. Donatucci ,  Luping Wang ,  Michael J. Wodjenski

IPC分类号： F16K3/36 ,  B08B9/027 ,  G05B11/01

CPC分类号： F17C13/04 ,  F17C5/00 ,  F17C2201/0109 ,  F17C2201/0119 ,  F17C2201/032 ,  F17C2201/056 ,  F17C2201/058 ,  F17C2205/0111 ,  F17C2205/0176 ,  F17C2205/0326 ,  F17C2205/0332 ,  F17C2205/0335 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2205/0341 ,  F17C2205/0391 ,  F17C2205/0394 ,  F17C2221/012 ,  F17C2221/014 ,  F17C2221/016 ,  F17C2221/037 ,  F17C2221/05 ,  F17C2223/0123 ,  F17C2223/036 ,  F17C2225/0123 ,  F17C2225/033 ,  F17C2225/035 ,  F17C2225/038 ,  F17C2227/044 ,  F17C2227/045 ,  F17C2250/032 ,  F17C2250/043 ,  F17C2260/036 ,  F17C2260/044 ,  F17C2270/0518 ,  Y02E60/321 ,  Y10T137/0324 ,  Y10T137/0419 ,  Y10T137/2569 ,  Y10T137/4259 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/7762 ,  Y10T137/7793 ,  Y10T137/8158 ,  Y10T137/87249

摘要： Apparatus and method for dispensing a gas using a gas source coupled in selective flow relationship with a gas manifold. The gas manifold includes flow circuitry for discharging gas to a gas-using zone, and the gas source includes a pressure-regulated gas source vessel containing the gas at superatmospheric pressure. The pressure-regulated gas source vessel can be arranged with a pressure regulator at or within the vessel and a flow control valve coupled in flow relationship to the vessel, so that gas dispensed from the vessel flows through the regulator prior to flow through the flow control valve, and into the gas manifold. The apparatus and method permit an enhancement of the safety of storage and dispensing of toxic or otherwise hazardous gases used in semiconductor processes.

摘要翻译： 使用与气体歧管以选择性流动关系耦合的气体源分配气体的装置和方法。 气体歧管包括用于将气体排放到气体使用区域的流动回路，并且气体源包括在超大气压下容纳气体的压力调节气体源容器。 压力调节的气体源容器可以布置有在容器内或容器内的压力调节器，以及与容器流动关系的流量控制阀，使得从容器分配的气体在流过流量控制器之前流过调节器 阀，并进入气体歧管。 该装置和方法允许提高半导体工艺中使用的有毒或其他有害气体的储存和分配的安全性。

公开(公告)号：US07694691B2

公开(公告)日：2010-04-13

申请号：US12186490

申请日：2008-08-05

申请人： Michael J. Wodjenski ,  James Dietz

发明人： Michael J. Wodjenski ,  James Dietz

IPC分类号： G05D7/00

CPC分类号： F17C13/04 ,  F17C2205/0142 ,  F17C2205/0146 ,  F17C2205/0326 ,  F17C2205/0329 ,  F17C2205/0335 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2223/033 ,  F17C2223/035 ,  F17C2223/036 ,  F17C2223/038 ,  F17C2227/0114 ,  F17C2227/044 ,  F17C2270/0518 ,  Y10T137/0396 ,  Y10T137/0419 ,  Y10T137/4259 ,  Y10T137/7043 ,  Y10T137/87877

摘要： A gas cabinet including an enclosure containing at least one gas supply vessel and flow circuitry coupled to the gas supply vessel(s). The flow circuitry is constructed and arranged to flow dispensed gas from an on-stream gas supply vessel to multiple sticks of the flow circuitry, with each of the multiple sticks being joined in gas flow communication to a respective gas-utilizing process unit. The flow circuitry is valved to enable sections of the flow circuitry associated with respective ones of the multiple sticks to be isolated from other sections of the flow circuitry, so that process gas can be flowed to one or more of the sticks, while other sticks are being evacuated and purged, or otherwise are closed to dispensed gas flow therethrough.

摘要翻译： 一种气柜，包括包含至少一个气体供应容器和耦合到气体供应容器的流动回路的外壳。 流动电路被构造和布置成将分配的气体从流动气体供应容器流动到流动电路的多个棒，其中每个多个棒以气体流动连通的方式连接到相应的气体利用处理单元。 流动电路是阀门，以使得与多个棒中的相应的一个杆相关联的流动回路的部分与流动回路的其它部分隔离，使得处理气体可以流到一个或多个棒，而其他棒是 被排空和吹扫，或以其他方式关闭以分配气体流过其中。

公开(公告)号：US20100059694A1

公开(公告)日：2010-03-11

申请号：US12615722

申请日：2009-11-10

申请人： W. Karl Olander ,  Matthew B. Donatucci ,  Luping Wang ,  Michael J. Wodjenski

发明人： W. Karl Olander ,  Matthew B. Donatucci ,  Luping Wang ,  Michael J. Wodjenski

IPC分类号： G21K5/00 ,  F16K31/12

CPC分类号： F17C13/04 ,  F17C5/00 ,  F17C2201/0109 ,  F17C2201/0119 ,  F17C2201/032 ,  F17C2201/056 ,  F17C2201/058 ,  F17C2205/0111 ,  F17C2205/0176 ,  F17C2205/0326 ,  F17C2205/0332 ,  F17C2205/0335 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2205/0341 ,  F17C2205/0391 ,  F17C2205/0394 ,  F17C2221/012 ,  F17C2221/014 ,  F17C2221/016 ,  F17C2221/037 ,  F17C2221/05 ,  F17C2223/0123 ,  F17C2223/036 ,  F17C2225/0123 ,  F17C2225/033 ,  F17C2225/035 ,  F17C2225/038 ,  F17C2227/044 ,  F17C2227/045 ,  F17C2250/032 ,  F17C2250/043 ,  F17C2260/036 ,  F17C2260/044 ,  F17C2270/0518 ,  Y02E60/321 ,  Y10T137/0324 ,  Y10T137/0419 ,  Y10T137/2569 ,  Y10T137/4259 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/7762 ,  Y10T137/7793 ,  Y10T137/8158 ,  Y10T137/87249

摘要： Apparatus and method for dispensing a gas using a gas source coupled in selective flow relationship with a gas manifold. The gas manifold includes flow circuitry for discharging gas to a gas-using zone, and the gas source includes a pressure-regulated gas source vessel containing the gas at superatmospheric pressure. The pressure-regulated gas source vessel can be arranged with a pressure regulator at or within the vessel and a flow control valve coupled in flow relationship to the vessel, so that gas dispensed from the vessel flows through the regulator prior to flow through the flow control valve, and into the gas manifold. The apparatus and method permit an enhancement of the safety of storage and dispensing of toxic or otherwise hazardous gases used in semiconductor processes.

摘要翻译： 使用与气体歧管以选择性流动关系耦合的气体源分配气体的装置和方法。 气体歧管包括用于将气体排放到气体使用区域的流动回路，并且气体源包括在超大气压下容纳气体的压力调节气体源容器。 压力调节的气体源容器可以布置有在容器内或容器内的压力调节器，以及与容器流动关系的流量控制阀，使得从容器分配的气体在流过流量控制器之前流过调节器 阀，并进入气体歧管。 该装置和方法允许提高半导体工艺中使用的有毒或其他有害气体的储存和分配的安全性。

公开(公告)号：US07406979B2

公开(公告)日：2008-08-05

申请号：US11443380

申请日：2006-05-30

申请人： Michael J. Wodjenski ,  James Dietz

发明人： Michael J. Wodjenski ,  James Dietz

IPC分类号： G05D7/00

CPC分类号： F17C13/04 ,  F17C2205/0142 ,  F17C2205/0146 ,  F17C2205/0326 ,  F17C2205/0329 ,  F17C2205/0335 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2223/033 ,  F17C2223/035 ,  F17C2223/036 ,  F17C2223/038 ,  F17C2227/0114 ,  F17C2227/044 ,  F17C2270/0518 ,  Y10T137/0396 ,  Y10T137/0419 ,  Y10T137/4259 ,  Y10T137/7043 ,  Y10T137/87877

摘要： A gas cabinet including an enclosure containing at least one gas supply vessel and flow circuitry coupled to the gas supply vessel(s). The flow circuitry is constructed and arranged to flow dispensed gas from an on-stream gas supply vessel to multiple sticks of the flow circuitry, with each of the multiple sticks being joined in gas flow communication to a respective gas-utilizing process unit. The flow circuitry is valved to enable sections of the flow circuitry associated with respective ones of the multiple sticks to be isolated from other sections of the flow circuitry, so that process gas can be flowed to one or more of the sticks, while other sticks are being evacuated and purged, or otherwise are closed to dispensed gas flow therethrough.

摘要翻译： 一种气柜，包括包含至少一个气体供应容器和耦合到气体供应容器的流动回路的外壳。 流动电路被构造和布置成将分配的气体从流动气体供应容器流动到流动电路的多个棒，其中每个多个棒以气体流动连通的方式连接到相应的气体利用处理单元。 流动电路是阀门，以使得与多个棒中的相应的一个杆相关联的流动回路的部分与流动回路的其它部分隔离，使得处理气体可以流到一个或多个棒，而其他棒是 被排空和吹扫，或以其他方式关闭以分配气体流过其中。

公开(公告)号：US06955198B2

公开(公告)日：2005-10-18

申请号：US10658035

申请日：2003-09-09

申请人： Michael J. Wodjenski

发明人： Michael J. Wodjenski

IPC分类号： B01D20060101 ,  B65B1/04 ,  F17C7/00 ,  F17C13/02 ,  F17C13/04

CPC分类号： F17C13/025 ,  F17C7/00 ,  F17C13/045 ,  F17C2205/0111 ,  F17C2205/013 ,  F17C2205/0341 ,  F17C2223/0123 ,  F17C2223/035 ,  F17C2227/042 ,  F17C2227/044 ,  F17C2227/045 ,  F17C2250/032 ,  F17C2250/043 ,  F17C2270/0518

摘要： A gas storage and dispensing system, including multi-vessel arrays of gas dispensing vessels that require successive change-over to provide ongoing supply of gas to a gas-consuming process, with a pump coupled in gas flow communication with the array. The system is provided with capability for time delay auto-switchover sequencing of the switchover operation in which an endpoint limit sensing of an on-stream gas dispensing vessel is responsively followed by termination of gas flow to the pump, inactivation of the pump, autoswitching of vessels, reinitiation of gas flow to the pump and reactivation of the pump. The system minimizes the occurrence of pressure spikes at the pump outlet in response to pressure variation at the pump inlet incident to switchover of gas supply from one vessel to another in the multi-vessel array.

公开(公告)号：US08555705B2

公开(公告)日：2013-10-15

申请号：US13171434

申请日：2011-06-28

申请人： James Dietz ,  Steven E. Bishop ,  James V. McManus ,  Steven M. Lurcott ,  Michael J. Wodjenski ,  Robert Kaim ,  Frank Dimeo, Jr.

发明人： James Dietz ,  Steven E. Bishop ,  James V. McManus ,  Steven M. Lurcott ,  Michael J. Wodjenski ,  Robert Kaim ,  Frank Dimeo, Jr.

IPC分类号： G01N33/487

CPC分类号： G01N33/00 ,  F17C11/00 ,  G01F15/063 ,  G01F22/02 ,  G01F23/0076 ,  G01M3/32 ,  G01M3/3236 ,  G06Q10/087 ,  G06Q30/04 ,  G06Q50/04 ,  H01L21/561 ,  H01L21/568 ,  H01L21/6835 ,  H01L22/10 ,  H01L23/5389 ,  H01L24/24 ,  H01L24/48 ,  H01L24/82 ,  H01L25/03 ,  H01L25/0652 ,  H01L25/16 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/16227 ,  H01L2224/24011 ,  H01L2224/2518 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01058 ,  H01L2924/01076 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/19042 ,  H05K1/185 ,  H05K3/4602 ,  H05K2203/0165 ,  H05K2203/085 ,  H05K2203/1469 ,  Y02P90/30 ,  Y10T29/4913 ,  Y10T29/49133 ,  Y10T29/49165 ,  Y10T29/53183 ,  H01L2224/45099

摘要： A monitoring system for monitoring fluid in a fluid supply vessel during operation including dispensing of fluid from the fluid supply vessel. The monitoring system includes (i) one or more sensors for monitoring a characteristic of the fluid supply vessel or the fluid dispensed therefrom, (ii) a data acquisition module operatively coupled to the one or more sensors to receive monitoring data therefrom and responsively generate an output correlative to the characteristic monitored by the one or more sensors, and (iii) a processor and display operatively coupled with the data acquisition module and arranged to process the output from the data acquisition module and responsively output a graphical representation of fluid in the fluid supply vessel, billing documents, usage reports, and/or resupply requests.