公开(公告)号：US20080164631A1

公开(公告)日：2008-07-10

申请号：US11795567

申请日：2006-02-09

申请人： Hiroyuki Watanabe ,  Akira Fujinoki ,  Takayuki Imaizumi ,  Kazuhisa Hayakawa ,  Shingo Niinobe

发明人： Hiroyuki Watanabe ,  Akira Fujinoki ,  Takayuki Imaizumi ,  Kazuhisa Hayakawa ,  Shingo Niinobe

IPC分类号： B29C47/00

CPC分类号： C03B20/00 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066

摘要： A process for producing a transparent or opaque silica glass product including mixing a silica fine powder and a cellulose derivative and injection molding the mixture, followed by degreasing treatment and baking treatment, which is characterized in that the cellulose derivative is a cellulose derivative which causes reversible thermal gelation in an aqueous solution of at least one member selected from methyl cellulose, hydroxypropylmethyl cellulose and hydroxyethylmethyl cellulose; in producing a transparent silica glass product, the cellulose derivative is added in water heated at a gelation temperature thereof or higher, and after cooling, the formed aqueous solution is kneaded with the silica fine powder; and in producing an opaque silica glass product, the cellulose derivative is added in a silica slurry containing a silica powder and heated at a gelation temperature of the cellulose derivative or higher.

摘要翻译： 一种制造透明或不透明的二氧化硅玻璃制品的方法，包括混合二氧化硅细粉和纤维素衍生物并注射模塑该混合物，然后进行脱脂处理和烘烤处理，其特征在于纤维素衍生物是可逆的纤维素衍生物 在选自甲基纤维素，羟丙基甲基纤维素和羟乙基甲基纤维素中的至少一种的水溶液中的热凝胶化; 在制造透明石英玻璃制品时，将纤维素衍生物加入到其凝胶化温度以上加热的水中，冷却后，将所形成的水溶液与二氧化硅细粉混合; 在制造不透明的二氧化硅玻璃制品时，将纤维素衍生物加入到含有二氧化硅粉末的二氧化硅浆料中，并在纤维素衍生物的凝胶化温度以上加热。

公开(公告)号：US20070145332A1

公开(公告)日：2007-06-28

申请号：US10582117

申请日：2004-11-30

申请人： Rainer Koeppler ,  Bodo Kuehn ,  Waltraud Werdecker ,  Ulrich Kirst ,  Walter Lehmann

发明人： Rainer Koeppler ,  Bodo Kuehn ,  Waltraud Werdecker ,  Ulrich Kirst ,  Walter Lehmann

IPC分类号： C09K11/66 ,  C03B8/00 ,  C03B19/00

CPC分类号： C03C4/0071 ,  C03B19/06 ,  C03B19/063 ,  C03B19/066 ,  C03B19/1005 ,  C03B19/1065 ,  C03B19/108 ,  C03B19/1095 ,  C03B20/00 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/34 ,  C03C1/026 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/3435 ,  C03C2201/3488 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/22 ,  C03C2203/30 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/52

摘要： The invention relates to a method for the economic production of a blank for a component made from laser-active quartz glass in any form or dimension. The method comprises the following method steps: a) preparation of a dispersion with a solids content of at least 40 wt. %, comprising SiO2 nanopowder and doping agents, including a cation of the rare earth metals and transition metals in a fluid, b) granulation by agitation of the dispersion, with removal of moisture to form a doped SiO2 granulate of spherical porous granular particles with a moisture content of less than 35 wt. % and a density of at least 0.95 g/cm3, c) drying and purification of the SiO2 granulate, by heating to a temperature of at least 1000° C. to form doped porous SiO2 grains with an OH content of less than 10 ppm and d) sintering or fusing the doped SiO2 grains in a reducing atmosphere to give the blank made from doped quartz glass.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于经济地生产用于由任何形式或尺寸的激光 - 活性石英玻璃制成的部件的坯料的方法。 该方法包括以下方法步骤：a）制备固体含量为至少40wt。 ％，包括SiO 2纳米粉末和掺杂剂，其包括流体中的稀土金属和过渡金属的阳离子，b）通过搅拌分散体制粒，除去水分以形成掺杂的SiO 水分含量小于35重量％的球形多孔粒状颗粒颗粒。 ％，密度至少为0.95g / cm 3，c）通过加热到至少1000℃的温度来干燥和纯化SiO 2颗粒。 以形成OH含量小于10ppm的掺杂多孔SiO 2颗粒，以及d）在还原气氛中烧结或熔合掺杂的SiO 2颗粒，得到坯料 来自掺杂石英玻璃。

公开(公告)号：US20070105704A1

公开(公告)日：2007-05-10

申请号：US11583619

申请日：2006-10-19

申请人： Dana Bookbinder ,  Richard Fiacco ,  Ulrich Neukirch

发明人： Dana Bookbinder ,  Richard Fiacco ,  Ulrich Neukirch

IPC分类号： C03C3/06 ,  C03B8/00 ,  C03B19/06

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B19/12 ,  C03B19/14 ,  C03B19/1453 ,  C03B20/00 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/08 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/22 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/42 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/22 ,  C03C2201/23

摘要： What is disclosed includes OD-doped synthetic silica glass capable of being used in optical elements for use in lithography below about 300 nm. OD-doped synthetic silica glass was found to have significantly lower polarization-induced birefringence value than non-OD-doped silica glass with comparable concentration of OH. Also disclosed are processes for making OD-doped synthetic silica glasses, optical member comprising such glasses, and lithographic systems comprising such optical member. The glass is particularly suitable for immersion lithographic systems due to the exceptionally low polarization-induced birefringence values at about 193 nm.

摘要翻译： 公开的内容包括能够用于低于约300nm的光刻中的光学元件的OD掺杂合成石英玻璃。 发现OD掺杂的合成二氧化硅玻璃具有比具有相当浓度的OH的非OD掺杂的石英玻璃具有显着更低的偏振诱导双折射值。 还公开了制造掺杂OD的合成二氧化硅玻璃，包含这种玻璃的光学构件以及包括这种光学构件的光刻系统的方法。 由于在约193nm处极度低的偏振诱发双折射值，该玻璃特别适用于浸没式光刻系统。

公开(公告)号：US20040216486A1

公开(公告)日：2004-11-04

申请号：US10825890

申请日：2004-04-15

申请人： Wacker-Chemie GmbH

发明人： Fritz Schwertfeger ,  Holger Szillat ,  Jan Tabellion ,  Rolf Clasen

IPC分类号： C03B008/02

CPC分类号： C25D1/14 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B20/00 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C30B35/002

摘要： A method for the production of a homogenous, shaped SiO2 body of near net shape wherein amorphous SiO2 particles comprising relatively large amorphous SiO2 particles and relatively small amorphous SiO2 particles are electrophoretically deposited from an aqueous dispersion on an electrically nonconductive membrane, the shape and geometry of which correspond to the shaped SiO2 body to be produced, wherein the membrane has an average pore size which is larger than the average particle size of the smaller amorphous SiO2 particles.

摘要翻译： 用于生产近净形状的均匀的成型SiO 2体的方法，其中包含相对大的无定形SiO 2颗粒和相对小的无定形SiO 2颗粒的无定形SiO 2颗粒从电绝缘膜上的水性分散体电泳沉积，其形状和几何形状 其对应于待生产的成型SiO 2体，其中所述膜的平均孔径大于所述较小的非晶SiO 2颗粒的平均粒径。

公开(公告)号：US20040053767A1

公开(公告)日：2004-03-18

申请号：US10362986

申请日：2003-09-22

发明人： Fritz Schwertfeger ,  Johann Weiss ,  Rolf Clasen ,  Jan Tabellion

IPC分类号： C03C003/06 ,  B29C067/24

CPC分类号： C25D13/02 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B20/00 ,  C03C1/026 ,  C04B35/14

摘要： The invention relates to a method for producing porous SiO2 green bodies having an extremely high green density, or porous SiO2 green bodies having an internal density gradient which is adjusted in a targeted manner. The inventive method is characterised in that a porous SiO2 green body known per se and consisting of amorphous SiO2 is redensified by electrophoretically depositing SiO2 particles in the pores of the green body.

摘要翻译： 本发明涉及一种生产具有极高生坯密度的多孔SiO 2生坯的方法，或者是以目标方式调节内部密度梯度的多孔SiO 2生坯。 本发明的方法的特征在于本身已知的由无定形SiO 2组成的多孔SiO 2生坯通过在生坯的孔中电泳沉积SiO 2颗粒而被再次化。

公开(公告)号：US06381986B1

公开(公告)日：2002-05-07

申请号：US09481208

申请日：2000-01-11

申请人： Ted A. Loxley ,  John F. Blackmer ,  Klaus-Markus Peters

发明人： Ted A. Loxley ,  John F. Blackmer ,  Klaus-Markus Peters

IPC分类号： C03B1906

CPC分类号： C03B19/12 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B20/00 ,  C03B2201/24 ,  Y02P40/57 ,  Y10S65/08

摘要： A number of unique processes are disclosed for manufacture of sintered high-purity quartz glass products in which a shaped silica body or preform is made from an aqueous slurry of micronized silica particles by gel casting, slip casting or electrophoretic deposition. The silica particles may comprise a major portion by weight of crystalline silica. In one embodiment of the invention the sintered quartz glass is transparent, substantially bubble-free and suitable for scientific or optical uses. In another embodiment the porous silica preform is fired in steam to increase the hydroxyl content and then nitrided in a nitrogen-hydrogen reducing atmosphere. A minute amount of chemically-combined nitrogen in the high-purity quartz glass is sufficient to provide a tremendous improvement in physical properties and an incredible increase in the resistance to devitrification.

摘要翻译： 公开了用于制造烧结高纯度石英玻璃产品的许多独特方法，其中通过凝胶浇铸，滑移浇铸或电泳沉积由二氧化硅微粒化颗粒的水性浆料制成成形二氧化硅体或预制件。 二氧化硅颗粒可以包含大部分重量的结晶二氧化硅。 在本发明的一个实施例中，烧结石英玻璃是透明的，基本上无气泡的并且适用于科学或光学用途。 在另一个实施方案中，多孔二氧化硅预制体在蒸汽中焙烧以增加羟基含量，然后在氮 - 氢还原气氛中氮化。 高纯度石英玻璃中的少量化学结合的氮足以提供物理性能的极大改善和耐失透性的惊人增加。

公开(公告)号：US20020036188A1

公开(公告)日：2002-03-28

申请号：US09964987

申请日：2001-09-26

发明人： Douglas C. Allan ,  Nicholas F. Borrelli ,  William R. Powell ,  Thomas P. Seward III ,  Charlene M. Smith

IPC分类号： G05G017/00 ,  C03B023/02 ,  B23K026/00

CPC分类号： G03F7/70958 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B19/1065 ,  C03B19/1453 ,  C03B20/00 ,  C03B2207/32 ,  C03C1/006 ,  C03C3/06 ,  C03C23/0025 ,  C03C2201/02 ,  C03C2203/50 ,  G03F7/70058 ,  G03F7/70216 ,  Y10S65/13

摘要： The invention relates to fused silica having low compaction under high energy irradiation, particularly adaptable for use in photolithography applications.

摘要翻译： 本发明涉及在高能量照射下具有低压实性的熔融二氧化硅，特别适用于光刻应用。

公开(公告)号：US5736206A

公开(公告)日：1998-04-07

申请号：US640759

申请日：1996-05-07

申请人： Wolfgang Englisch ,  Stephan Moritz ,  Dietmar Hellmann

发明人： Wolfgang Englisch ,  Stephan Moritz ,  Dietmar Hellmann

IPC分类号： C03B20/00 ,  B22C9/12 ,  B28B1/26 ,  C03B19/06 ,  C03C3/06 ,  C03C11/00 ,  C03C17/02 ,  C04B33/28 ,  C04B35/14 ,  C30B35/00 ,  G01J1/42 ,  B01J3/00 ,  H01L21/02

CPC分类号： C03C17/02 ,  B22C9/12 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B20/00 ,  C03C11/00 ,  C03C3/06 ,  C30B35/002 ,  G01J1/429 ,  C03B2201/23 ,  C03C2201/02 ,  C03C2201/80 ,  C03C2203/52 ,  Y10T428/131 ,  Y10T428/1317

摘要： Molded bodies of quartz glass have at least one surface area of transparent quartz glass, the exposed surfaces of which are smooth and which have a surface microroughness of less than 8 .mu.m. The base material has a chemical purity of at least 99.9% and a cristobalite content of no more than 1%; is gas-impermeable and opaque; and contains pores. At a wall thickness of 1 mm, the base material has a nearly uniform direct spectral transmission of less than 10% in the wavelength range of .lambda.=190-2,650 nm; and which has a density of at least 2.215 g/cm.sup.3. The transparent surface area is formed from base material by heating it to a temperature above 1,650.degree. C. The thickness of the transparent layer is at least 0.5 mm, and its direct spectral transmission in the wavelength range of .lambda.=6001-2,650 nm is at least 60% for a layer thickness of 1 mm.

摘要翻译： PCT No.PCT / EP94 / 03722 Sec。 371日期：1996年5月7日 102（e）日期1996年5月7日PCT 1994年11月10日PCT PCT。 公开号WO95 / 13248 日期1995年5月18日石英玻璃体的模体具有透明石英玻璃的至少一个表面积，其露出表面光滑，表面微粗糙度小于8μm。 基材的化学纯度为99.9％以上，方石方含量不超过1％。 是不透气和不透明的; 并含有毛孔。 在壁厚为1mm的情况下，基材在λ= 190-2,650nm的波长范围内具有小于10％的几乎均匀的直接光谱透射; 并且其密度为至少2.215g / cm 3。 透明表面积由基材通过加热至1650℃以上而形成。透明层的厚度至少为0.5mm，其在λ= 6001-2,650nm的波长范围内的直接光谱透过率为 对于层厚为1mm，最少为60％。

公开(公告)号：US5547482A

公开(公告)日：1996-08-20

申请号：US270423

申请日：1994-07-05

申请人： Julie B. Chalk ,  Jonathan C. Rowe ,  Paul M. Schermerhorn ,  Robert D. Shoup

发明人： Julie B. Chalk ,  Jonathan C. Rowe ,  Paul M. Schermerhorn ,  Robert D. Shoup

IPC分类号： C03B8/00 ,  C03B8/02 ,  C03B19/00 ,  C03B19/06 ,  C03B19/12 ,  C03B20/00 ,  C03B32/00 ,  C03C3/06

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B19/12 ,  C03B20/00 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/08 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/30 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/42 ,  C03B2201/50 ,  C03B2201/54 ,  C03C2201/06 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/26 ,  C03C2203/27 ,  C03C2203/50 ,  Y02P40/57

摘要： This invention is directed to the production of essentially defect-free high purity fused silica glass articles, the method comprising the following steps: (a) forming a green body from silica particulates or a porous body of amorphous silica; (b) sintering said body in a chamber by raising the temperature of the chamber to above 1720.degree. C., while purging the chamber with helium or applying a vacuum to the chamber; and (c) consolidating the sintered body in a chamber by raising the temperature within the chamber to at least 1750.degree. C., introducing an inert gas into the chamber at a pressure less than about 6.9 MPa (1000 psig), and cooling the chamber while maintaining the pressurized atmosphere to a temperature at least below the annealing point of the glass. In the most preferred practice, a green body of silica particulates will be prepared via a sol-gel process.

摘要翻译： 本发明涉及生产基本上无缺陷的高纯度熔融石英玻璃制品，该方法包括以下步骤：（a）由二氧化硅微粒或无定形二氧化硅的多孔体形成生坯; （b）通过将腔室的温度升高到1720℃以上，同时用氦气吹扫腔室或向室内施加真空来在室内烧结所述主体; 和（c）通过将室内的温度升高至至少1750℃将烧结体固化在室中，在小于约6.9MPa（1000psig）的压力下将惰性气体引入室中，并冷却室 同时将加压气氛保持在至少低于玻璃退火点的温度。 在最优选的实践中，将通过溶胶 - 凝胶法制备生物体的二氧化硅颗粒。

公开(公告)号：US5389591A

公开(公告)日：1995-02-14

申请号：US63689

申请日：1993-05-20

申请人： Jacques, M. L. Guigonis ,  Eric T. G. Jorge

发明人： Jacques, M. L. Guigonis ,  Eric T. G. Jorge

IPC分类号： C03B19/06 ,  C04B35/14

CPC分类号： C04B35/14 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B20/00

摘要： The invention relates especially to a mixture of grains and particles of fused vitreous silica produced by dry mixing: (i) a moderately coarse particle size fraction of fused vitreous silica, (ii) a fine particle size fraction of fused vitreous silica, in which at least 95% by weight of the grains are smaller than 40 .mu.m, (iii) substantially spherical particles of fume silica, and (iv) optionally, at least one particle size fraction of fused vitreous silica which is coarser than fraction (i), the constituents (i) to (iv) being employed in the following proportions by weight: (i) 15-70%, (ii) 15-55%, (iii) 3-15% and (iv) 0-52%. The mixture can be used for the production of articles made of sintered vitreous silica.

摘要翻译： 本发明特别涉及通过干混合产生的熔融玻璃态二氧化硅颗粒和颗粒的混合物：（i）熔融玻璃状二氧化硅的中等粗粒度分数，（ii）熔融玻璃状二氧化硅的细粒度分数，其中 至少95重量％的颗粒小于40μm，（iii）基本上为球形的烟雾二氧化硅颗粒，和（iv）任选地，比部分（i）更粗的至少一种熔融石英二氧化硅的粒度分数， 组分（i）至（iv）按以下重量比例使用：（i）15-70％，（ii）15-55％，（iii）3-15％和（iv）0-52％。 该混合物可用于生产由烧结玻璃状二氧化硅制成的制品。