公开(公告)号：US09799353B2

公开(公告)日：2017-10-24

申请号：US14845317

申请日：2015-09-04

Applicant: SEAGATE TECHNOLOGY LLC

Inventor： Yuhang Cheng ,  Tong Zhao ,  Michael C. Kautzky ,  Ed F. Rejda ,  Kurt W. Wierman ,  Scott Franzen ,  Andrew J. Boyne ,  Michael Allen Seigler ,  Sethuraman Jayashankar

IPC: G11B11/00 ,  G11B5/31 ,  G11B5/84 ,  B05D1/36 ,  G11B5/85 ,  G11B5/851 ,  G11B5/858 ,  G11B5/60 ,  G11B5/48 ,  G11B5/00 ,  G11B7/1387

CPC classification number: G11B5/314 ,  B05D1/36 ,  G11B5/3106 ,  G11B5/3163 ,  G11B5/4866 ,  G11B5/6088 ,  G11B5/84 ,  G11B5/85 ,  G11B5/851 ,  G11B5/858 ,  G11B7/1387 ,  G11B2005/0021

Abstract: A device that includes a near field transducer (NFT), the NFT having a disc and a peg, and the peg having an air bearing surface thereof; and at least one adhesion layer positioned on at least the air bearing surface of the peg, the adhesion layer including one or more of platinum (Pt), iridium (Ir), ruthenium (Ru), rhodium (Rh), palladium (Pd), yttrium (Y), chromium (Cr), nickel (Ni), and scandium (Sc).

公开(公告)号：US09666220B2

公开(公告)日：2017-05-30

申请号：US14720901

申请日：2015-05-25

Applicant: SEAGATE TECHNOLOGY LLC

Inventor： Vijay Karthik Sankar ,  Tong Zhao ,  Yongjun Zhao ,  Michael C. Kautzky ,  Hui Brickner ,  Sarbeswar Sahoo

IPC: G11B5/40 ,  G11B5/31 ,  G11B5/60 ,  G11B7/24059 ,  G11B5/00

CPC classification number: G11B5/6088 ,  G11B5/31 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/313 ,  G11B5/314 ,  G11B5/3163 ,  G11B7/24059 ,  G11B2005/0021

Abstract: Devices that include a near field transducer (NFT), the NFT having a disc and a peg, and the peg having five surfaces thereof; and at least one adhesion layer positioned on at least one of the five surfaces of the peg, the adhesion layer including one or more of the following: yttrium (Y), tin (Sn), iron (Fe), copper (Cu), carbon (C), holmium (Ho), gallium (Ga), silver (Ag), ytterbium (Yb), chromium (Cr), tantalum (Ta), iridium (Ir), zirconium (Zr), yttrium (Y), scandium (Sc), cobalt (Co), silicon (Si), nickel (Ni), molybdenum (Mo), niobium (Nb), palladium (Pd), titanium (Ti), rhenium (Re), osmium (Os), platinum (Pt), aluminum (Al), ruthenium (Ru), rhodium (Rh), vanadium (V), germanium (Ge), tin (Sn), magnesium (Mg), iron (Fe), copper (Cu), tungsten (W), hafnium (Hf), carbon (C), boron (B), holmium (Ho), antimony (Sb), gallium (Ga), manganese (Mn), silver (Ag), indium (In), bismuth (Bi), zinc (Zn), ytterbium (Yb), and combinations thereof.

公开(公告)号：US20170011755A1

公开(公告)日：2017-01-12

申请号：US15049343

申请日：2016-02-22

Applicant: SEAGATE TECHNOLOGY LLC

Inventor： Justin Glen Brons ,  Tong Zhao ,  Xiaoyue Huang ,  Michael C. Kautzky

IPC: G11B5/31

CPC classification number: G11B5/314 ,  G11B5/6088 ,  G11B2005/0021

Abstract: A device that includes a near field transducer (NFT); at least one cladding layer adjacent the NFT; and a carbon interlayer positioned between the NFT and the at least one cladding layer.

Abstract translation: 包括近场换能器（NFT）的装置; 邻近NFT的至少一个覆层; 以及位于所述NFT和所述至少一个包覆层之间的碳中间层。

公开(公告)号：US20160351214A1

公开(公告)日：2016-12-01

申请号：US15167622

申请日：2016-05-27

Applicant: SEAGATE TECHNOLOGY LLC

Inventor： Michael C. Kautzky ,  Mark H. Ostrowski ,  David Michael Grundman ,  Martin Blaber

IPC: G11B5/31

CPC classification number: G11B5/3169 ,  G11B5/3109 ,  G11B5/3133 ,  G11B5/314 ,  G11B5/3163 ,  G11B5/6088 ,  G11B2005/0021

Abstract: Methods of forming a NFT the methods including forming a hard mask positioned over at least a portion of the rod, the hard mask including at least one layer; patterning a resist mask over the hard mask, the resist mask having an edge positioned over at least a portion of the rod; etching a portion of the hard mask to expose a back edge of the rod and to form a back edge of the hard mask, wherein the back edge of the rod is equivalent to the back edge of the peg; and wherein a forward portion of the rod which is the portion of the rod forward of the back edge is covered by the hard mask; forming a disc mask including a void configured to form a disc of a NFT, the disc mask being formed over at least a portion of the hard mask so that the exposed back edge of the rod is within the void configured to form the disc; etching an area exposed in the void of the disc mask to remove both a rear portion of the rod and the surrounding dielectric up to the back edge of the hard mask edge; depositing a disc material in the etched void, wherein the back edge of the hard mask defines the front edge of the disc and the back edge of the rod is in contact with the front edge of the disc; and polishing the deposited disc material to form a top surface substantially planar with the top of the forward rod portion.

Abstract translation: 形成NFT的方法包括形成位于杆的至少一部分上方的硬掩模，所述硬掩模包括至少一层; 在所述硬掩模上形成抗蚀剂掩模，所述抗蚀剂掩模具有位于所述杆的至少一部分上方的边缘; 蚀刻硬掩模的一部分以露出杆的后边缘并形成硬掩模的后边缘，其中杆的后边缘等同于钉的后边缘; 并且其中所述杆的前部部分是所述后缘的前部的所述部分被所述硬掩模覆盖; 形成包括构造成形成NFT的盘的空隙的盘掩模，所述盘掩模形成在所述硬掩模的至少一部分上，使得所述杆的暴露的后边缘在被构造成形成所述盘的所述空间内; 蚀刻暴露在盘掩模的空隙中的区域，以将杆的后部和周围的电介质移除到硬掩模边缘的后边缘; 将光盘材料沉积在蚀刻的空隙中，其中硬掩模的后边缘限定盘的前边缘，并且杆的后边缘与盘的前边缘接触; 并抛光沉积的盘材料以形成与前杆部分的顶部基本平面的顶表面。

公开(公告)号：US09502054B2

公开(公告)日：2016-11-22

申请号：US14972295

申请日：2015-12-17

Applicant: SEAGATE TECHNOLOGY LLC

Inventor： Yuhang Cheng ,  Tong Zhao ,  Michael C. Kautzky ,  Ed F. Rejda ,  Kurt W. Wierman ,  Scott Franzen ,  Michael Allen Seigler

IPC: G11B5/00 ,  G11B5/31 ,  G11B5/60 ,  G11B5/48 ,  G11B13/08

CPC classification number: G11B5/314 ,  G11B5/3106 ,  G11B5/4866 ,  G11B5/6088 ,  G11B13/08 ,  G11B2005/0021

Abstract: Devices that include a near field transducer (NFT), the NFT including a peg having five surfaces, the peg including a first material, the first material including gold (Au), silver (Ag), aluminum (Al), copper (Cu), ruthenium (Ru), rhodium (Rh), iridium (Ir), or combinations thereof; an overlying structure; and at least one intermixing layer, positioned between the peg and the overlying structure, the at least one intermixing layer positioned on at least one of the five surfaces of the peg, the intermixing layer including at least the first material and a second material.

公开(公告)号：US09305575B2

公开(公告)日：2016-04-05

申请号：US14556472

申请日：2014-12-01

Applicant: SEAGATE TECHNOLOGY LLC

Inventor： Tong Zhao ,  Ibro Tabakovic ,  Michael C. Kautzky ,  Venkatram Venkatasamy ,  Jie Gong

IPC: G11B11/00 ,  G11B5/31 ,  G11B13/04 ,  G11B5/60 ,  G11B5/00

CPC classification number: G11B5/314 ,  G11B5/6088 ,  G11B13/04 ,  G11B2005/0021

Abstract: Disclosed herein is an apparatus that includes a near field transducer positioned adjacent to an air bearing surface of the apparatus; a first magnetic pole; and a heat sink positioned between the first magnetic pole and the near field transducer, wherein the heat sink includes a first and second portion, with the first portion being adjacent the near field transducer and the second portion being adjacent the first magnetic pole, the first portion including a plasmonic material, and the second portion including a diffusion blocking material.

Abstract translation: 本文公开了一种装置，其包括邻近设备的空气轴承表面定位的近场换能器; 第一个磁极; 以及位于所述第一磁极和所述近场换能器之间的散热器，其中所述散热器包括第一和第二部分，所述第一部分与所述近场换能器相邻，并且所述第二部分与所述第一磁极相邻，所述第一部分 部分包括等离子体激元材料，第二部分包括扩散阻挡材料。

公开(公告)号：US09218829B2

公开(公告)日：2015-12-22

申请号：US14632054

申请日：2015-02-26

Applicant: SEAGATE TECHNOLOGY LLC

Inventor： Yuhang Cheng ,  Tong Zhao ,  Michael C. Kautzky ,  Ed F. Rejda ,  Kurt W. Wierman ,  Scott Franzen ,  Michael Allen Seigler

IPC: G11B5/48 ,  G11B5/31 ,  G11B5/60 ,  G11B13/08 ,  G11B5/00

CPC classification number: G11B5/314 ,  G11B5/3106 ,  G11B5/4866 ,  G11B5/6088 ,  G11B13/08 ,  G11B2005/0021

Abstract: Devices that include a near field transducer (NFT), the NFT including a peg having five surfaces, the peg including a first material, the first material including gold (Au), silver (Ag), aluminum (Al), copper (Cu), ruthenium (Ru), rhodium (Rh), iridium (Ir), or combinations thereof; an overlying structure; and at least one intermixing layer, positioned between the peg and the overlying structure, the at least one intermixing layer positioned on at least one of the five surfaces of the peg, the intermixing layer including at least the first material and a second material.

Abstract translation: 包括近场换能器（NFT）的装置，所述NFT包括具有五个表面的钉，所述钉包括第一材料，所述第一材料包括金（Au），银（Ag），铝（Al），铜（Cu） ，钌（Ru），铑（Rh），铱（Ir）或其组合; 上层结构; 以及位于所述栓钉和所述上覆结构之间的至少一个混合层，所述至少一个混合层定位在所述栓钉的五个表面中的至少一个上，所述混合层至少包括所述第一材料和第二材料。

公开(公告)号：US09153277B2

公开(公告)日：2015-10-06

申请号：US14535522

申请日：2014-11-07

Applicant: SEAGATE TECHNOLOGY LLC

Inventor： Tong Zhao ,  Xiaoyue Huang ,  Michael C. Kautzky ,  Hui Brickner ,  Yi-Kuei Ryan Wu

IPC: G11B11/00 ,  G11B13/08 ,  G11B5/60 ,  G11B5/48 ,  G11B5/31 ,  G11B5/127 ,  G03F7/26 ,  G03F7/20 ,  G11B5/00

CPC classification number: G11B13/08 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26 ,  G11B5/127 ,  G11B5/314 ,  G11B5/4866 ,  G11B5/6082 ,  G11B5/6088 ,  G11B2005/0021 ,  Y10T29/49032

Abstract: Near field transducers (NFTs) and devices that include a peg having an air bearing region and an opposing back region, the back region including a sacrificial structure, a disc having a first surface in contact with the peg, and a barrier structure, the barrier structure positioned between the opposing back region of the peg and the first surface of the disc.

Abstract translation: 近场换能器（NFT）和包括具有空气轴承区域和相对后区域的钉的装置，所述后区域包括牺牲结构，具有与钉接触的第一表面的盘和阻挡结构，所述阻挡层 位于钉的相对的背部区域和盘的第一表面之间的结构。

公开(公告)号：US20140376352A1

公开(公告)日：2014-12-25

申请号：US14313717

申请日：2014-06-24

Applicant: SEAGATE TECHNOLOGY LLC

Inventor： Yuhang Cheng ,  Tong Zhao ,  Michael C. Kautzky ,  Ed F. Rejda ,  Kurt W. Wierman ,  Scott Franzen ,  Sethuraman Jayashankar ,  Sarbeswar Sahoo ,  Justin Glen Brons ,  Steve C. Riemer ,  Jie Gong ,  Michael Allen Seigler

IPC: G11B5/48 ,  C22C5/10 ,  C22C9/00 ,  C22C9/02 ,  C22C9/04 ,  C22C9/06 ,  C22C9/10 ,  C22C9/08 ,  C22C9/05 ,  C22C28/00 ,  C22C13/00 ,  C22C24/00 ,  C22C20/00 ,  C22C11/04 ,  C22C27/00 ,  C22C27/02 ,  C22C18/02 ,  C22C5/04 ,  C22C21/10 ,  C22C21/06 ,  C22C21/02 ,  C22C21/00 ,  C22C22/00 ,  C22C27/06 ,  C22C38/06 ,  C22C19/03 ,  C22C19/07 ,  C22C5/02 ,  C22C30/02 ,  C22C5/06

CPC classification number: G11B13/08 ,  B32B15/01 ,  B32B15/018 ,  C01F7/00 ,  C01G5/00 ,  C22C5/02 ,  C22C5/04 ,  C22C5/06 ,  C22C5/10 ,  C22C9/00 ,  C22C9/02 ,  C22C9/04 ,  C22C9/05 ,  C22C9/06 ,  C22C9/08 ,  C22C9/10 ,  C22C11/04 ,  C22C13/00 ,  C22C18/02 ,  C22C19/03 ,  C22C19/07 ,  C22C20/00 ,  C22C21/00 ,  C22C21/003 ,  C22C21/02 ,  C22C21/06 ,  C22C21/10 ,  C22C22/00 ,  C22C24/00 ,  C22C27/00 ,  C22C27/02 ,  C22C27/025 ,  C22C27/06 ,  C22C28/00 ,  C22C30/02 ,  C22C38/06 ,  C23C14/5833 ,  G11B5/3106 ,  G11B5/314 ,  G11B5/3163 ,  G11B5/4866 ,  G11B5/6088 ,  G11B7/1387 ,  G11B7/24059 ,  G11B2005/0021

Abstract: A device including a near field transducer, the near field transducer including gold (Au), silver (Ag), copper (Cu), or aluminum (Al), and at least two other secondary atoms, the at least two other secondary atoms selected from: boron (B), bismuth (Bi), indium (In), sulfur (S), silicon (Si), tin (Sn), manganese (Mn), tellurium (Te), holmium (Ho), lutetium (Lu), praseodymium (Pr), scandium (Sc), uranium (U), barium (Ba), chlorine (Cl), cesium (Cs), dysprosium (Dy), europium (Eu), fluorine (F), germanium (Ge), hydrogen (H), iodine (I), rubidium (Rb), selenium (Se), terbium (Tb), nitrogen (N), oxygen (O), carbon (C), antimony (Sb), gadolinium (Gd), samarium (Sm), thallium (Tl), cadmium (Cd), neodymium (Nd), phosphorus (P), lead (Pb), hafnium (Hf), niobium (Nb), erbium (Er), zinc (Zn), magnesium (Mg), palladium (Pd), vanadium (V), zinc (Zn), chromium (Cr), iron (Fe), lithium (Li), nickel (Ni), platinum (Pt), sodium (Na), strontium (Sr), calcium (Ca), yttrium (Y), thorium (Th), beryllium (Be), thulium (Tm), erbium (Er), ytterbium (Yb), promethium (Pm), neodymium (Nd cobalt (Co), cerium (Ce), lanthanum (La), praseodymium (Pr), or combinations thereof.

Abstract translation: 一种包括近场换能器的装置，包括金（Au），银（Ag），铜（Cu）或铝（Al）的近场换能器和至少两个其它次级原子，所选择的至少两个其它次级原子 来自：硼（B），铋（Bi），铟（In），硫（S），硅（Si），锡（Sn），锰（Mn），碲（Te），钬（Ho） ），镨（Pr），钪（Sc），铀（U），钡（Ba），氯（Cl），铯（Cs），镝（Dy），铕（Eu），氟（F） ），氢（H），碘（I），铷（Rb），硒（Se），铽（Tb），氮（N），氧（O），碳（C），锑（Sb） ），钐（Sm），铊（Tl），镉（Cd），钕（Nd），磷（P），铅（Pb），铪（Hf），铌（Nb），铒（Er） ），镁（Mg），钯（Pd），钒（V），锌（Zn），铬（Cr），铁（Fe），锂（Li），镍（Ni），铂（Pt） ），锶（Sr），钙（Ca），钇（Y），钍（Th），铍（B 铕（Tm），铒（Er），镱（Yb），ium（Pm），钕（Nd钴（Co），铈（Ce），镧（La），镨（Pr）

公开(公告)号：US20140376351A1

公开(公告)日：2014-12-25

申请号：US14313651

申请日：2014-06-24

Applicant: SEAGATE TECHNOLOGY LLC

Inventor： Yuhang Cheng ,  Tong Zhao ,  Michael C. Kautzky ,  Ed F. Rejda ,  Kurt W. Wierman ,  Scott Franzen ,  Sethuraman Jayashankar ,  Sarbeswar Sahoo ,  Jie Gong ,  Michael Allen Seigler

IPC: G11B5/48 ,  C22C28/00 ,  C22C5/02

CPC classification number: G11B13/08 ,  B32B15/01 ,  B32B15/018 ,  C01F7/00 ,  C01G5/00 ,  C22C5/02 ,  C22C5/04 ,  C22C5/06 ,  C22C5/10 ,  C22C9/00 ,  C22C9/02 ,  C22C9/04 ,  C22C9/05 ,  C22C9/06 ,  C22C9/08 ,  C22C9/10 ,  C22C11/04 ,  C22C13/00 ,  C22C18/02 ,  C22C19/03 ,  C22C19/07 ,  C22C20/00 ,  C22C21/00 ,  C22C21/003 ,  C22C21/02 ,  C22C21/06 ,  C22C21/10 ,  C22C22/00 ,  C22C24/00 ,  C22C27/00 ,  C22C27/02 ,  C22C27/025 ,  C22C27/06 ,  C22C28/00 ,  C22C30/02 ,  C22C38/06 ,  C23C14/5833 ,  G11B5/3106 ,  G11B5/314 ,  G11B5/3163 ,  G11B5/4866 ,  G11B5/6088 ,  G11B7/1387 ,  G11B7/24059 ,  G11B2005/0021

Abstract: A device including a near field transducer, the near field transducer including gold (Au) and at least one other secondary atom, the at least one other secondary atom selected from: boron (B), bismuth (Bi), indium (In), sulfur (S), silicon (Si), tin (Sn), hafnium (Hf), niobium (Nb), manganese (Mn), antimony (Sb), tellurium (Te), carbon (C), nitrogen (N), and oxygen (O), and combinations thereof erbium (Er), holmium (Ho), lutetium (Lu), praseodymium (Pr), scandium (Sc), uranium (U), zinc (Zn), and combinations thereof and barium (Ba), chlorine (Cl), cesium (Cs), dysprosium (Dy), europium (Eu), fluorine (F), gadolinium (Gd), germanium (Ge), hydrogen (H), iodine (I), osmium (Os), phosphorus (P), rubidium (Rb), rhenium (Re), selenium (Se), samarium (Sm), terbium (Tb), thallium (Th), and combinations thereof.

Abstract translation: 一种包括近场换能器，包括金（Au）和至少一个其它次级原子的近场换能器的装置，所述至少一个其它次级原子选自：硼（B），铋（Bi），铟（In）， 硫（S），硅（Si），锡（Sn），铪（Hf），铌（Nb），锰（Mn），锑（Sb），碲（Te），碳（C），氮（N） 和氧（O）及其组合铒（Er），钬（Ho），镥（Lu），镨（Pr），钪（Sc），铀（U），锌（Zn） Ba），氯（Cl），铯（Cs），镝（Dy），铕（Eu），氟（F），钆（Gd），锗（Ge），氢（H），碘（I） Os），磷（P），铷（Rb），铼（Re），硒（Se），钐（Sm），铽（Tb），铊（Th）