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    MULTI-STACK FILM BOLOMETER
    71.
    发明申请
    MULTI-STACK FILM BOLOMETER 有权
    多层薄膜温度计

    公开(公告)号：US20140103210A1

    公开(公告)日：2014-04-17

    申请号：US14054923

    申请日：2013-10-16

    申请人： Robert Bosch GmbH

    发明人： Ando Lars Feyh ,  Po-Jui Chen ,  Fabian Purkl ,  Gary Yama ,  Gary O'Brien

    IPC分类号： H01L31/09 ,  H01L37/02

    CPC分类号： H01L31/09 ,  G01J5/024 ,  G01J5/0853 ,  G01J5/10 ,  G01J5/20 ,  H01L37/02

    摘要： A semiconductor device includes a substrate, suspension structures extending from the upper surface of the substrate, and an absorber stack attached to the substrate by the suspension structures. The suspension structures suspend the absorber stack over the substrate such that a gap is defined between the absorber stack and the substrate. The absorber stack includes a plurality of metallization layers interleaved with a plurality of insulating layers. At least one of the metallization layers has a thickness of approximately 10 nm or less.

    摘要翻译： 半导体器件包括衬底，从衬底的上表面延伸的悬浮结构以及通过悬挂结构附接到衬底的吸收体堆叠。 悬架结构将吸收体堆叠物悬挂在衬底上，使得在吸收体堆叠和衬底之间限定间隙。 吸收体堆叠包括与多个绝缘层交错的多个金属化层。 至少一层金属化层的厚度约为10nm以下。

    Epi-poly etch stop for out of plane spacer defined electrode
    73.
    发明授权
    Epi-poly etch stop for out of plane spacer defined electrode 有权

    公开(公告)号：US10173887B2

    公开(公告)日：2019-01-08

    申请号：US15291374

    申请日：2016-10-12

    申请人： Robert Bosch GmbH

    发明人： Andrew Graham ,  Gary Yama ,  Gary O'Brien

    IPC分类号： B81B3/00 ,  B81C1/00

    摘要： A device with an out-of-plane electrode includes a device layer positioned above a handle layer, a first electrode defined within the device layer, a cap layer having a first cap layer portion spaced apart from an upper surface of the device layer by a gap, and having an etch stop perimeter defining portion defining a lateral edge of the gap, and an out-of-plane electrode defined within the first cap layer portion by a spacer.

    MEMS infrared sensor including a plasmonic lens
    76.
    发明授权
    MEMS infrared sensor including a plasmonic lens 有权
    MEMS红外传感器包括等离子体透镜

    公开(公告)号：US09423303B2

    公开(公告)日：2016-08-23

    申请号：US14136808

    申请日：2013-12-20

    申请人： Robert Bosch GmbH

    发明人： Ashwin Samarao ,  Gary O'Brien ,  Ando Feyh ,  Gary Yama ,  Fabian Purkl

    IPC分类号： G01J5/02 ,  G01J5/10 ,  G01J5/20 ,  G01J5/04 ,  G01J5/08

    CPC分类号： G01J5/024 ,  G01J5/045 ,  G01J5/0815 ,  G01J5/0837 ,  G01J5/0856 ,  G01J5/10 ,  G01J5/20

    摘要： A portable thermal imaging system includes a portable housing configured to be carried by a user, a bolometer sensor assembly supported by the housing and including an array of thermal sensor elements and at least one plasmonic lens, a memory including program instructions, and a processor operably connected to the memory and to the sensor, and configured to execute the program instructions to obtain signals from each of a selected set of thermal sensor elements of the array of thermal sensor elements, assign each of the obtained signals with a respective color data associated with a temperature of a sensed object, and render the color data.

    摘要翻译： 便携式热成像系统包括被配置为由用户携带的便携式外壳，由壳体支撑的测辐射热计传感器组件，并且包括热传感器元件阵列和至少一个等离子体激元透镜，包括程序指令的存储器和可操作地处理的处理器 连接到存储器和传感器，并且被配置为执行程序指令以从热传感器元件阵列的所选择的一组热传感器元件中的每一个获得信号，将获得的每个信号分配给与 感测对象的温度，并呈现彩色数据。

    Metamaterial and method for forming a metamaterial using atomic layer deposition
    78.
    发明授权
    Metamaterial and method for forming a metamaterial using atomic layer deposition 有权
    使用原子层沉积形成超材料的超材料和方法

    公开(公告)号：US09255328B2

    公开(公告)日：2016-02-09

    申请号：US14200198

    申请日：2014-03-07

    申请人： Robert Bosch GmbH

    发明人： Fabian Purkl ,  John Provine ,  Gary Yama ,  Ando Feyh ,  Gary O'Brien

    IPC分类号： B32B3/02 ,  C23C16/455

    CPC分类号： C23C16/45529 ,  Y10T428/24851

    摘要： A metamaterial includes a first continuous layer formed with a first material by atomic layer deposition (ALD), a first non-continuous layer formed with a second material by ALD on first upper surface portions of a first upper surface of the first continuous layer, and a second continuous layer formed with the first material by ALD on second upper surface portions of the first upper surface of the first continuous layer and on a second upper surface of the first non-continuous layer.

    摘要翻译： 超材料包括通过原子层沉积（ALD）形成的第一材料的第一连续层，在第一连续层的第一上表面的第一上表面部分上由ALD形成的第二材料的第一非连续层，以及 第二连续层，其由第一连续层的第一上表面的第二上表面部分上的第一材料和第一非连续层的第二上表面上的第一材料形成。

    Out-of-plane spacer defined electrode
    79.
    发明授权
    Out-of-plane spacer defined electrode 有权
    面外间隔限定电极

    公开(公告)号：US09242850B2

    公开(公告)日：2016-01-26

    申请号：US14217956

    申请日：2014-03-18

    申请人： Robert Bosch GmbH

    发明人： Andrew B. Graham ,  Gary Yama ,  Gary O'Brien

    IPC分类号： H01L29/84 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00

    CPC分类号： B81B3/0021 ,  B81B2207/095 ,  B81C1/00301

    摘要： In one embodiment, a method of forming an out-of-plane electrode includes providing an oxide layer above an upper surface of a device layer, providing a first cap layer portion above an upper surface of the oxide layer, etching a first electrode perimeter defining trench extending through the first cap layer portion and stopping at the oxide layer, depositing a first material portion within the first electrode perimeter defining trench, depositing a second cap layer portion above the first material portion, vapor releasing a portion of the oxide layer, depositing a third cap layer portion above the second cap layer portion, etching a second electrode perimeter defining trench extending through the second cap layer portion and the third cap layer portion, and depositing a second material portion within the second electrode perimeter defining trench, such that a spacer including the first material portion and the second material portion define out-of-plane electrode.

    摘要翻译： 在一个实施例中，形成平面外电极的方法包括在器件层的上表面上方提供氧化物层，在氧化物层的上表面上方提供第一覆盖层部分，蚀刻第一电极周界， 沟槽延伸穿过第一盖层部分并在氧化物层处停止，在第一电极周界限定沟槽内沉积第一材料部分，在第一材料部分上方沉积第二盖层部分，释放氧化物层的一部分的蒸气，沉积 在所述第二盖层部分上方的第三盖层部分，蚀刻延伸穿过所述第二盖层部分和所述第三盖层部分的第二电极周界限定沟槽，以及在所述第二电极周界限定沟槽内沉积第二材料部分， 包括第一材料部分和第二材料部分的间隔件限定了平面外的电极。