公开(公告)号：US20150083600A1

公开(公告)日：2015-03-26

申请号：US14507692

申请日：2014-10-06

申请人： APPLIED Materials, Inc.

发明人： Rajesh Baskaran ,  Robert W. Batz, JR. ,  Bioh Kim ,  Thomas L. Ritzdorf ,  John Lee Klocke ,  Kyle M. Hanson

IPC分类号： C25D5/02 ,  C25D3/46 ,  C25D3/12 ,  C25D3/20 ,  C25D3/54 ,  C25D3/34 ,  C25D3/38 ,  C25D3/30

CPC分类号： C25D5/028 ,  C25D3/12 ,  C25D3/20 ,  C25D3/30 ,  C25D3/34 ,  C25D3/38 ,  C25D3/46 ,  C25D3/54 ,  C25D5/022 ,  C25D17/001 ,  C25D17/002 ,  C25D21/12 ,  C25F3/02 ,  H01L21/2885 ,  H01L21/76846 ,  H01L21/76868 ,  H01L21/76873 ,  H05K3/423

摘要： Processes and systems for electrolytically processing a microfeature workpiece with a first processing fluid and a counter electrode are described. Microfeature workpieces are electrolytically processed using a first processing fluid, a counter electrode, a second processing fluid, and an anion permeable barrier layer. The anion permeable barrier layer separates the first processing fluid from the second processing fluid while allowing certain anionic species to transfer between the two fluids.

摘要翻译： 描述了利用第一处理流体和对电极对微特征工件进行电解处理的工艺和系统。 使用第一处理流体，对电极，第二处理流体和阴离子可渗透阻挡层对微特征工件进行电解处理。 阴离子可渗透阻挡层将第一处理流体与第二处理流体分离，同时允许某些阴离子物质在两种流体之间转移。

公开(公告)号：US09234293B2

公开(公告)日：2016-01-12

申请号：US14507692

申请日：2014-10-06

申请人： APPLIED Materials, Inc.

发明人： Rajesh Baskaran ,  Robert W. Batz, Jr. ,  Bioh Kim ,  Thomas L. Ritzdorf ,  John Lee Klocke ,  Kyle M. Hanson

IPC分类号： C25D17/00 ,  C25D7/12 ,  C25D5/02 ,  C25D3/38 ,  C25F3/02 ,  H01L21/288 ,  H01L21/768 ,  C25D3/12 ,  C25D3/20 ,  C25D3/30 ,  C25D3/34 ,  C25D3/46 ,  C25D3/54 ,  C25D21/12 ,  H05K3/42

CPC分类号： C25D5/028 ,  C25D3/12 ,  C25D3/20 ,  C25D3/30 ,  C25D3/34 ,  C25D3/38 ,  C25D3/46 ,  C25D3/54 ,  C25D5/022 ,  C25D17/001 ,  C25D17/002 ,  C25D21/12 ,  C25F3/02 ,  H01L21/2885 ,  H01L21/76846 ,  H01L21/76868 ,  H01L21/76873 ,  H05K3/423

摘要： Processes and systems for electrolytically processing a microfeature workpiece with a first processing fluid and a counter electrode are described. Microfeature workpieces are electrolytically processed using a first processing fluid, a counter electrode, a second processing fluid, and an anion permeable barrier layer. The anion permeable barrier layer separates the first processing fluid from the second processing fluid while allowing certain anionic species to transfer between the two fluids.

摘要翻译： 描述了利用第一处理流体和对电极对微特征工件进行电解处理的工艺和系统。 使用第一处理流体，对电极，第二处理流体和阴离子可渗透阻挡层对微特征工件进行电解处理。 阴离子可渗透阻挡层将第一处理流体与第二处理流体分离，同时允许某些阴离子物质在两种流体之间转移。