公开(公告)号：US06589407B1

公开(公告)日：2003-07-08

申请号：US08862537

申请日：1997-05-23

申请人： Anantha Subramani ,  Ashok K. Das ,  Leif E. DeLaurentis ,  Michael Rosenstein

发明人： Anantha Subramani ,  Ashok K. Das ,  Leif E. DeLaurentis ,  Michael Rosenstein

IPC分类号： C23C1434

CPC分类号： H01J37/32623 ,  H01J37/3441

摘要： An aluminum deposition shield substantially improves transfer of radiated heat from within the vacuum chamber, in comparison to a stainless steel deposition shield. The aluminum deposition shield remains cooler during wafer processing and assists in cooling the chamber components.

摘要翻译： 与不锈钢沉积屏蔽相比，铝沉积屏蔽件显着地改善了来自真空室内的辐射热传递。 铝沉积屏蔽在晶片加工过程中保持冷却，有助于冷却腔室部件。

公开(公告)号：US20120185096A1

公开(公告)日：2012-07-19

申请号：US13032390

申请日：2011-02-22

申请人： Michael Rosenstein ,  Steven V. Shamlian ,  Chikyung Won ,  Michael Halloran ,  Mark Chiappetta ,  Thomas P. Allen

发明人： Michael Rosenstein ,  Steven V. Shamlian ,  Chikyung Won ,  Michael Halloran ,  Mark Chiappetta ,  Thomas P. Allen

IPC分类号： G05B15/00

CPC分类号： B25J5/007 ,  B25J11/009 ,  G05D1/0227 ,  G05D1/024 ,  G05D1/0242 ,  G05D1/0246 ,  G05D1/0255 ,  G05D1/027 ,  G05D1/0272 ,  G05D1/0274 ,  G05D2201/0206 ,  Y10S901/01

摘要： A method of operating a mobile robot to traverse a threshold includes detecting a threshold proximate the robot. The robot includes a holonomic drive system having first, second, and third drive elements configured to maneuver the robot omni-directionally. The method further includes moving the first drive element onto the threshold from a first side and moving the second drive element onto the threshold to place both the first and second drive elements on the threshold. The method includes moving the first drive element off a second side of the threshold, opposite to the first side of the threshold, and moving the third drive element onto the threshold, placing both the second and third drive elements on the threshold. The method includes moving both the second and third drive elements off the second side of the threshold.

摘要翻译： 操作移动机器人横穿阈值的方法包括检测机器人附近的阈值。 该机器人包括一个完整的驱动系统，其具有被配置成全方向地操纵机器人的第一，第二和第三驱动元件。 该方法还包括将第一驱动元件从第一侧移动到阈值上并将第二驱动元件移动到阈值上以将第一和第二驱动元件都置于阈值上。 该方法包括将第一驱动元件移离阈值的第二侧，与阈值的第一侧相反，并将第三驱动元件移动到阈值上，将第二和第三驱动元件都置于阈值上。 该方法包括将第二和第三驱动元件移动离开阈值的第二侧。

公开(公告)号：US20070062452A1

公开(公告)日：2007-03-22

申请号：US11602134

申请日：2006-11-20

申请人： Ian Pancham ,  Michael Rosenstein ,  Leif DeLaurentis ,  Allen Lau ,  Praburam Gopalraja ,  James Gogh

发明人： Ian Pancham ,  Michael Rosenstein ,  Leif DeLaurentis ,  Allen Lau ,  Praburam Gopalraja ,  James Gogh

IPC分类号： C23C16/00

CPC分类号： H01J37/321 ,  H01J37/32495 ,  H01J37/3408

摘要： A coil has an integral fastener portion to facilitate fastening the coil to a shield wall to reduce generation of particulates.

摘要翻译： 线圈具有一体的紧固件部分，以便于将线圈紧固到屏蔽壁以减少微粒的产生。

公开(公告)号：US07097744B2

公开(公告)日：2006-08-29

申请号：US10460865

申请日：2003-06-12

申请人： Alan Barry Liu ,  Marc O. Schweitzer ,  James Stephen Van Gogh ,  Michael Rosenstein ,  Jennifer L. Watia ,  Xinyu Zhang ,  Yoichiro Tanaka ,  John C. Forster ,  Anthony Chen

发明人： Alan Barry Liu ,  Marc O. Schweitzer ,  James Stephen Van Gogh ,  Michael Rosenstein ,  Jennifer L. Watia ,  Xinyu Zhang ,  Yoichiro Tanaka ,  John C. Forster ,  Anthony Chen

IPC分类号： C23C14/35

CPC分类号： H01J37/3441 ,  H01J37/34

摘要： In one embodiment, a target alignment surface disposed on a target support mechanically engages a darkspace shield alignment surface disposed on a darkspace shield as the target is lodged into a chamber body. The respective alignment surfaces are shaped and positioned so that the darkspace shield is physically moved to a desired aligned position as the alignment surfaces engage each other. In this manner a darkspace shield may be directly aligned to a target within a semiconductor fabrication chamber to provide a suitable darkspace gap between the target and the darkspace shield.

摘要翻译： 在一个实施例中，设置在目标支架上的目标对准表面机械地接合设置在黑暗空间屏蔽上的暗空屏蔽对准表面，因为目标被放置在腔体中。 相应的对准表面被成形和定位成使得当对准表面彼此接合时，暗区屏蔽件物理地移动到期望的对准位置。 以这种方式，暗区屏蔽可以直接对齐到半导体制造室内的靶，以在靶和暗空间屏蔽之间提供合适的暗空隙。

公开(公告)号：US06660134B1

公开(公告)日：2003-12-09

申请号：US09113577

申请日：1998-07-10

申请人： Praburam Gopalraja ,  Zheng Xu ,  Michael Rosenstein ,  John C. Forster

发明人： Praburam Gopalraja ,  Zheng Xu ,  Michael Rosenstein ,  John C. Forster

IPC分类号： C23C1400

CPC分类号： H01J37/321

摘要： A coil for inductively coupling RF energy to a plasma in a substrate processing chamber has adjacent spaced and circumferentially overlapping RF feedthroughs adjacent to overlapping ends to improve uniformity of processing of the substrate.

摘要翻译： 用于将RF能量感应耦合到衬底处理室中的等离子体的线圈具有与重叠端相邻的相邻间隔开的和周向重叠的RF馈通，以提高衬底的处理的均匀性。

公开(公告)号：US20120185095A1

公开(公告)日：2012-07-19

申请号：US13032370

申请日：2011-02-22

申请人： Michael Rosenstein ,  Chikyung Won ,  Geoffrey B. Lansberry ,  Steven V. Shamlian ,  Michael Halloran ,  Mark Chiappetta ,  Thomas P. Allen

发明人： Michael Rosenstein ,  Chikyung Won ,  Geoffrey B. Lansberry ,  Steven V. Shamlian ,  Michael Halloran ,  Mark Chiappetta ,  Thomas P. Allen

IPC分类号： B25J13/08 ,  G05B15/00 ,  B25J19/02 ,  B25J19/04

CPC分类号： B25J13/084 ,  B25J5/007 ,  G05D1/0227 ,  G05D1/024 ,  G05D1/0251 ,  G05D1/0255 ,  G05D1/0272 ,  G05D1/0274 ,  G05D2201/0206 ,  G05D2201/0211 ,  Y10S901/01

摘要： A mobile human interface robot that includes a base defining a vertical center axis and a forward drive direction and a holonomic drive system supported by the base. The drive system has first, second, and third driven drive wheels, each trilaterally spaced about the vertical center axis and having a drive direction perpendicular to a radial axis with respect to the vertical center axis. The robot further includes a controller in communication with the holonomic drive system, a torso supported above the base, and a touch sensor system in communication with the controller. The touch sensor system is responsive to human contact. The controller issues drive commands to the holonomic drive system based on a touch signal received from the touch sensor system.

摘要翻译： 一种移动人机接口机器人，其包括限定垂直中心轴线和向前驱动方向的基座和由基座支撑的整体驱动系统。 驱动系统具有第一，第二和第三从动驱动轮，每个三轴驱动轮围绕垂直中心轴线三边隔开，并具有垂直于垂直中心轴线的径向轴线的驱动方向。 机器人还包括与整体驱动系统通信的控制器，支撑在基座上方的躯干以及与控制器通信的触摸传感器系统。 触摸传感器系统响应人的接触。 控制器基于从触摸传感器系统接收的触摸信号向整体驱动系统发出驱动命令。

公开(公告)号：US07371285B2

公开(公告)日：2008-05-13

申请号：US10804300

申请日：2004-03-19

申请人： Michael Rosenstein ,  Alex Shenderovich ,  Marc O. Schweitzer ,  Ilya Lavitsky ,  Alvin Lau ,  Michael Feltsman

发明人： Michael Rosenstein ,  Alex Shenderovich ,  Marc O. Schweitzer ,  Ilya Lavitsky ,  Alvin Lau ,  Michael Feltsman

IPC分类号： C23C16/00 ,  C23C14/00 ,  H01L21/00 ,  C25B11/00

CPC分类号： H01J37/32458 ,  C23C14/35 ,  C23C16/44 ,  E05F15/614 ,  E05F15/622 ,  E05Y2900/00 ,  E05Y2900/60

摘要： A semiconductor processing chamber having a motorized lid is provided. In one embodiment, the semiconductor processing chamber generally includes a chamber body having sidewalls and a bottom defining an interior volume. A lid assembly is coupled to the chamber body and is movable between a first position that encloses the interior volume and a second position. A hinge assembly thereto is coupled between the lid assembly and the chamber body. A motor is coupled to the hinge assembly to facilitate moving the lid assembly between the first position and the second position.

摘要翻译： 提供具有电动盖的半导体处理室。 在一个实施例中，半导体处理室通常包括具有限定内部空间的侧壁和底部的室主体。 盖组件联接到室主体并且可在包围内部容积的第一位置和第二位置之间移动。 其铰链组件连接在盖组件和腔体之间。 电动机联接到铰链组件以便于在第一位置和第二位置之间移动盖组件。

公开(公告)号：US20050133365A1

公开(公告)日：2005-06-23

申请号：US10942273

申请日：2004-09-16

申请人： Ilyoung Hong ,  Donny Young ,  Michael Rosenstein ,  Robert Lowrance ,  Daniel Lubben ,  Michael Miller ,  Peijun Ding ,  Sreekrishnan Sankaranarayan ,  Goichi Yoshidome

发明人： Ilyoung Hong ,  Donny Young ,  Michael Rosenstein ,  Robert Lowrance ,  Daniel Lubben ,  Michael Miller ,  Peijun Ding ,  Sreekrishnan Sankaranarayan ,  Goichi Yoshidome

IPC分类号： C23C14/32 ,  C23C14/34 ,  C23C14/35 ,  C23C14/54 ,  H01J37/34

CPC分类号： C23C14/3407 ,  C23C14/35 ,  C23C14/54 ,  H01J37/3408 ,  H01J37/3455

摘要： A lift mechanism for and a corresponding use of a magnetron in a plasma sputter reactor. A magnetron rotating about the target axis is controllably lifted away from the back of the target to compensate for sputter erosion, thereby maintaining a constant magnetic field and resultant plasma density at the sputtered surface, which is particularly important for stable operation with a small magnetron, for example, one executing circular or planetary motion about the target axis. The lift mechanism can include a lead screw axially fixed to the magnetron support shaft and a lead nut engaged therewith to raise the magnetron as the lead nut is turned. Alternatively, the support shaft is axially fixed to a vertically moving slider. The amount of lift may be controlled according a recipe based on accumulated power applied to the target or by monitoring electrical characteristics of the target.

摘要翻译： 用于等离子体溅射反应器中的磁控管的升降机构和相应的使用。 围绕目标轴旋转的磁控管被可控地从目标的背面提升，以补偿溅射侵蚀，从而在溅射表面保持恒定的磁场和合成的等离子体密度，这对于使用小的磁控管的稳定操作特别重要， 例如，一个执行关于目标轴的圆形或行星运动。 升降机构可以包括轴向固定到磁控管支撑轴的导螺杆和与其接合的导螺母，以在导螺母转动时升高磁控管。 或者，支撑轴轴向固定到垂直移动的滑块。 可以根据基于施加到目标的累积功率的配方或通过监视目标的电气特性来控制升力量。

公开(公告)号：USD450070S1

公开(公告)日：2001-11-06

申请号：US29090618

申请日：1998-07-13

申请人： Praburam Gopalraja ,  Zheng Xu ,  Michael Rosenstein ,  John C. Forster

设计人： Praburam Gopalraja ,  Zheng Xu ,  Michael Rosenstein ,  John C. Forster

公开(公告)号：US08918213B2

公开(公告)日：2014-12-23

申请号：US13032370

申请日：2011-02-22

申请人： Michael Rosenstein ,  Chikyung Won ,  Geoffrey B. Lansberry ,  Steven V. Shamlian ,  Michael Halloran ,  Mark Chiappetta ,  Thomas P. Allen

发明人： Michael Rosenstein ,  Chikyung Won ,  Geoffrey B. Lansberry ,  Steven V. Shamlian ,  Michael Halloran ,  Mark Chiappetta ,  Thomas P. Allen

IPC分类号： G06F19/00 ,  G05B15/00 ,  G05B19/00 ,  B25J13/08 ,  B25J5/00 ,  G05D1/02

CPC分类号： B25J13/084 ,  B25J5/007 ,  G05D1/0227 ,  G05D1/024 ,  G05D1/0251 ,  G05D1/0255 ,  G05D1/0272 ,  G05D1/0274 ,  G05D2201/0206 ,  G05D2201/0211 ,  Y10S901/01

摘要： A mobile human interface robot that includes a base defining a vertical center axis and a forward drive direction and a holonomic drive system supported by the base. The drive system has first, second, and third driven drive wheels, each trilaterally spaced about the vertical center axis and having a drive direction perpendicular to a radial axis with respect to the vertical center axis. The robot further includes a controller in communication with the holonomic drive system, a torso supported above the base, and a touch sensor system in communication with the controller. The touch sensor system is responsive to human contact. The controller issues drive commands to the holonomic drive system based on a touch signal received from the touch sensor system.

摘要翻译： 一种移动人机接口机器人，其包括限定垂直中心轴线和向前驱动方向的基座和由基座支撑的整体驱动系统。 驱动系统具有第一，第二和第三从动驱动轮，每个三轴驱动轮围绕垂直中心轴线三边隔开，并具有垂直于垂直中心轴线的径向轴线的驱动方向。 机器人还包括与整体驱动系统通信的控制器，支撑在基座上方的躯干以及与控制器通信的触摸传感器系统。 触摸传感器系统响应人的接触。 控制器基于从触摸传感器系统接收的触摸信号向整体驱动系统发出驱动命令。