公开(公告)号：US5482002A

公开(公告)日：1996-01-09

申请号：US87537

申请日：1993-07-08

申请人： Hisaaki Kawade ,  Haruki Kawada ,  Kunihiro Sakai ,  Hiroshi Matsuda ,  Yuko Morikawa ,  Yoshihiro Yanagisawa ,  Tetsuya Kaneko ,  Toshimitsu Kawase ,  Hideya Kumomi ,  Hiroyasu Nose ,  Eigo Kawakami

发明人： Hisaaki Kawade ,  Haruki Kawada ,  Kunihiro Sakai ,  Hiroshi Matsuda ,  Yuko Morikawa ,  Yoshihiro Yanagisawa ,  Tetsuya Kaneko ,  Toshimitsu Kawase ,  Hideya Kumomi ,  Hiroyasu Nose ,  Eigo Kawakami

IPC分类号： C30B25/04 ,  G01N27/00 ,  G01Q30/04 ,  G01Q60/00 ,  G01Q70/08 ,  G11B9/00

CPC分类号： G01Q70/10 ,  B82Y35/00 ,  G01Q60/16 ,  B82Y10/00 ,  G01Q80/00 ,  Y10S117/913 ,  Y10S977/70 ,  Y10S977/861 ,  Y10S977/947 ,  Y10S977/949

摘要： A microprobe is provided which comprises a single crystal provided on a part of one main surface of a substrate or a part of a thin film formed on one main surface of the substrate. The microprobe may have a single crystal having an apex portion surrounded by facets having a specific plane direction and comprising a specific crystal face. The method for preparing the microprobe and an electronic device employing the microprobe also provided which is useful for recording and reproducing.

公开(公告)号：US5994698A

公开(公告)日：1999-11-30

申请号：US240216

申请日：1994-05-09

申请人： Hisaaki Kawade ,  Haruki Kawada ,  Kunihiro Sakai ,  Hiroshi Matsuda ,  Yuko Morikawa ,  Yoshihiro Yanagisawa ,  Tetsuya Kaneko ,  Toshimitsu Kawase ,  Hideya Kumomi ,  Hiroyasu Nose ,  Eigo Kawakami

发明人： Hisaaki Kawade ,  Haruki Kawada ,  Kunihiro Sakai ,  Hiroshi Matsuda ,  Yuko Morikawa ,  Yoshihiro Yanagisawa ,  Tetsuya Kaneko ,  Toshimitsu Kawase ,  Hideya Kumomi ,  Hiroyasu Nose ,  Eigo Kawakami

IPC分类号： G01Q70/14 ,  G01Q60/16 ,  G01Q70/10 ,  G01Q80/00 ,  H01J37/28

CPC分类号： G01Q60/16 ,  B82Y35/00 ,  G01Q70/10 ,  B82Y10/00 ,  G01Q80/00 ,  Y10S977/874

摘要： A microprobe is provided which comprises a single crystal provided on a part of one main surface of a substrate or a part of a thin film formed on one main surface of the substrate. The microprobe may have a single crystal having an apex portion surrounded by facets having a specific plane direction and comprising a specific crystal face. The method for preparing the microprobe and an electronic device employing the microprobe also provided which is useful for recording and reproducing.

摘要翻译： 提供了一种微探针，其包括设置在基板的一个主表面的一部分上的单晶或形成在基板的一个主表面上的薄膜的一部分。 微探针可以具有单晶，其具有由具有特定平面方向的面所包围的顶点部分，并且包括特定的晶面。 还提供了用于制备微探针的方法和采用该微探针的电子装置，其用于记录和再现。

公开(公告)号：US5072116A

公开(公告)日：1991-12-10

申请号：US610314

申请日：1990-11-09

申请人： Hisaaki Kawade ,  Haruki Kawada ,  Kunihiro Sakai ,  Hiroshi Matsuda ,  Yuko Morikawa ,  Yoshihiro Yanagisawa ,  Tetsuya Kaneko ,  Toshimitsu Kawase ,  Hideya Kumomi ,  Hiroyasu Nose ,  Eigo Kawakami

发明人： Hisaaki Kawade ,  Haruki Kawada ,  Kunihiro Sakai ,  Hiroshi Matsuda ,  Yuko Morikawa ,  Yoshihiro Yanagisawa ,  Tetsuya Kaneko ,  Toshimitsu Kawase ,  Hideya Kumomi ,  Hiroyasu Nose ,  Eigo Kawakami

IPC分类号： G01N27/00 ,  G01Q60/16 ,  G01Q70/10 ,  G01Q70/14 ,  G01Q80/00 ,  G11B9/00 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC分类号： G01Q60/16 ,  B82Y35/00 ,  G01Q70/10 ,  B82Y10/00 ,  G01Q80/00 ,  Y10S977/878 ,  Y10S977/879

摘要： A microprobe is constituted by a single crystal having an apex portion surrounded by facets having specific place directions and having specific crystal faces. The microprobe is provided on a part of a main surface of a substrate or a part of a thin film formed on the main surface. In one embodiment the microprobe is provided with a source electrode, a gate electrode, a drain electrode and a thin resistance, so as to form an MOS transistor for amplifying the microprobe.

公开(公告)号：US5255258A

公开(公告)日：1993-10-19

申请号：US643209

申请日：1991-01-18

申请人： Hisaaki Kawade ,  Haruki Kawada ,  Kunihiro Sakai ,  Hiroshi Matsuda ,  Yuko Morikawa ,  Yoshihiro Yanagisawa ,  Tetsuya Kaneko ,  Toshimitsu Kawase ,  Hideya Kumomi ,  Hiroyasu Nose ,  Eigo Kawakami

发明人： Hisaaki Kawade ,  Haruki Kawada ,  Kunihiro Sakai ,  Hiroshi Matsuda ,  Yuko Morikawa ,  Yoshihiro Yanagisawa ,  Tetsuya Kaneko ,  Toshimitsu Kawase ,  Hideya Kumomi ,  Hiroyasu Nose ,  Eigo Kawakami

IPC分类号： C30B25/04 ,  G01N27/00 ,  G01Q30/04 ,  G01Q60/00 ,  G01Q70/08 ,  G11B9/00

CPC分类号： G01Q70/10 ,  B82Y35/00 ,  G01Q60/16 ,  B82Y10/00 ,  G01Q80/00 ,  Y10S117/913 ,  Y10S977/70 ,  Y10S977/861 ,  Y10S977/947 ,  Y10S977/949

摘要： A microprobe is provided which comprises a single crystal provided on a part of one main surface of a substrate or a part of a thin film formed on one main surface of the substrate. The microprobe may have a single crystal having an apex portion surrounded by facets having a specific plane direction and comprising a specific crystal face. The method for preparing the microprobe and an electronic device employing the microprobe also provided which is useful for recording and reproducing.

摘要翻译： 提供了一种微探针，其包括设置在基板的一个主表面的一部分上的单晶或形成在基板的一个主表面上的薄膜的一部分。 微探针可以具有单晶，其具有由具有特定平面方向的面所包围的顶点部分，并且包括特定的晶面。 还提供了用于制备微探针的方法和采用该微探针的电子装置，其用于记录和再现。

公开(公告)号：US5721721A

公开(公告)日：1998-02-24

申请号：US589473

申请日：1996-01-22

申请人： Yoshihiro Yanagisawa ,  Yuko Morikawa ,  Hiroshi Matsuda ,  Haruki Kawada ,  Kunihiro Sakai ,  Hisaaki Kawade ,  Ken Eguchi ,  Eigo Kawakami ,  Toshimitsu Kawase ,  Minoru Yoshii ,  Kenji Saitoh ,  Akihiko Yamano ,  Hiroyasu Nose

发明人： Yoshihiro Yanagisawa ,  Yuko Morikawa ,  Hiroshi Matsuda ,  Haruki Kawada ,  Kunihiro Sakai ,  Hisaaki Kawade ,  Ken Eguchi ,  Eigo Kawakami ,  Toshimitsu Kawase ,  Minoru Yoshii ,  Kenji Saitoh ,  Akihiko Yamano ,  Hiroyasu Nose

IPC分类号： G01B7/00 ,  G01D5/244 ,  G01D5/245 ,  G01Q10/00 ,  G01Q20/04 ,  G01Q60/00 ,  G01Q60/10 ,  G01Q70/06 ,  G11B9/00 ,  G11B7/00

CPC分类号： G01D5/244 ,  G01B7/003 ,  G01D5/2451 ,  G11B9/1418 ,  G11B9/1427 ,  G11B9/1481 ,  B82Y10/00 ,  G01Q10/06 ,  G01Q60/16 ,  G01Q80/00 ,  G11B9/1472 ,  Y10S977/851 ,  Y10S977/861 ,  Y10S977/947

摘要： An encoder includes an electrically conductive reference scale having surface steps formed at predetermined positions; an electrically conductive probe having a tip disposed opposed to the reference scale; wherein the reference scale and the probe are relatively movable in a direction different from the opposing direction of the tip of the probe and the reference scale; a portion for applying an electrical voltage to between the reference scale and the probe; a portion for detecting a change in a tunnel current between the reference scale and the probe, to between which the electric voltage is applied by the voltage applying portion at the time of the relative movement between the scale and the probe, the detecting portion detecting the change in the tunnel current when the probe passes a position opposed to a surface step of the reference scale; and portion for detecting the amount of the relative movement between the scale and probe, on the basis of the detection by the change detecting portion.

摘要翻译： 编码器包括具有形成在预定位置处的表面台阶的导电参考标尺; 导电探针，其具有与参考标尺相对设置的尖端; 其中所述参考标尺和所述探针在与所述探针的尖端和所述参考标尺的相反方向不同的方向上相对移动; 用于将电压施加到参考标尺和探针之间的部分; 用于检测参考标尺和探针之间的隧道电流变化的部分，在标尺和探头之间的相对移动时由电压施加部施加电压，检测部分检测 当探针经过与参考刻度的表面台阶相对的位置时隧道电流的变化; 以及用于根据变化检测部分的检测来检测标尺和探针之间的相对移动量的部分。

公开(公告)号：US5519686A

公开(公告)日：1996-05-21

申请号：US438079

申请日：1995-05-08

申请人： Yoshihiro Yanagisawa ,  Yuko Morikawa ,  Hiroshi Matsuda ,  Haruki Kawada ,  Kunihiro Sakai ,  Hisaaki Kawade ,  Ken Eguchi ,  Eigo Kawakami ,  Toshimitsu Kawasa ,  Minoru Yoshii ,  Kenji Saitoh ,  Akihiko Yamano ,  Hiroyasu Nose

发明人： Yoshihiro Yanagisawa ,  Yuko Morikawa ,  Hiroshi Matsuda ,  Haruki Kawada ,  Kunihiro Sakai ,  Hisaaki Kawade ,  Ken Eguchi ,  Eigo Kawakami ,  Toshimitsu Kawasa ,  Minoru Yoshii ,  Kenji Saitoh ,  Akihiko Yamano ,  Hiroyasu Nose

IPC分类号： G01B7/00 ,  G01D5/244 ,  G01D5/245 ,  G01Q10/00 ,  G01Q20/04 ,  G01Q60/00 ,  G01Q60/10 ,  G01Q70/06 ,  G11B9/00 ,  G11B7/00

CPC分类号： G01D5/244 ,  G01B7/003 ,  G01D5/2451 ,  G11B9/1418 ,  G11B9/1427 ,  G11B9/1481 ,  B82Y10/00 ,  G01Q10/06 ,  G01Q60/16 ,  G01Q80/00 ,  G11B9/1472 ,  Y10S977/851 ,  Y10S977/861 ,  Y10S977/947

摘要： An encoder includes an electrically conductive reference scale having surface steps formed at predetermined positions; an electrically conductive probe having a tip disposed opposed to the reference scale; wherein the reference scale and the probe are relatively movable in a direction different from the opposing direction of the tip of the probe and the reference scale; a portion for applying an electrical voltage to between the reference scale and the probe; a portion for detecting a change in a tunnel current between the reference scale and the probe, to between which the electric voltage is applied by the voltage applying portion at the time of the relative movement between the scale and the probe, the detecting portion detecting the change in the tunnel current when the probe passes a position opposed to a surface step of the reference scale; and portion for detecting the amount of the relative movement between the scale and probe, on the basis of the detection by the change detecting portion.

摘要翻译： 编码器包括具有形成在预定位置处的表面台阶的导电参考标尺; 导电探针，其具有与参考标尺相对设置的尖端; 其中所述参考标尺和所述探针在与所述探针的尖端和所述参考标尺的相反方向不同的方向上相对移动; 用于将电压施加到参考标尺和探针之间的部分; 用于检测参考标尺和探针之间的隧道电流变化的部分，在标尺和探头之间的相对移动时由电压施加部施加电压，检测部分检测 当探针经过与参考刻度的表面台阶相对的位置时隧道电流的变化; 以及用于根据变化检测部分的检测来检测标尺和探针之间的相对移动量的部分。

公开(公告)号：US08393885B2

公开(公告)日：2013-03-12

申请号：US12120710

申请日：2008-05-15

申请人： Kazuyuki Kasumi ,  Hirohisa Ota ,  Eigo Kawakami ,  Takashi Nakamura ,  Toshinobu Tokita

发明人： Kazuyuki Kasumi ,  Hirohisa Ota ,  Eigo Kawakami ,  Takashi Nakamura ,  Toshinobu Tokita

IPC分类号： B29C59/00 ,  B29C59/02 ,  H01L21/302

CPC分类号： B29C43/021 ,  B29C43/003 ,  B29C43/04 ,  B29C43/14 ,  B29C2043/025 ,  B29C2043/142 ,  B29C2043/3438 ,  B29C2043/3634 ,  B29L2011/0016 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002

摘要： A processing apparatus for transferring a relief pattern on a mold to a resist on a substrate through a compression of the mold against the resist, includes a supplier for supplying the resist between the substrate and the mold, and a recovery unit for recovering the resist.

摘要翻译： 一种处理装置，用于通过将模具压靠在抗蚀剂上将模具上的凸版图案转印到基板上的抗蚀剂上，包括用于在基板和模具之间供应抗蚀剂的供应商和用于回收抗蚀剂的回收单元。

公开(公告)号：US20100314798A1

公开(公告)日：2010-12-16

申请号：US12816881

申请日：2010-06-16

申请人： Eigo Kawakami

发明人： Eigo Kawakami

IPC分类号： B29C59/02 ,  B28B11/08

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

摘要： An imprint apparatus, which performs an imprint process for forming a pattern of a mold on a resin coated on a substrate, includes an imaging unit configured to image the resin on which the pattern is formed, and a controller configured to control the imprint process. When the pattern is continuously formed on the substrate, the controller compares an image of at least a partial area imaged by the imaging unit and an image of a reference state, which is obtained in advance, and when patterns each having a difference, which falls outside an allowable range, between the images are continuously formed, it determines a transfer error.

摘要翻译： 执行用于在涂覆在基板上的树脂上形成模具图案的压印工艺的压印装置包括：成像单元，被配置为对形成有图案的树脂进行成像;以及控制器，被配置为控制压印处理。 当在基板上连续地形成图案时，控制器将由成像单元成像的至少一部分区域和预先获得的基准状态的图像以及各自具有差异的图案进行比较 在允许范围之外，图像之间连续形成，确定传送错误。

公开(公告)号：US07815424B2

公开(公告)日：2010-10-19

申请号：US11297031

申请日：2005-12-07

申请人： Takashi Nakamura ,  Hirohisa Ota ,  Eigo Kawakami ,  Kazuyuki Kasumi ,  Toshinobu Tokita

发明人： Takashi Nakamura ,  Hirohisa Ota ,  Eigo Kawakami ,  Kazuyuki Kasumi ,  Toshinobu Tokita

IPC分类号： B29C59/02

CPC分类号： G03F9/703 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F9/7042 ,  G03F9/7049

摘要： An imprinting machine that brings a mold having a pattern into contact with an object and transfers the pattern onto the object includes a measurement unit that measures a position of the mold when the mold contacts the object.

摘要翻译： 使具有图案的模具与物体接触并将图案转印到物体上的压印机包括测量单元，其在模具接触物体时测量模具的位置。

公开(公告)号：US07233383B2

公开(公告)日：2007-06-19

申请号：US11112695

申请日：2005-04-21

申请人： Toshinobu Tokita ,  Hirohisa Ota ,  Eigo Kawakami ,  Takashi Nakamura ,  Kazuyuki Kasumi

发明人： Toshinobu Tokita ,  Hirohisa Ota ,  Eigo Kawakami ,  Takashi Nakamura ,  Kazuyuki Kasumi

IPC分类号： G03B27/52

CPC分类号： G03F7/70916 ,  G03F7/70291 ,  G03F7/70691

摘要： An exposure apparatus for exposing a predetermined pattern onto an object via a projection optical system includes a pattern generating unit that includes plural pixels, and generates the predetermined pattern by driving the plural pixels, a measuring unit for measuring at least one of optical performance of the pattern generating unit and a driving state of the plural pixels, and a maintenance unit for maintaining the pattern generating unit based on a measuring result by the measuring unit.

摘要翻译： 一种用于经由投影光学系统将预定图案曝光到物体上的曝光装置包括：图形生成单元，包括多个像素，并通过驱动多个像素产生预定图案;测量单元，用于测量至少一个光学性能 图案生成单元和多个像素的驱动状态，以及维护单元，用于基于测量单元的测量结果来维持图案生成单元。