公开(公告)号：US20060245897A1

公开(公告)日：2006-11-02

申请号：US11375441

申请日：2006-03-15

申请人： Kazuo Hariki ,  Masaru Oda ,  Yoshinori Ochiishi ,  Tetsuji Ueda

发明人： Kazuo Hariki ,  Masaru Oda ,  Yoshinori Ochiishi ,  Tetsuji Ueda

IPC分类号： B66C23/00

CPC分类号： B25J9/046 ,  B25J17/0283

摘要： A robot handling system using a robot hand to convey a workpiece, provided with a first wrist element at a front end of an arm of the robot, a second wrist element perpendicular to this, a third wrist element perpendicular to this, and a connecting means connecting the third wrist element and a hand body of the robot hand, the hand body being arranged so that an inertia moment of the hand body about a vertical axial line becomes larger than the inertia moments of the hand body about two mutually perpendicular horizontal axial lines, the connecting means connects the third wrist element and hand body so that a third axial line of the third wrist element and the hand body are arranged in a horizontal plane, and a posture of the hand body is changed about the vertical axial line in the state with the third axial line of the third wrist element arranged in a horizontal plane. Due to this, the robot hand can be made to rotate over the limit of the allowable inertia moment.

摘要翻译： 一种使用机器人手来传送工件的机器人处理系统，在机器人的臂的前端设置有第一腕部元件，与其垂直的第二腕部，与其垂直的第三腕部，以及连接装置 连接第三腕部和机器人手的手部，手主体被布置成使得手主体围绕垂直轴线的惯性力矩大于手部围绕两个相互垂直的水平轴线的惯性力矩 所述连接装置将所述第三腕部和所述手柄连接，使得所述第三腕部和所述手部的第三轴线配置在水平面上，并且所述手指的姿势围绕所述手指的垂直轴线变化 状态，其中第三腕部的第三轴线布置在水平面中。 因此，可以使机器人手旋转超过容许惯性力矩的极限。

公开(公告)号：US08635886B2

公开(公告)日：2014-01-28

申请号：US13558698

申请日：2012-07-26

申请人： Tetsuji Ueda ,  Michinari Ohuchi ,  Hiroyuki Nishimura ,  Akira Fujinoki ,  Masahiro Nakatsuka ,  Hidetsugu Yoshida

发明人： Tetsuji Ueda ,  Michinari Ohuchi ,  Hiroyuki Nishimura ,  Akira Fujinoki ,  Masahiro Nakatsuka ,  Hidetsugu Yoshida

IPC分类号： C03B37/00 ,  C03B20/00

CPC分类号： C03B19/1438 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/40 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0071 ,  C03C4/085 ,  C03C4/12 ,  C03C23/0095 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/40 ,  C03C2203/44

摘要： It is an object of the present invention to provide a copper-containing silica glass which emits fluorescence having a peak in a wavelength range of from 520 nm to 580 nm under irradiation of ultraviolet light with a wavelength of 400 nm or less, and which is excellent in long term stability even in the high output use. The copper-containing silica glass is made to have copper of from 5 wtppm to 200 wtppm, which emits fluorescence having a peak in a wavelength range of from 520 nm to 580 nm under irradiation of ultraviolet light with a wavelength ranging from 160 nm to 400 nm, and in which an internal transmittance per 2.5 mm thickness at a wavelength of 530 nm is 95% or more.

摘要翻译： 本发明的目的是提供一种在400nm以下的紫外线照射下发射波长范围为520nm〜580nm的荧光的含铜石英玻璃，其为 即使在高产量使用方面，长期稳定性也优异。 含铜二氧化硅玻璃被制成具有5重量ppm至200重量ppm的铜，其在波长范围为160nm至400nm的紫外线照射下发射波长范围为520nm至580nm的峰值的荧光 nm，并且其中在波长530nm处每2.5mm厚的内部透射率为95％以上。

公开(公告)号：US20130283858A1

公开(公告)日：2013-10-31

申请号：US13920628

申请日：2013-06-18

申请人： Shigeru Maida ,  Hisatoshi Otsuka ,  Tetsuji Ueda ,  Masanobu Ezaki

发明人： Shigeru Maida ,  Hisatoshi Otsuka ,  Tetsuji Ueda ,  Masanobu Ezaki

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G03F7/2008 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/12 ,  C03B2207/36 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/06 ,  G03F1/24

摘要： Methods for selecting titania-doped quartz glass which experiences a reduction in OH group concentration of less than or equal to 100 ppm upon heat treatment at 900° C. for 100 hours as suitable material for the EUV lithography member.

摘要翻译： 用于选择在900℃热处理100小时时氧化铝基团浓度小于或等于100ppm的掺杂二氧化钛的石英玻璃作为EUV光刻元件的合适材料的方法。

公开(公告)号：US20120291488A1

公开(公告)日：2012-11-22

申请号：US13558698

申请日：2012-07-26

申请人： Tetsuji Ueda ,  Michinari Ohuchi ,  Hiroyuki Nishimura ,  Akira Fujinoki ,  Masahiro Nakatsuka ,  Hidetsugu Yoshida

发明人： Tetsuji Ueda ,  Michinari Ohuchi ,  Hiroyuki Nishimura ,  Akira Fujinoki ,  Masahiro Nakatsuka ,  Hidetsugu Yoshida

IPC分类号： C03C4/12 ,  C03C21/00 ,  C03B20/00

CPC分类号： C03B19/1438 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/40 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0071 ,  C03C4/085 ,  C03C4/12 ,  C03C23/0095 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/40 ,  C03C2203/44

摘要： It is an object of the present invention to provide a copper-containing silica glass which emits fluorescence having a peak in a wavelength range of from 520 nm to 580 nm under irradiation of ultraviolet light with a wavelength of 400 nm or less, and which is excellent in long term stability even in the high output use. The copper-containing silica glass is made to have copper of from 5 wtppm to 200 wtppm, which emits fluorescence having a peak in a wavelength range of from 520 nm to 580 nm under irradiation of ultraviolet light with a wavelength ranging from 160 nm to 400 nm, and in which an internal transmittance per 2.5 mm thickness at a wavelength of 530 nm is 95% or more.

摘要翻译： 本发明的目的是提供一种在400nm以下的紫外线照射下发射波长范围为520nm〜580nm的荧光的含铜石英玻璃，其为 即使在高产量使用方面，长期稳定性也优异。 含铜二氧化硅玻璃被制成具有5重量ppm至200重量ppm的铜，其在波长范围为160nm至400nm的紫外线照射下发射波长范围为520nm至580nm的峰值的荧光 nm，并且其中在波长530nm处每2.5mm厚的内部透射率为95％以上。

公开(公告)号：US20100109509A1

公开(公告)日：2010-05-06

申请号：US12595605

申请日：2008-04-28

申请人： Tetsuji Ueda ,  Michinari Ohuchi ,  Hiroyuki Nishimura ,  Akira Fujinoki ,  Masahiro Nakatsuka ,  Hidetsugu Yoshida

发明人： Tetsuji Ueda ,  Michinari Ohuchi ,  Hiroyuki Nishimura ,  Akira Fujinoki ,  Masahiro Nakatsuka ,  Hidetsugu Yoshida

IPC分类号： H01J17/16 ,  B05D3/02 ,  C03C3/04

CPC分类号： C03B19/1438 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/40 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0071 ,  C03C4/085 ,  C03C4/12 ,  C03C23/0095 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/40 ,  C03C2203/44

摘要： It is an object of the present invention to provide a copper-containing silica glass which emits fluorescence having a peak in a wavelength range of from 520 nm to 580 nm under irradiation of ultraviolet light with a wavelength of 400 nm or less, and which is excellent in long term stability even in the high output use.The copper-containing silica glass is made to have copper of from 5 wtppm to 200 wtppm, which emits fluorescence having a peak in a wavelength range of from 520 nm to 580 nm under irradiation of ultraviolet light with a wavelength ranging from 160 nm to 400 nm, and in which an internal transmittance per 2.5 mm thickness at a wavelength of 530 nm is 95% or more.

摘要翻译： 本发明的目的是提供一种在400nm以下的紫外线照射下发射波长范围为520nm〜580nm的荧光的含铜石英玻璃，其为 即使在高产量使用方面，长期稳定性也优异。 含铜二氧化硅玻璃被制成具有5重量ppm至200重量ppm的铜，其在波长范围为160nm至400nm的紫外线照射下发射波长范围为520nm至580nm的峰值的荧光 nm，并且其中在波长530nm处每2.5mm厚的内部透射率为95％以上。

公开(公告)号：US06578382B2

公开(公告)日：2003-06-17

申请号：US09821352

申请日：2001-03-28

申请人： Tetsuji Ueda ,  Akira Fujinoki ,  Hiroyuki Nishimura

发明人： Tetsuji Ueda ,  Akira Fujinoki ,  Hiroyuki Nishimura

IPC分类号： C03C1500

CPC分类号： C03B19/1453 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/21 ,  C03C23/007 ,  Y10S65/08 ,  Y10S65/90

摘要： A method for heat treating a synthetic quartz glass for optical use in a heating furnace, that comprises covering the surroundings of a synthetic quartz glass body with a SiO2 powder having a mean dissolved hydrogen molecule concentration of 1×1019 molecules/cm3 or higher, and then heat treating the body.

摘要翻译： 一种用于热处理在加热炉中用于光学的合成石英玻璃的方法，其包括用平均溶解氢分子浓度为1×1019分/ cm 3或更高的SiO 2粉末覆盖合成石英玻璃体的周围，然后加热 治疗身体。

公开(公告)号：US20110159413A1

公开(公告)日：2011-06-30

申请号：US12967175

申请日：2010-12-14

申请人： Shigeru Maida ,  Hisatoshi Otsuka ,  Tetsuji Ueda ,  Masanobu Ezaki

发明人： Shigeru Maida ,  Hisatoshi Otsuka ,  Tetsuji Ueda ,  Masanobu Ezaki

IPC分类号： G03F1/00 ,  C03B19/00 ,  C03C3/04

CPC分类号： G03F7/2008 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/12 ,  C03B2207/36 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/06 ,  G03F1/24

摘要： A titania-doped quartz glass which experiences a reduction in OH group concentration of less than or equal to 100 ppm upon heat treatment at 900° C. for 100 hours is suitable as the EUV lithography member.

摘要翻译： 在900℃热处理100小时时，OH基浓度小于或等于100ppm的二氧化钛掺杂石英玻璃适合作为EUV光刻元件。

公开(公告)号：US06689705B2

公开(公告)日：2004-02-10

申请号：US10048309

申请日：2002-01-29

申请人： Akira Fujinoki ,  Hiroyuki Nishimura ,  Toru Yokota ,  Yasuyuki Yaginuma ,  Akira Sato ,  Tetsuji Ueda

发明人： Akira Fujinoki ,  Hiroyuki Nishimura ,  Toru Yokota ,  Yasuyuki Yaginuma ,  Akira Sato ,  Tetsuji Ueda

IPC分类号： C03C306

CPC分类号： C03B19/1453 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/21 ,  C03B2207/32 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/21 ,  C03C2203/54 ,  Y02P40/57

摘要： An object of the present invention is to provide a synthetic quartz glass optical material having a high optical transmittance for a radiation 157 nm in wavelength emitted from F2 excimer laser and a high resistance against irradiation of a F2 excimer laser radiation, yet having a uniformity suitable for such a fine patterning using a F2 excimer laser, and to provide an optical member using the same. The problems above are solved by a synthetic quartz glass optical material for F2 excimer lasers having an OH group concentration of 0.5 ppm or lower, a fluorine concentration of 0.1 to 2 mol %, a hydrogen molecule concentration of 5×1016 molecules/cm3 or lower, a difference between the maximum and minimum fluorine concentrations within 20 mol ppm, and a difference between the maximum and minimum refraction indices of 2×10−5 or lower.

摘要翻译： 本发明的目的是提供一种合成石英玻璃光学材料，其对于从F2准分子激光器发射的波长为157nm的辐射具有高的透光率，并且具有高的对F2准分子激光辐射照射的抗性，但具有适合的均匀性 对于使用F2准分子激光器的精细图案化，并提供使用其的光学部件。 上述问题由OH基浓度为0.5ppm以下，氟浓度为0.1〜2mol％，氢分子浓度为5×10 16分子/ cm 2的F2准分子激光的合成石英玻璃光学材料解决， 3>以下，最大和最小氟浓度在20mol ppm内的差异，以及最大和最小折射率之间的差异为2×10 -5或更低。

公开(公告)号：US5790732A

公开(公告)日：1998-08-04

申请号：US774423

申请日：1996-12-30

申请人： Tetsuji Ueda

发明人： Tetsuji Ueda

IPC分类号： G02B6/36 ,  G02B6/38 ,  G02B6/44 ,  C03B9/00

CPC分类号： G02B6/3835 ,  G02B6/3854 ,  G02B6/3869

摘要： An optical connector has a ferrule for accommodating an optical fiber. The ferrule includes a glass capillary and a coating. The glass capillary is formed at the distal end portion of the ferrule and is inserted in a ceramic sleeve that performs optical connection. The glass cylinder has a first through hole at the central axis portion thereof to accommodate a bare optical fiber. The coating is made of a material having a higher hardness than that of the sleeve, and coats an entire outer circumferential surface of the glass capillary. A method of manufacturing an optical connector is also disclosed.

摘要翻译： 光连接器具有用于容纳光纤的套圈。 套圈包括玻璃毛细管和涂层。 玻璃毛细管形成在套圈的远端部分，并插入进行光学连接的陶瓷套筒中。 玻璃圆筒在其中心轴部分具有第一通孔以容纳裸光纤。 该涂层由具有比套筒硬度更高的硬度的材料制成，并且涂覆玻璃毛细管的整个外圆周表面。 还公开了一种制造光连接器的方法。

公开(公告)号：US5499310A

公开(公告)日：1996-03-12

申请号：US250556

申请日：1994-05-27

申请人： Tetsuji Ueda

发明人： Tetsuji Ueda

IPC分类号： G02B6/36 ,  G02B6/38

CPC分类号： G02B6/3887 ,  G02B6/3846 ,  G02B6/3854 ,  G02B6/3861 ,  G02B6/3869

摘要： The ferrule of a simplified field assembly optical fiber connector in which adhesive material is unnecessary for assembling. The sleeve body, enclosing the rear, end portion of the capillary, is provided with a window-like and rectangular-shaped opening about its middle point. Both side surfaces of the remaining portion of the sleeve body at the window section are dented with respect to the other portion of the sleeve body. The inlaid part is made of resilient material and has the opened-rectangular-shaped inner surface, such that it can be inlaid in the outer surface of the dented portion of the sleeve body, in other words, the window section. Along the central axis of the inner surface, the inlaid part is provided with the groove throughout the whole length, such that it can press the optical fiber with jacket against the groove, when the inlaid part is fitted in the window section.

摘要翻译： 简化的现场组装光纤连接器的套圈，其中粘合材料不需要组装。 包围毛细管的后端部的套筒主体在其中点附近设置有窗状和矩形的开口。 套筒主体在窗部分的剩余部分的两个侧表面相对于套筒主体的另一部分凹陷。 嵌入部分由弹性材料制成，并且具有开口的矩形内表面，使得其可以镶嵌在套筒本体的凹陷部分的外表面，换句话说，窗口部分。 沿着内表面的中心轴线，镶嵌部分在整个长度上设置有凹槽，使得当镶嵌部分安装在窗口部分中时，可以将带有护套的护套压靠在凹槽上。