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    Focusing-device for the radiation from a light source
    1.
    发明申请
    Focusing-device for the radiation from a light source 有权
    用于来自光源的辐射的聚焦装置

    公开(公告)号：US20080297755A1

    公开(公告)日：2008-12-04

    申请号：US12218400

    申请日：2008-07-15

    申请人： Martin Antoni ,  Frank Melzer ,  Andreas Seifert ,  Wolfgang Singer

    发明人： Martin Antoni ,  Frank Melzer ,  Andreas Seifert ,  Wolfgang Singer

    IPC分类号： G03B27/54

    CPC分类号： G03F7/70058 ,  G02B5/10 ,  G02B17/02 ,  G02B27/0025 ,  G02B27/30

    摘要： A focusing-device for the radiation from a light source (2) is provided with a collector mirror (1, 1′) which is arranged in a mount (24) and collects the light, in virtual or real terms, from the light source (2) at the second focus (200). The collector mirror (1, 1′) is displaceably connected to the mount (24) via a bearing in such a way that its optical properties remain at least approximately the same even in the event of temperature changes.

    摘要翻译： 用于来自光源（2）的辐射的聚焦装置设置有集中器反射镜（1,1'），其被布置在安装件（24）中，并以虚拟或实际的方式从光源收集光 （2）在第二焦点（200）。 收集镜（1,1'）经由轴承可移动地连接到支座（24），使得即使在温度变化的情况下，它的光学特性保持至少近似相同。

    Focusing-device for the radiation from a light source
    2.
    发明授权
    Focusing-device for the radiation from a light source 有权
    用于来自光源的辐射的聚焦装置

    公开(公告)号：US06655808B2

    公开(公告)日：2003-12-02

    申请号：US09950186

    申请日：2001-09-10

    申请人： Martin Antoni ,  Frank Melzer ,  Andreas Seifert ,  Wolfgang Singer

    发明人： Martin Antoni ,  Frank Melzer ,  Andreas Seifert ,  Wolfgang Singer

    IPC分类号： G02B508

    CPC分类号： G03F7/70058 ,  G02B5/10 ,  G02B17/02 ,  G02B27/0025 ,  G02B27/30

    摘要： A focusing-device for the radiation from a light source, in particular a laser plasma source, has a collector mirror which collects the light from the light source at a second focus in virtual or real terms, in particular for micro-lithography using EUV radiation, and a routing unit and downstream beam formation in an illuminating system. The collector mirror can be displaced in the z-direction (optical axis) and is designed and/or mounted in such a way that the position of the second focus remains unchanged in the event of temperature changes.

    摘要翻译： 用于来自光源，特别是激光等离子体源的辐射的聚焦装置具有收集器反射镜，其以虚拟或实际方式在第二焦点处收集来自光源的光，特别是对于使用EUV辐射的微光刻 ，以及照明系统中的路由单元和下游波束形成。 集光镜可以在z方向（光轴）上移位，并且被设计和/或安装成使得在温度变化的情况下第二焦点的位置保持不变。

    Focusing-device for the radiation from a light source
    3.
    发明授权
    Focusing-device for the radiation from a light source 有权
    用于来自光源的辐射的聚焦装置

    公开(公告)号：US07871171B2

    公开(公告)日：2011-01-18

    申请号：US12218400

    申请日：2008-07-15

    申请人： Martin Antoni ,  Frank Melzer ,  Andreas Seifert ,  Wolfgang Singer

    发明人： Martin Antoni ,  Frank Melzer ,  Andreas Seifert ,  Wolfgang Singer

    IPC分类号： G02B5/08

    CPC分类号： G03F7/70058 ,  G02B5/10 ,  G02B17/02 ,  G02B27/0025 ,  G02B27/30

    摘要： A focusing-device for the radiation from a light source (2) is provided with a collector mirror (1, 1′) which is arranged in a mount (24) and collects the light, in virtual or real terms, from the light source (2) at the second focus (200). The collector mirror (1, 1′) is displaceably connected to the mount (24) via a bearing in such a way that its optical properties remain at least approximately the same even in the event of temperature changes.

    摘要翻译： 用于来自光源（2）的辐射的聚焦装置设置有集中器反射镜（1,1'），其被布置在安装件（24）中，并以虚拟或实际的方式从光源收集光 （2）在第二焦点（200）。 收集镜（1,1'）经由轴承可移动地连接到支座（24），使得即使在温度变化的情况下，它的光学特性保持至少近似相同。

    Mirror with a mirror carrier and projection exposure apparatus
    10.
    发明授权
    Mirror with a mirror carrier and projection exposure apparatus 有权
    镜子与镜子载体和投影曝光设备

    公开(公告)号：US08831170B2

    公开(公告)日：2014-09-09

    申请号：US11934509

    申请日：2007-11-02

    申请人： Rutger Wevers ,  Andreas Seifert ,  Joachim Hartjes ,  Guenther Dengel

    发明人： Rutger Wevers ,  Andreas Seifert ,  Joachim Hartjes ,  Guenther Dengel

    IPC分类号： G02B5/08 ,  G02B7/195 ,  G02B17/06 ,  G03F7/20

    CPC分类号： G02B17/0657 ,  G02B7/195 ,  G03F7/70891

    摘要： A mirror with a mirror carrier, as well as related apparatuses, systems and methods are disclosed. The mirror carrier can be embodied as cooling device with at least one cooling channel. Tube connections can be provided to connecting the at least one cooling channel to an inlet and an outlet of coolant. Sealing elements for a gas-tight and liquid-tight seals can be arranged between the tube connections and the mirror carrier. The field of application of the mirror can be, for example, an illumination device of a projection exposure apparatus.

    摘要翻译： 公开了具有镜载体的反射镜以及相关装置，系统和方法。 镜载体可以具有至少一个冷却通道的冷却装置。 可以提供管连接以将至少一个冷却通道连接到冷却剂的入口和出口。 用于气密和液密密封的密封元件可以布置在管连接件和镜架之间。 反射镜的应用领域可以是例如投影曝光装置的照明装置。