公开(公告)号：US06473274B1

公开(公告)日：2002-10-29

申请号：US09607413

申请日：2000-06-28

申请人： Peter J. Maimone ,  Kurt P. Wachtler ,  Tsen-Hwang Lin ,  Mark W. Heaton

发明人： Peter J. Maimone ,  Kurt P. Wachtler ,  Tsen-Hwang Lin ,  Mark W. Heaton

IPC分类号： G11B556

CPC分类号： G11B5/5552

摘要： A microactuator includes a base, first microactuator elements carried by the base, a platform attached to the base, second microactuator elements carried by the platform, and the first microactuator elements being located substantially symmetrically on either side of a plane along a centerline of the base

摘要翻译： 微致动器包括基座，由基座承载的第一微致动器元件，附接到基座的平台，由平台承载的第二微致动器元件，以及第一微致动器元件大致对称地位于沿着基座的中心线的平面的任一侧

公开(公告)号：US06655002B1

公开(公告)日：2003-12-02

申请号：US09607415

申请日：2000-06-28

申请人： Peter J. Maimone ,  Tsen-Hwang Lin ,  Kurt P. Wachtler

发明人： Peter J. Maimone ,  Tsen-Hwang Lin ,  Kurt P. Wachtler

IPC分类号： H02K1516

CPC分类号： G11B5/5552 ,  H02K99/00 ,  Y10T29/49009

摘要： A microactuator, or micromotor, (60) and method for making it are presented such that a symmetrical build up of material is performed on opposite sides of a substrate. This reduces mechanical stresses in the device. In its construction, respective layers of circuit portions (108, 110) are built on each side of the structure, thereby eliminating the need to stack complex patterns. Stacking one complex pattern on top of a similar pattern is difficult because the surface, which is the base for subsequent layers, is not flat. The photolithography process that forms these patterns is not very forgiving to non-flat surfaces. Avoiding the stacked layers also allows thicker conductors to be considered for each circuit. Thicker circuits increase current carrying capacity, which in one of the key variables increase the power of the micromotor.

摘要翻译： 呈现微致动器或微电动机（60）及其制造方法，使得在衬底的相对侧上进行对称的材料堆积。 这降低了设备中的机械应力。 在其结构中，各层电路部分（108,110）被构建在结构的每一侧上，从而不需要堆叠复杂的图案。 在类似图案之上堆叠一个复杂图案是困难的，因为作为后续层的基底的表面不是平坦的。 形成这些图案的光刻工艺不是非平坦的非平坦表面。 避免堆叠层也允许为每个电路考虑更厚的导体。 较大的电路增加了电流承载能力，其中一个关键变量增加了微电机的功率。

公开(公告)号：US20060152685A1

公开(公告)日：2006-07-13

申请号：US11032069

申请日：2005-01-11

申请人： Tsen-Hwang Lin ,  Johnson Jang-Shen Lin

发明人： Tsen-Hwang Lin ,  Johnson Jang-Shen Lin

IPC分类号： G03B21/22

CPC分类号： G03B21/22

摘要： The present invention concerns an optic projecting technique for a projecting system comprising a housing and a projector unit, the projecting system comprises a housing and a projector unit, wherein the housing is provided with a display screen and a plurality of optic elements in the housing; the system is characterized in that: the projector unit is placed on the back of the housing in favor of detachment and displacement; when the projector unit projects optic images into the housing, the images from the projector are reflected by the optic elements and projected to the rear side of the display screen; when the projector unit is placed outside of the housing, it directly projects the optic images to the display screen at a suitable distance away, thus a dual projecting system for rear projection and front projection can be is formed.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于投影系统的光学投射技术，该投影系统包括壳体和投影仪单元，所述投影系统包括壳体和投影仪单元，其中壳体在壳体中设置有显示屏和多个光学元件; 该系统的特征在于：投影仪单元被放置在壳体的背面，有利于分离和移位; 当投影仪单元将光学图像投影到外壳中时，来自投影仪的图像被光学元件反射并投射到显示屏幕的后侧; 当将投影仪单元放置在壳体外部时，它将光学图像直接投射到显示屏上，从而形成了用于后投影和前投影的双投影系统。

公开(公告)号：US5539568A

公开(公告)日：1996-07-23

申请号：US478157

申请日：1995-06-07

申请人： Tsen-Hwang Lin ,  Shane R. Palmer ,  Steven C. Gustafson ,  Jay M. Brown

发明人： Tsen-Hwang Lin ,  Shane R. Palmer ,  Steven C. Gustafson ,  Jay M. Brown

IPC分类号： G02B26/06 ,  G03F1/26 ,  G03F7/20 ,  G02F1/11

CPC分类号： G03F7/70291 ,  G02B26/06 ,  G03F7/2002 ,  G03F7/70191 ,  G03F7/70283 ,  G03F7/70566 ,  G03F1/26

摘要： A phase shift illuminator (700) is comprised of a light source (704) and a phase modulator (716), typically a flexure beam micromirror array, which transversely modulates the incident light beam. When a flexure beam micromirror array is used as the phase modulator (716) a polarizing beam splitter (712) and a quarter-wave plate (714) are used to separate the incident and reflected light beams. The phase modulated light beam (720) from the optical illuminator may be used in optical lithography by passing the light beam through a lithography mask (724), typically after the light beam is phase modulated, and focusing the light beam onto a target wafer (726).

摘要翻译： 相移照明器（700）包括光源（704）和相位调制器（716），通常是弯曲光束微镜阵列，其横向地调制入射光束。 当使用挠曲束微镜阵列作为相位调制器（716）时，偏振分束器（712）和四分之一波片（714）被用于分离入射光和反射光束。 来自光学照明器的相位调制光束（720）可以通过使光束通过光刻掩模（724），通常在光束被相位调制之后将光束聚焦到目标晶片（724）上而用于光学光刻 726）。

公开(公告)号：US5539567A

公开(公告)日：1996-07-23

申请号：US260389

申请日：1994-06-16

申请人： Tsen-Hwang Lin ,  Shane R. Palmer ,  Steven C. Gustafson ,  Jay M. Brown

发明人： Tsen-Hwang Lin ,  Shane R. Palmer ,  Steven C. Gustafson ,  Jay M. Brown

IPC分类号： G02B26/06 ,  G03F1/26 ,  G03F7/20 ,  G02F1/09

CPC分类号： G03F7/70291 ,  G02B26/06 ,  G03F7/2002 ,  G03F7/70191 ,  G03F7/70283 ,  G03F7/70566 ,  G03F1/26

摘要： A phase shift illuminator (700) is comprised of a light source (704) and a phase modulator (716), typically a flexure beam micromirror array, which transversely modulates the incident light beam. When a flexure beam micromirror array is used as the phase modulator (716) a polarizing beam splitter (712) and a quarter-wave plate (714) are used to separate the incident and reflected light beams. The phase modulated light beam (720) from the optical illuminator may be used in optical lithography by passing the light beam through a lithography mask (724), typically after the light beam is phase modulated, and focusing the light beam onto a target wafer (726).

摘要翻译： 相移照明器（700）包括光源（704）和相位调制器（716），通常是弯曲光束微镜阵列，其横向地调制入射光束。 当使用挠曲束微镜阵列作为相位调制器（716）时，偏振分束器（712）和四分之一波片（714）被用于分离入射光和反射光束。 来自光学照明器的相位调制光束（720）可以通过使光束通过光刻掩模（724），通常在光束被相位调制之后将光束聚焦到目标晶片（724）上而用于光学光刻 726）。

公开(公告)号：US5457493A

公开(公告)日：1995-10-10

申请号：US121710

申请日：1993-09-15

申请人： Michael Leddy ,  Mark Boysel ,  James A. Delong ,  James M. Florence ,  Tsen-Hwang Lin ,  Jeffrey Sampsell

发明人： Michael Leddy ,  Mark Boysel ,  James A. Delong ,  James M. Florence ,  Tsen-Hwang Lin ,  Jeffrey Sampsell

IPC分类号： G09B9/00 ,  G02B26/08 ,  G03B21/00 ,  H04N5/33 ,  H04N17/00

CPC分类号： H04N17/00 ,  G02B26/0841 ,  H04N5/33

摘要： An image simulation system 20 for testing sensor systems 26 and for training image sensor personnel wherein synthetic image data is generated by a scene generator 21 and projected by an image projector 23. The image projector 23 uses a digital micromirror device array 27 to modulate the incident energy and create an image. Four modulation schemes are discussed including digital pulse-width modulation, phase contrast modulation, full complex modulation, and analog modulation. The digital pulse width modulation technique will typically require synchronizing the image sensor and the image projector. Phase contrast modulation, full complex modulation, and analog modulation do not require synchronizing the image projector 23 and the sensor system 26. Phase contrast modulation and full complex modulation have the capability to produce phase information within the image. The image simulation system 20 can produce high contrast images and is more flexible than prior art system.

摘要翻译： 用于测试传感器系统26并用于训练图像传感器人员的图像模拟系统20，其中合成图像数据由场景发生器21产生并由图像投影仪23投影。图像投影仪23使用数字微镜器件阵列27来调制事件 能量和形象。 讨论了四种调制方案，包括数字脉宽调制，相位调制，全复合调制和模拟调制。 数字脉宽调制技术通常需要使图像传感器和图像投影仪同步。 相位调制，全复合调制和模拟调制不需要使图像投影仪23和传感器系统26同步。相位调制和全复合调制具有在图像内产生相位信息的能力。 图像模拟系统20可以产生高对比度图像，并且比现有技术的系统更灵活。

公开(公告)号：US06764872B2

公开(公告)日：2004-07-20

申请号：US10255839

申请日：2002-09-27

申请人： Tsen-Hwang Lin ,  Yu-Pei Chen ,  Darius L. Crenshaw

发明人： Tsen-Hwang Lin ,  Yu-Pei Chen ,  Darius L. Crenshaw

IPC分类号： H01L2100

CPC分类号： B81C1/00182 ,  B81B2201/018 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/04 ,  H01G5/16 ,  H01G5/40 ,  H01H59/0009 ,  H01P1/127

摘要： A microelectromechanical switch includes a substrate, an insulator layer disposed outwardly from the substrate, and an electrode disposed outwardly from the insulator layer. The switch also includes a dielectric layer disposed outwardly from the insulator layer and the electrode, the dielectric layer having a dielectric constant of greater than or equal to twenty. The switch also includes a membrane layer disposed outwardly from the dielectric layer, the membrane layer overlying a support layer, the support layer operable to space the membrane layer outwardly from the dielectric layer.

摘要翻译： 微机电开关包括衬底，从衬底向外设置的绝缘体层以及从绝缘体层向外设置的电极。 开关还包括从绝缘体层和电极向外设置的电介质层，电介质层的介电常数大于或等于二十。 所述开关还包括从所述电介质层向外设置的膜层，所述膜层覆盖在支撑层上，所述支撑层可操作以将所述膜层从所述电介质层向外空间。

公开(公告)号：US06295154B1

公开(公告)日：2001-09-25

申请号：US09310284

申请日：1999-05-12

申请人： Herzel Laor ,  Philip A. Congdon ,  Andrew S. Dewa ,  David I. Forehand ,  Tsen-Hwang Lin ,  John W. Orcutt ,  James A. Sisco

发明人： Herzel Laor ,  Philip A. Congdon ,  Andrew S. Dewa ,  David I. Forehand ,  Tsen-Hwang Lin ,  John W. Orcutt ,  James A. Sisco

IPC分类号： G02B2608

CPC分类号： G02B6/3512 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3548 ,  G02B6/3558 ,  G02B6/3572 ,  G02B6/358 ,  G02B6/3582 ,  G02B6/359 ,  G02B26/085 ,  G02B26/101 ,  Y10S359/904

摘要： An optical matrix switch station (1) is shown mounting a plurality of optical switch units (15, 17), each of which includes a mirror (29), moveable in two axes, for purpose of switching optical beams from one optical fiber to another. A mirror assembly (41) includes a single body of silicon comprising a frame portion (43), gimbals (45), mirror portion (47), and related hinges (55). Magnets (53, 54) and air coils (89) are utilized to position the central mirror surface (29) to a selected orientation. The moveable mirror and associated magnets along with control LED's (71) are hermetically packaged in a header (81) and mounted with the air coils on mounting bracket (85) to form a micromirror assembly package (99) mounted in each optical switch unit.

摘要翻译： 光学矩阵切换台（1）被示出为安装多个光开关单元（15,17），每个光开关单元包括可在两个轴上移动的反射镜（29），用于将光束从一根光纤切换到另一根光纤 。 反射镜组件（41）包括单体硅，其包括框架部分（43），万向节（45），反射镜部分（47）和相关铰链（55）。 使用磁体（53,54）和空气线圈（89）将中央镜面（29）定位到所选取向。 可移动镜和相关磁体以及控制LED（71）被气密地封装在集管（81）中，并且将空气线圈安装在安装支架（85）上，以形成安装在每个光开关单元中的微镜组件封装（99）。

公开(公告)号：US5548772A

公开(公告)日：1996-08-20

申请号：US323427

申请日：1994-10-14

申请人： Tsen-Hwang Lin ,  Falvey Malarcher

发明人： Tsen-Hwang Lin ,  Falvey Malarcher

IPC分类号： G02F3/00 ,  G02B6/35 ,  G06E3/00 ,  H04B10/00 ,  H04B10/22 ,  G03H1/00 ,  G02F1/00 ,  G03H1/12 ,  G06F15/00

CPC分类号： G02B6/3556 ,  G06E3/001 ,  G02B6/3512 ,  G02B6/3582

摘要： This is a programmable processing system which comprises: one or more computer networks each of the networks has at least one population of processor nodes; at least one population of storage nodes; and at least one switch to provide transfer of information between the processor nodes and the storage nodes. Each processor node has at least one processing module comprising spatial light modulators; processors; and at least one hologram. Other methods and devices are disclosed.

摘要翻译： 这是可编程处理系统，其包括：一个或多个计算机网络，每个网络具有至少一个处理器节点群; 至少一个存储节点群; 以及至少一个交换机，用于在处理器节点和存储节点之间提供信息传送。 每个处理器节点具有至少一个包括空间光调制器的处理模块; 处理器 和至少一个全息图。 公开了其它方法和装置。

公开(公告)号：US5296950A

公开(公告)日：1994-03-22

申请号：US829100

申请日：1992-01-31

申请人： Tsen-Hwang Lin ,  Falvey Malarcher ,  Jeffrey B. Sampsell

发明人： Tsen-Hwang Lin ,  Falvey Malarcher ,  Jeffrey B. Sampsell

IPC分类号： G02B6/42 ,  G06E3/00 ,  H04Q3/52 ,  G03H1/08 ,  G02B6/12 ,  G11C5/06

CPC分类号： G06E3/006 ,  G02B6/42

摘要： This is a board to transport and convert optical outgoing free-space signals from a spatial light modulator which comprises: at least one detector to process the outgoing free-space signal; at least one signal transmitter to process the outgoing free-space signal; and at least one outgoing optical signal carrier to carry a converted outgoing signal. Other methods and devices are disclosed.

摘要翻译： 这是一个用于从空间光调制器传送和转换光出射自由空间信号的板，包括：至少一个检测器，用于处理输出的自由空间信号; 至少一个信号发射器，用于处理输出的自由空间信号; 以及至少一个输出光信号载波来承载转换的输出信号。 公开了其它方法和装置。