公开(公告)号：US4853309A

公开(公告)日：1989-08-01

申请号：US204954

申请日：1988-06-03

申请人： Takashi Hayakawa ,  Hideo Nojima ,  Yoshimi Kojima ,  Shiro Narikawa ,  Toshiro Matsuyama ,  Eiji Imada ,  Shaw Ehara

发明人： Takashi Hayakawa ,  Hideo Nojima ,  Yoshimi Kojima ,  Shiro Narikawa ,  Toshiro Matsuyama ,  Eiji Imada ,  Shaw Ehara

IPC分类号： G03G5/08 ,  G03G5/082 ,  G03G5/14

CPC分类号： G03G5/08257

摘要： A photoreceptor for electrophotography including an electrically conductive substrate, a bottom layer, a photoconductive layer composed mainly of amorphous silicon, and a surface layer, in that order. Both the bottom and surface layers have a greater optical bandgap than said photoconductive layer. A first middle layer is disposed between said bottom layer and said photoconductive layer, and a second middle layer is disposed between said photoconductive layer and said surface layer. Both the first and second middle layers are composed mainly of amorphous silicon and have a concentration of doped atoms which varies from the bottom to the top of the layer.

摘要翻译： 依次包括导电基底，底层，主要由非晶硅构成的光导电层和表面层的电子照相感光体。 底层和表面层都具有比所述光电导层更大的光学带隙。 第一中间层设置在所述底层和所述光电导层之间，第二中间层设置在所述光电导层和所述表面层之间。 第一和第二中间层主要由非晶硅组成，并且具有从层的底部到顶部变化的掺杂原子的浓度。

公开(公告)号：US4943503A

公开(公告)日：1990-07-24

申请号：US659418

申请日：1984-10-10

申请人： Hideo Nojima ,  Yoshimi Kojima ,  Eiji Imada ,  Toshiro Matsuyama ,  Takashi Hayakawa ,  Shiro Narikawa ,  Shaw Ehara

发明人： Hideo Nojima ,  Yoshimi Kojima ,  Eiji Imada ,  Toshiro Matsuyama ,  Takashi Hayakawa ,  Shiro Narikawa ,  Shaw Ehara

IPC分类号： G03G5/08 ,  G03G5/082 ,  G03G5/14 ,  H01L31/09

CPC分类号： H01L31/095 ,  G03G5/08 ,  G03G5/08235

摘要： An amorphous silicon (a-Si) photoreceptor includes an amorphous silicon (a-Si) photoconductive layer, and a surface layer disposed above the amorphous silicon (a-Si) photoconductive layer. An intermediate layer is disposed between the amorphous-silicon (a-Si) photoconductive layer and the surface layer to ensure the energy level matching. The intermediate layer is made of amorphous silicon (a-Si) doped with nitrogen and boron so as to have the energy difference of less than 0.2 eV between the bottom of the conduction bands of the surface layer and the intermediate layer.

摘要翻译： 非晶硅（a-Si）感光体包括非晶硅（a-Si）光电导层，以及设置在非晶硅（a-Si）光电导层之上的表面层。 在非晶硅（a-Si）光电导层和表面层之间设置中间层以确保能级匹配。 中间层由掺杂有氮和硼的非晶硅（a-Si）制成，以便在表面层的导带的底部和中间层之间具有小于0.2eV的能量差。

公开(公告)号：US4666816A

公开(公告)日：1987-05-19

申请号：US902042

申请日：1986-08-26

申请人： Yoshimi Kojima ,  Shiro Narikawa ,  Takashi Hayakawa ,  Hideo Nojima ,  Eiji Imada ,  Toshiro Matsuyama ,  Shaw Ehara

发明人： Yoshimi Kojima ,  Shiro Narikawa ,  Takashi Hayakawa ,  Hideo Nojima ,  Eiji Imada ,  Toshiro Matsuyama ,  Shaw Ehara

IPC分类号： G03G5/08 ,  G03G5/082

CPC分类号： G03G5/08278

摘要： A method of manufacturing an electrophotographic photoreceptor having an amorphous silicon layer formed as a photoconductive layer, on an electrically conductive support member. The manufacturing method includes the steps of preparing the amorphous silicon layer as the photoconductive layer by employing Si.sub.2 H.sub.6 (disilane) as a main raw material gas through a glow discharge process, and simultaneously, adding nitrogen and boron to the main raw material gas, with the unsaturated bond being stabilized by hydrogen or hydrogen and fluorine.

摘要翻译： 一种在导电支撑构件上制造具有形成为光电导层的非晶硅层的电子照相感光体的方法。 该制造方法包括以下步骤：通过利用辉光放电工艺以Si 2 H 6（乙硅烷）作为主要原料气体制备非晶硅层作为光电导层，同时向主要原料气体中加入氮和硼， 不饱和键由氢或氢和氟稳定。

公开(公告)号：US4615299A

公开(公告)日：1986-10-07

申请号：US709185

申请日：1985-03-07

申请人： Toshiro Matsuyama ,  Takashi Hayakawa ,  Yoshimi Kojima ,  Shiro Narikawa ,  Shaw Ehara

发明人： Toshiro Matsuyama ,  Takashi Hayakawa ,  Yoshimi Kojima ,  Shiro Narikawa ,  Shaw Ehara

IPC分类号： C23C16/50 ,  C23C16/509 ,  G03G5/08 ,  G03G5/082 ,  H01J37/32 ,  C23C13/08

CPC分类号： H01J37/32082 ,  C23C16/5093 ,  G03G5/082 ,  H01J37/32733 ,  H01J2237/3321

摘要： A plasma CVD (chemical vapor deposition) apparatus of the capacitance coupling type for effecting the chemical vapor deposition on a drum which includes an air tight chamber made of an electrically conductive material, a support provided in the chamber for supporting the drum inside the chamber in an electrically insulated relationship with the chamber, and an RF power source for supplying RF power to the drum. The chamber is grounded and, therefore, the plasma is generated between the drum and inside wall of the chamber. The apparatus is provided with means for providing a smooth surface on the drum. The drum can be used as a photoreceptor for use in an electrophotographic copying machine.

摘要翻译： 电容耦合型的等离子体CVD（化学气相沉积）装置，用于实现在鼓上的化学气相沉积，该鼓包括由导电材料制成的气密室，设置在腔室中用于将鼓内部支撑在腔室内的支架 与室的电绝缘关系，以及用于向滚筒提供RF功率的RF电源。 腔室接地，因此在鼓室和腔室的内壁之间产生等离子体。 该设备设置有用于在滚筒上提供光滑表面的装置。 滚筒可用作电子照相复印机中的感光体。

公开(公告)号：US4687724A

公开(公告)日：1987-08-18

申请号：US561349

申请日：1983-12-14

申请人： Shaw Ehara ,  Yoshimi Kojima ,  Eiji Imada ,  Takashi Hayakawa ,  Toshiro Matsuyama

发明人： Shaw Ehara ,  Yoshimi Kojima ,  Eiji Imada ,  Takashi Hayakawa ,  Toshiro Matsuyama

IPC分类号： G03G5/08 ,  G03G5/082

CPC分类号： G03G5/08214 ,  G03G5/08 ,  G03G5/08221

摘要： A photoreceptor for electrophotography utilizing a-Si:N:H:F, wherein a stable high-sensitive layer is provided and the time-lapse variation in characteristics is reduced in the use of an a-Si.sub.1-x N.sub.x layer as a sensitive layer.

摘要翻译： 使用a-Si：N：H：F的电子照相感光体，其中提供稳定的高敏感层，并且在使用a-Si1-xNx层作为敏感层时，特性的延时变化减小。

公开(公告)号：US4851256A

公开(公告)日：1989-07-25

申请号：US131346

申请日：1987-12-09

申请人： Toshiro Matsuyama ,  Yoshimi Kojima ,  Shaw Ehara

发明人： Toshiro Matsuyama ,  Yoshimi Kojima ,  Shaw Ehara

IPC分类号： C23C16/24 ,  C23C16/509 ,  C23C16/54 ,  G03G5/08 ,  G03G5/082 ,  H01L31/20

CPC分类号： C23C16/24 ,  C23C16/5093 ,  C23C16/54 ,  H01L31/202 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

摘要： An apparatus for manufacturing photosensitive amorphous silicon objects comprises a pair of coaxial cylindrical electrodes inside a reaction tank of a plasma CVD device. A plurality of cylindrical substrates of an electrically conductive material disposed between these electrodes. A source gas is injected into the reaction tank through a plurality of inlets evenly spaced on the outer peripheral wall so that films of uniform quality can be produced efficiently.

摘要翻译： 用于制造感光非晶硅物体的装置包括在等离子体CVD装置的反应槽内部的一对同轴圆柱形电极。 配置在这些电极之间的导电材料的多个圆柱形基板。 源气体通过在外周壁上均匀间隔开的多个入口注入反应罐，从而可以有效地生产质量均匀的膜。

公开(公告)号：US4907051A

公开(公告)日：1990-03-06

申请号：US193502

申请日：1988-05-12

申请人： Shaw Ehara

发明人： Shaw Ehara

IPC分类号： H01J1/34 ,  H01J40/06 ,  H01J43/08 ,  H01L31/0248

CPC分类号： H01J1/34 ,  H01J2201/3423

摘要： A photocathode with high photoelectric conversion ratio over an extended wavelength range of incident light has a hetero junction formed between thin films of a p-type amorphous silicon alloy having energy gap matching the energy of the incident light and an n-type semiconductor with small work function or large coefficient of secondary electron emission.

摘要翻译： 在入射光的扩展波长范围内具有高光电转换比的光电阴极具有在具有与入射光的能量匹配的能隙的p型非晶硅合金的薄膜和小工作的n型半导体之间形成的异质结 二次电子发射功能或大系数。

公开(公告)号：US5097298A

公开(公告)日：1992-03-17

申请号：US620455

申请日：1990-11-30

申请人： Shaw Ehara

发明人： Shaw Ehara

IPC分类号： H01L29/267 ,  H01L33/16 ,  H01L33/28 ,  H01L33/32 ,  H01L33/34 ,  H01L33/40

CPC分类号： H01L33/40 ,  H01L29/267 ,  H01L33/002 ,  H01L33/0058 ,  H01L33/0075 ,  H01L33/0083 ,  H01L33/18 ,  H01L33/28

摘要： A blue light emitting display element has a hetero p-n junction type light emitting layer formed between a semiconductor layer of a II-VI or III-V semiconducting compound having a wide energy bandgap and a highly electroconductive amorphous silicon type semiconductor layer which is of opposite conduction type and capable of forming a substantially ohmic contact with the semiconducting compound.

摘要翻译： 蓝色发光显示元件具有形成在具有宽能带隙的II-VI或III-V半导体化合物的半导体层之间的异质pn结型发光层和具有相反导通的高导电非晶硅型半导体层 并且能够与半导体化合物形成基本欧姆接触。