酸化物焼結体、ターゲット、およびそれを用いて得られる透明導電膜、並びに透明導電性基材
    67.
    发明申请
    酸化物焼結体、ターゲット、およびそれを用いて得られる透明導電膜、並びに透明導電性基材 审中-公开
    氧化铁,目标,从其获得的透明导电薄膜和透明导电基材

    公开(公告)号:WO2007141994A1

    公开(公告)日:2007-12-13

    申请号:PCT/JP2007/059774

    申请日:2007-05-11

    Abstract:  酸化亜鉛を主成分とし、さらにマグネシウムを含有する酸化物焼結体、それを加工したターゲット、これを用いて直流スパッタリング法やイオンプレーティング法によって得られる耐薬品性に優れた低抵抗の透明導電膜、並びに透明導電性基材を提供。  酸化亜鉛と、マグネシウムとを含有し、かつ、マグネシウムの含有量が、Mg/(Zn+Mg)原子数比として0.02~0.30である酸化物焼結体;さらに、ガリウムおよび/またはアルミニウムとを含有し、その含有量が、(Ga+Al)/(Zn+Ga+Al)原子数比として0を超え0.08以下、また、マグネシウムの含有量が、Mg/(Zn+Ga+Al+Mg)原子数比として0.02~0.30である酸化物焼結体;これら酸化物焼結体を加工して得られるターゲット;このターゲットを用いて、スパッタリング法あるいはイオンプレーティング法で基板上に形成される透明導電膜などにより提供。

    Abstract translation: 一种氧化物烧结体,其包含氧化锌作为主要成分并且还含有镁; 通过处理烧结体获得的靶; 通过直接溅射或离子镀从靶获得的透明导电膜具有优异的耐化学性和低电阻; 和透明导电基底。 氧化物烧结体包含氧化锌和镁,按Mg /(Zn + Mg)原子数比计,镁含量为0.02-0.30。 还提供氧化物烧结体,其还包含镓和/或铝,其含量按照(Ga + Al)/(Zn + Ga + Al)原子数比例计,其含量为0-0.08(不包括0) 以Mg /(Zn + Ga + Al + Mg)原子数比表示,镁的含量为0.02〜0.30。 通过处理任何这些氧化物烧结体获得靶。 通过溅射或离子电镀在该基板上由该靶形成透明导电膜。

    BLEIFREIER PIEZOKERAMISCHER WERKSTOFF MIT DEM MISCHSYSTEM ERDALKALI-PEROWSKIT UND BISMUTMETALLOXID UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DES WERKSTOFFS
    69.
    发明申请
    BLEIFREIER PIEZOKERAMISCHER WERKSTOFF MIT DEM MISCHSYSTEM ERDALKALI-PEROWSKIT UND BISMUTMETALLOXID UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DES WERKSTOFFS 审中-公开
    具有混合系统碱土钙钛矿BISMUTMETALLOXID和方法无铅压电陶瓷材料用于生产材料

    公开(公告)号:WO2007113280A2

    公开(公告)日:2007-10-11

    申请号:PCT/EP2007/053164

    申请日:2007-04-02

    Abstract: Die Erfindung betrifft einen piezokeramischen Werkstoff mit einem binären Mischsystem aus einem Erdalkali-Perowskit ABO 3 und einem Bismutoxid BiMO 3 , wobei A zumindest ein Erdalkalimetall ist, B zumindest ein Element der vierten Hauptgruppe und/oder der vierten Nebengruppe des Periodensystems ist, M zumindest ein aus der Gruppe Scandium, Ytterbium und Indium ausgewähltes Element ist, ein Perowskit- Anteil des Erdalkali-Perowskits am binären Mischsystem aus dem Bereich von einschließlich 33% bis einschließlich 66% und ein Bismutoxid-Anteil des Bismutoxids aus dem Bereich von einschließlich 66% bis einschließlich 33% ausgewählt ist. Ebenso wird ein Verfahren zum Herstellen eines piezokeramischen Werkstoffs mit folgenden Verfahrensschritten angegeben: a) Bereitstellen einer piezokeramischen Ausgangszusammensetzung des piezokeramischen Werkstoffs und b) Wärmebehandeln der piezokeramischen Ausgangszusammensetzung, wobei der piezokeramische Werkstoff entsteht. Mit der Erfindung können Dünnschichten aus dem piezokeramischen Werkstoff auf nasschemischem und damit einfachem Weg hergestellt werden. Der Werkstoff zeigt auch in Form einer solchen Dünnschicht hervorragende piezoelektrische Eigenschaften. Eingesetzt wird der neue Werkstoff insbesondere in MEMS (Micro Electro Mechanical Systems). Verwendung findet der Werkstoff aber auch in der Aktorik, z.B. für Kraftstoffeinspritzsysteme oder in Ultraschallwandlern.

    Abstract translation: 本发明涉及的压电陶瓷材料具有钙钛矿ABO碱土的二元混合系统 3 和氧化铋BIMO 3 ,其中A是至少一种碱土金属,B是的第四的至少一种元素 主族和/或周期表的第四子组,M是至少一种选自钪,镱和铟元素选择,二元混合系统上的碱土钙钛矿的从范围的钙钛矿比例且包括33%至最高达并包括66%和 铋从该范围的氧化铋的氧化物的含量,并包括66%至最高达且包括33%的被选中。 另外,提供包括以下步骤的制造压电陶瓷材料的方法,包括:a)提供所述压电陶瓷材料制成的压电陶瓷组合物起始和b)热处理所述压电陶瓷起始组合物,其中,在形成压电陶瓷材料。 与薄膜的本发明可以使用湿化学和容易的方法从压电陶瓷材料来生产。 材料表现出在这样的薄膜的形式良好的压电特性。 这种新材料,特别是在MEMS(微机电系统)的使用。 但是使用在致动器中发现的材料,例如 用于燃料喷射或超声换能器。

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