半导体集成电路和其设计方法

    公开(公告)号:CN1770448A

    公开(公告)日:2006-05-10

    申请号:CN200510079922.7

    申请日:2005-06-27

    发明人: 松原裕之

    IPC分类号: H01L27/00 H01L21/82

    摘要: 本发明公开了一种母片型半导体集成电路,该半导体集成电路具有基体层和多个线路层,其中,在基体层上形成有实现特定电路功能的多个基体图案,多个线路层包括其线路图案可由用户改变的可变线路图案和其线路图案不可由用户改变的固定线路层,在这样的母片型半导体集成电路中,多个基体图案预先固定并放置在整个芯片表面上能够在基体层中形成基体图案的区域处,从而,可以通过只设计可变线路层的线路,并在用户侧产生用于形成线路层中所设计线路的掩模,来制造对应于使用目的的半导体集成电路。

    半导体图案化操作的经改进均匀性

    公开(公告)号:CN101918948B

    公开(公告)日:2013-07-24

    申请号:CN200980102232.5

    申请日:2009-01-08

    申请人: 益华公司

    IPC分类号: G06F17/50

    摘要: 半导体装置优化的系统及方法包含用以确定用于所述半导体装置的层的数据集的系统及方法,其中操作包含:接收界定半导体装置的层中的牺牲材料的多个原始图案的数据集,其中使用牺牲材料的所述原始图案来界定间隔件材料的放置以界定所述半导体装置的电路元件的图案化;确定跨越所述半导体装置的所述层的一部分的区域中的牺牲材料的所述多个原始图案的密度;及扩充所述数据集以包含所述层的具有比阈值密度低的密度的区域中的牺牲材料的额外图案。