公开(公告)号：CN106415815A

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：CN201580025703.2

申请日：2015-03-25

申请人： 住友电气工业株式会社

发明人： 久保田良辅 ,  木村炼 ,  田中聪 ,  小桥一仁

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/027 ,  H01L21/265 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/205

CPC分类号： H01L21/02027 ,  H01L21/02005 ,  H01L21/027 ,  H01L21/046 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/324 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/6833 ,  H01L21/6838 ,  H01L23/562 ,  H01L29/045 ,  H01L29/1608 ,  H01L29/66068

摘要： 一种用于制造半导体器件的方法，包括：制备SiC衬底(10)的步骤；将所述SiC衬底(10)固定到静电吸盘(20)上并且对所述SiC衬底(10)进行热处理的步骤，以及对被固定到所述静电吸盘子注入处理的步骤。所述热处理的步骤包括：外周侧吸附步骤，其在所述SiC衬底(10)的外周区域(12)和所述静电吸盘(20)的外周部(22)之间产生静电吸引力，所述外周部(22)面对所述外周区域(12)；以及内周侧吸附步骤，其是在所述外周侧吸附步骤开始之后开始的，并且在所述SiC衬底(10)的内周区域(11)和所述静电吸盘(20)的内周部(21)之间产生静电吸引力，所述内周部(21)面对所述内周区域(11)。(20)上并且被热处理的所述SiC衬底(10)执行离

公开(公告)号：CN103681415B

公开(公告)日：2017-01-11

申请号：CN201310431916.8

申请日：2013-09-22

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 石洪 ,  黄拓川 ,  方言 ,  克里夫·拉克鲁瓦 ,  尼尔·牛顿 ,  里什·查特里

IPC分类号： H01L21/67

CPC分类号： H01L21/6833 ,  B08B1/00 ,  B08B5/00 ,  B08B5/02 ,  B08B7/00 ,  B08B7/0071

摘要： 本发明涉及从静电卡盘去除损坏的环氧树脂的方法，具体提供了一种从静电卡盘去除环氧树脂带的方法，该方法包括将所述静电卡盘固定在维修装置中；将热源施加到所述环氧树脂带以使将所述环氧树脂带固定到所述静电卡盘上的多个黏附接合部断裂；在所述环氧树脂带中形成孔；以及将所述环氧树脂带从所述静电卡盘拉走。本发明还描述了一种用于从静电卡盘去除环氧树脂带的系统。

公开(公告)号：CN102914947B

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：CN201210259481.9

申请日：2012-07-18

申请人： ASML控股股份有限公司

发明人： P·R·黑尔穆斯 ,  R·A·威尔克洛 ,  邓建国

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： H01L21/6831 ,  G03F7/70708 ,  H01L21/6833 ,  Y10T156/10

摘要： 本发明公开了静电夹持装置、光刻设备以及制造静电夹持装置的方法。所述静电夹持装置被配置用于将物体静电夹持至光刻设备中的物体支撑结构。所述夹持装置包括：第一材料层；设置在第一层之上的电极；沉积在电极的各部分之间的绝缘、电介质或半电介质材料；以及设置在电极之上的第二层。此外，还描述了一种制造静电夹持装置的方法。

公开(公告)号：CN106229287A

公开(公告)日：2016-12-14

申请号：CN201610865697.8

申请日：2016-09-30

申请人： 厦门市三安光电科技有限公司

发明人： 徐宸科 ,  邵小娟 ,  郑建森 ,  时军朋 ,  林科闯

IPC分类号： H01L21/683

CPC分类号： H01L21/6838 ,  B25J15/0625 ,  H01L21/6835 ,  H01L33/00 ,  H01L33/0095 ,  H01L21/6833

摘要： 本发明公开了一种用于微元件的转移的转置头及微元件的转移方法，所述转置头包括：腔体；若干真空路径，分别与所述腔体相通，在相通处分别设置可开/关的阀门；若干个吸嘴，分别与所述真空路径相通，所述吸嘴使用真空压力吸附微元件或释放微元件，所述真空压力经由各真空路径传送；开关组件，用于控制各真空路径的阀门的开或关，从而控制所述吸嘴使用真空压力吸附或释放所需的微元件。

公开(公告)号：CN104272450B

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201380023475.6

申请日：2013-03-22

申请人： 东华隆株式会社

发明人： 山崎良 ,  稻叶光晴 ,  田口研良

IPC分类号： H01L21/683 ,  H02N13/00

CPC分类号： H01L21/6833 ,  C23C4/01 ,  C23C4/11 ,  C23C4/12 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/6831 ,  H02N13/00

摘要： 本发明提供一种静电夹具和静电夹具的制造方法，其不存在采用粘接剂的场合的缺陷，并且设计自由度高。一种静电夹具(1)，包括：基材部(2)，其构成夹具主体；第1绝缘层(3)，其由形成于基材部(2)的表面(2a)上的喷镀覆膜构成；加热部(4)，其由导电体构成，该导电体通过涂敷导电性糊的方式形成于第1绝缘层(3)的表面(3a)上；第2绝缘层(5)，其由按照覆盖加热部(4)的方式形成于第1绝缘层(3)的表面(3a)上的喷镀覆膜构成；电极部(6)，其通过喷镀于第2绝缘层(5)的表面(5a)上形成；以及电介体层(7)，其由按照覆盖电极部(6)的方式形成于第2绝缘层(5)的表面(5a)上的喷镀覆膜构成，该静电夹具(1)不采用粘接剂，降低了加热部(4)的体积电阻率。

公开(公告)号：CN103907181B

公开(公告)日：2016-11-16

申请号：CN201280046774.7

申请日：2012-09-27

申请人： TOTO株式会社

发明人： 和田琢真 ,  穴田和辉

IPC分类号： H01L21/683 ,  B23Q3/15 ,  H02N13/00

CPC分类号： H01L21/6831 ,  B23Q3/1543 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6833 ,  H01L21/6875

摘要： 本发明公开了一种静电吸盘。基于本发明的静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板，具有放置被吸附物的第1主面和所述第1主面相反侧的第2主面；电极，设置在所述陶瓷电介体基板的所述第1主面与所述第2主面之间；以及连接部，在所述陶瓷电介体基板的比所述电极更靠所述第2主面侧与所述电极连接，且具有与所述电极接触的第1区域，其中，在将从所述第1主面朝向所述第2主面的方向作为第1方向，将与所述第1方向正交的方向作为第2方向时，所述第1区域在所述电极及所述连接部的所述第2方向上观察的截面上，沿所述电极的所述第2主面侧外形的延长线与所述连接部外形的切线所形成的角度当中所述连接部侧的角度在所述第1方向上逐渐增大。

公开(公告)号：CN106030779A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201580009010.4

申请日：2015-02-17

申请人： 瓦里安半导体设备公司

发明人： 罗杰·B·费许 ,  史蒂芬·恩尔拉 ,  陶德·路易斯·马克阿册恩

IPC分类号： H01L21/683

CPC分类号： H01J37/20 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/20 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/31701 ,  H01L21/6833

摘要： 一种平台支撑结构，所述平台支撑结构被适配成使加热平台部分与冷底板绝热同时提供其间的基本上无泄漏的气体运输，且同时允许所述平台部分的热膨胀和收缩。所述支撑结构提供的各种实例提供：管状弯曲部，其具有内部气体导管；平台部分安装耳片，其连接到所述弯曲部并且具有与所述弯曲部的所述内部气体导管流体连通的内部气体输入狭槽，所述平台部分安装耳片适用于连接到平台的平台部分；以及底板安装耳片，其连接到所述弯曲部并且具有与所述弯曲部的所述内部气体导管流体连通的内部气体输出狭槽，所述底板安装耳片适用于连接到平台的底板。

公开(公告)号：CN106024690A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201610158031.9

申请日：2016-03-18

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 李德重 ,  尹基泳 ,  朴正善

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L27/32

CPC分类号： H01L51/56 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/6833 ,  H01L27/3211 ,  H01L51/5256 ,  H01L2251/5338 ,  H02N13/00 ,  H01L21/683 ,  H01L27/32

摘要： 提供了一种静电吸盘系统。该静电吸盘系统包括：其中布置有第一电极和第二电极的平台，第一电极具有第一极性，第二电极具有与第一极性不同的第二极性；在平台上的显示基底，显示基底包括在其表面上的像素电极；以及在显示基底的该表面的上方的光学掩模，光学掩模包括反射层和将被转印到显示基底的转印层，其中显示基底具有第一极性和第二极性中的一个，光学掩模具有第一极性和第二极性中的另一个。

公开(公告)号：CN105993069A

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201580007873.8

申请日：2015-02-06

申请人： 艾克塞利斯科技公司

发明人： 威廉·戴维斯·李

IPC分类号： H01L21/683 ,  H02N3/00

CPC分类号： H01L21/6833 ,  H01L21/6831 ,  H02N13/00

摘要： 一种静电夹紧系统提供静电夹钳(ESC)，其具有夹紧表面以及第一对及第二对电极。所述第一对电极中的每一电极与所述夹紧表面的相应三分之一相关联，并且所述第二对电极中的每一电极与所述夹紧表面的相应六分之一相关联。所述第一对及第二对电极中的每一对的外围区域的宽度朝所述夹紧表面的外围呈螺旋状递减。电源供应器选择性输出DC及三相AC箝位电压。控制器选择性以DC模式及AC模式操作所述ESC。所述DC模式将所述第一对电极中的一个电极及所述第二对电极中的一个电极电性连接至所述电源供应器的正极端子，并且将所述第一对电极中的另一电极及所述第二对电极中的另一电极电性连接至所述电源供应器的负极端子。所述AC模式将所述电源供应器的第一相端子电性连接至所述第一对电极中的一个电极，将所述电源供应器的第二相端子电性连接至所述第一对电极中的另一电极，并且将所述电源供应器的第三相端子电性连接至所述第二对电极的两个电极。

公开(公告)号：CN103236413B

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201310159972.0

申请日：2009-05-15

申请人： 恩特格林斯公司

发明人： 理查·A·库克

IPC分类号： H01L21/687 ,  H01L21/683 ,  H02N13/00

CPC分类号： H01L21/6833 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/6875 ,  H02N13/00

摘要： 依据本发明实施例，设有一静电夹头，其包括一电极及一表面层，此表面层被电极中的一电压所致动而形成电荷，通过此将一基板静电夹钳至静电夹头上。所述表面层包括多个凸起，所述凸起延伸至围绕所述凸起的部分所述表面层上方的一高度处，以便在基板的静电夹钳期间将所述基板支撑于凸起上。如同就多对相邻凸起之间的中心间距所测量到的，所述凸起在整个表面层上大致等距离隔开。