面发射激光器及其制造方法

    公开(公告)号:CN112310799A

    公开(公告)日:2021-02-02

    申请号:CN202010730086.9

    申请日:2020-07-27

    Inventor: 熊野哲弥

    Abstract: 本发明提供面发射激光器及其制造方法,能够抑制因热导致的劣化。面发射激光器具备:基板、设于上述基板上的下部反射镜层、设于上述下部反射镜层上的有源层及设于上述有源层上的上部反射镜层,上述下部反射镜层、上述有源层及上述上部反射镜层形成台面,上述台面具有电流狭窄构造,上述电流狭窄构造具有电流狭窄层,上述电流狭窄层具有从上述台面的周缘部延伸的氧化层及由上述氧化层包围且与上述有源层重叠的开孔,上述开孔具有长轴和短轴,上述长轴的长度为上述短轴的长度的2倍以上。

    表面发射激光器及其制造方法

    公开(公告)号:CN112290376A

    公开(公告)日:2021-01-29

    申请号:CN202010708915.3

    申请日:2020-07-22

    Inventor: 熊野哲弥

    Abstract: 本发明涉及表面发射激光器及其制造方法。所述表面发射激光器包括下反射器层、有源层、上反射器层和布线。下反射器层、有源层和上反射器层形成台面、平台和连接部。在台面和平台之间设置有第一凹槽。连接部连接台面和平台,并在从衬底的 方向倾斜的方向上延伸。在平台、连接部和台面的外围部分中形成高电阻区域。布线设置在平台、连接部和台面的顶表面上。台面包括从台面的侧表面延伸的氧化区域和电流限制结构,该电流限制结构包括被该氧化区域围绕的孔。

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