大面积均匀非磁化等离子体产生装置及方法

    公开(公告)号:CN102361531B

    公开(公告)日:2013-07-03

    申请号:CN201110328200.6

    申请日:2011-10-26

    Abstract: 本发明属于气体放电等离子体领域,涉及一种气体放电产生等离子体的装置,确切讲是大面积均匀非磁化等离子体产生装置及方法,其特征是:包括等离子体产生腔体、真空装置和等离子电源;等离子体产生腔体包括筒状腔体、网状放电电极,网状放电电极为外径小于筒状腔体内径的空心圆状网状体,通过绝缘支撑将网状放电电极与筒状腔体连接为同心圆结构,观察窗和活页窗连接固定在筒状腔体两端,可用于研究等离子体对电磁波的影响。它克服上述已有技术的不足,提供一种重复性好、误差低可持续的大面积均匀非磁化等离子体产生装置及方法。

    大面积均匀非磁化等离子体产生装置及方法

    公开(公告)号:CN102361531A

    公开(公告)日:2012-02-22

    申请号:CN201110328200.6

    申请日:2011-10-26

    Abstract: 本发明属于气体放电等离子体领域,涉及一种气体放电产生等离子体的装置,确切讲是大面积均匀非磁化等离子体产生装置及方法,其特征是:包括等离子体产生腔体、真空装置和等离子电源;等离子体产生腔体包括筒状腔体、网状放电电极,网状放电电极为外径小于筒状腔体内径的空心圆状网状体,通过绝缘支撑将网状放电电极与筒状腔体连接为同心圆结构,观察窗和活页窗连接固定在筒状腔体两端,可用于研究等离子体对电磁波的影响。它克服上述已有技术的不足,提供一种重复性好、误差低可持续的大面积均匀非磁化等离子体产生装置及方法。

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