AlGaN渐变组分超晶格雪崩光电二极管

    公开(公告)号:CN105742387A

    公开(公告)日:2016-07-06

    申请号:CN201610112141.1

    申请日:2016-02-29

    申请人: 清华大学

    摘要: 本发明提供了一种半导体结构,自下至上依次包括:衬底;缓冲层;n型层;i型AlGaN渐变组分超晶格倍增层;第一p型层;i型光敏吸收层;以及第二p型层,其中,i型AlGaN渐变组分超晶格倍增层包括沿垂直于衬底表面方向叠置的N个周期结构1041~104N,N是大于等于1的整数,每个周期结构包括一个组分渐变层,组分渐变层的最下部的材料为AlyGa1?yN,最上部的材料为AlzGa1?zN,其中0≤z<y≤1,组分渐变层内任意位置的材料表示为AlcGa1?cN,随该位置到组分渐变层下表面的垂直距离d从0增加至该组分渐变层的厚度D,c从y渐变至z。本发明还提供了该半导体结构的制造方法。