一种凹槽型电极结构的InGaN基MSM可见光光电探测器

    公开(公告)号:CN107482070A

    公开(公告)日:2017-12-15

    申请号:CN201710580716.7

    申请日:2017-07-17

    申请人: 中山大学

    摘要: 本发明公开了一种凹槽型电极结构的InGaN基MSM可见光光电探测器。器件结构包括衬底(10)及生长于衬底(10)之上的外延层,其中,外延层自下而上的顺序依次为缓冲层(11),过渡层(12),非故意掺杂InxGa1-xN有源层(13),在InxGa1-xN有源层(13)上镀制的肖特基金属-半导体-金属(MSM)器件结构的插指状电极(14)和插指状电极(15),其中电极(14)沉积在原生InxGa1-xN(13)的表面,电极(15)沉积在插指状凹槽(16)中。凹槽(16)采用干法或湿法刻蚀在有源层(13)上形成。与传统平面MSM结构相比,具有凹槽型电极结构的 InGaN基 MSM可见光探测器利用凹槽侧壁阻断载流子因InGaN原表面变程跃迁所产生的漏电流,可显著降低探测器的暗电流;同时,凹槽电极改善了电极间的电场分布,可有效提升光电流。

    一种基于光致晶体管的双模式类脑神经元芯片

    公开(公告)号:CN107195708A

    公开(公告)日:2017-09-22

    申请号:CN201710205252.1

    申请日:2017-03-31

    摘要: 本发明公开了一种基于光致晶体管的双模式类脑神经元芯片及其制备方法,该器件由集成在硅基氮化物载体上的光致晶体管构成。晶体管的发射极可以作为神经刺激的产生单元,集电极可以作为神经刺激的感知探测端。神经刺激信号在器件内部传输是基于光子而非传统的质子或电子。由于结构和材料的特性,刺激信号在内部传输的过程中会被存储一定的时间,模拟了人脑对信息的记忆功能。晶体管可看作一对共N极的PN结,由于结构相同,所以发射极和集电极功能可以互换,即信息可以双向传输。本发明在信息传输的过程中给作为光电探测的一端加载偏置电压使其处于点亮的状态,模拟了人脑对于不同信息选择性的记忆或者不记忆,为复杂的大脑记忆特性研究奠定基础。

    基于多孔DBR的InGaN基谐振腔增强型探测器芯片

    公开(公告)号:CN107046071A

    公开(公告)日:2017-08-15

    申请号:CN201710220056.1

    申请日:2017-04-06

    发明人: 刘磊 杨超 赵丽霞

    摘要: 一种基于多孔DBR的InGaN基谐振腔增强型探测器芯片,包括:一衬底;形成于衬底上的缓冲层;形成于缓冲层上的底部多孔DBR层;形成于底部多孔DBR层上的n型GaN层,n型GaN层的一侧向下形成有台面,另一侧为凸起;形成于n型GaN层上的有源区;形成于有源区上的p型GaN层;一侧壁钝化层,形成于所述p型GaN层部分的上表面及凸起的n型GaN层、有源区和p型GaN层的侧壁,该p型GaN层上表面的侧壁钝化层中间有一窗口;形成于侧壁钝化层及其窗口处p型GaN层上的透明导电层;形成于n型GaN层的台面上的n电极;制作在侧壁钝化层上表面周围的p电极;形成于透明导电层及p电极上的顶部介质DBR层。