公开(公告)号：US20100127256A1

公开(公告)日：2010-05-27

申请号：US12598980

申请日：2008-04-23

申请人： Kazuyoshi Inoue ,  Futoshi Utsuno ,  Katsunori Honda

发明人： Kazuyoshi Inoue ,  Futoshi Utsuno ,  Katsunori Honda

IPC分类号： H01L29/22 ,  H01L21/34

CPC分类号： C01G15/00 ,  C01G9/02 ,  C01G15/006 ,  C01G19/006 ,  C01G19/02 ,  C01P2002/50 ,  C01P2002/72 ,  C01P2006/40 ,  C03C17/23 ,  C03C17/245 ,  C03C17/2453 ,  C03C2217/215 ,  C03C2217/23 ,  C03C2217/231 ,  C03C2217/24 ,  C03C2217/944 ,  C03C2217/948 ,  C03C2218/156 ,  C03C2218/32 ,  C23C14/08 ,  C23C14/086 ,  C23C14/58 ,  C23C14/5826 ,  C23C14/5853 ,  H01L21/02554 ,  H01L21/02565 ,  H01L21/02573 ,  H01L21/02581 ,  H01L21/02592 ,  H01L21/02631

摘要： An amorphous oxide thin film containing amorphous oxide is exposed to an oxygen plasma generated by exciting an oxygen-containing gas in high frequency. The oxygen plasma is preferably generated under the condition that applied frequency is 1 kHz or more and 300 MHz or less and pressure is 5 Pa or more. The amorphous oxide thin film is preferably exposed by a sputtering method, ion-plating method, vacuum deposition method, sol-gel method or fine particle application method.

摘要翻译： 含有非晶氧化物的无定形氧化物薄膜暴露于通过高频激发含氧气体而产生的氧等离子体。 氧等离子体优选在施加频率为1kHz以上且300MHz以下且压力为5Pa以上的条件下生成。 无定形氧化物薄膜优选通过溅射法，离子镀法，真空蒸镀法，溶胶 - 凝胶法或微粒施加方法曝光。

公开(公告)号：US07445273B2

公开(公告)日：2008-11-04

申请号：US10899305

申请日：2004-07-27

申请人： Vljayan S. Veerasamy ,  Scott V. Thomsen ,  Nestor P. Murphy ,  Rolf Hugo Petrmichl

发明人： Vljayan S. Veerasamy ,  Scott V. Thomsen ,  Nestor P. Murphy ,  Rolf Hugo Petrmichl

IPC分类号： B32B9/00 ,  B60J7/00

CPC分类号： C03C17/23 ,  C03C17/22 ,  C03C17/225 ,  C03C17/3417 ,  C03C17/3435 ,  C03C17/3441 ,  C03C17/3452 ,  C03C2217/215 ,  C03C2217/218 ,  C03C2217/228 ,  C03C2217/23 ,  C03C2217/281 ,  C03C2217/285 ,  C23C14/024 ,  C23C14/08 ,  C23C14/086 ,  C23C14/58 ,  Y10T428/26 ,  Y10T428/265 ,  Y10T428/30 ,  Y10T428/31627

摘要： A scratch resistant coated article is provided which is also resistant to attacks by at least some fluoride-based etchant(s) for at least a period of time. In certain example embodiments, an anti-etch layer(s) is provided on the glass substrate in order to protect the glass substrate from attacks by fluoride-based etchant(s). In certain example embodiments, the anti-etch layer(s) is substantially transparent to visible light. In certain embodiments, a DLC layer(s) may be provided over the anti-etch layer. An underlayer may be provided under the anti-etch layer(s) in certain example embodiments.

摘要翻译： 提供了耐刮擦涂层制品，其还耐受至少一些基于氟化物的蚀刻剂至少一段时间的攻击。 在某些示例性实施例中，在玻璃基板上提供抗蚀刻层，以便保护玻璃基板免受基于氟化物的蚀刻剂的攻击。 在某些示例性实施例中，抗蚀刻层对可见光基本上是透明的。 在某些实施例中，可以在抗蚀刻层上提供DLC层。 在某些示例性实施例中，可以在抗蚀刻层下面设置底层。

公开(公告)号：US20030080089A1

公开(公告)日：2003-05-01

申请号：US10078382

申请日：2002-02-21

发明人： Wen Dong Song ,  Minghui Hong ,  Yong Feng Lu

IPC分类号： C23F001/00 ,  B44C001/22 ,  C03C015/00 ,  C03C025/68 ,  C02F001/44 ,  B01D061/00

CPC分类号： C03C17/23 ,  B23K26/1224 ,  B23K26/146 ,  B23K2101/40 ,  C03C2217/211 ,  C03C2217/215 ,  C03C2217/231 ,  C03C2218/33 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/31111

摘要： The present invention provides a method of patterning a substrate (30) according to a predetermined path, said method including forming a liquid film (134) on the substrate surface and directing laser energy from a laser (10) through the film (134) to etch the substrate surface, wherein etched material is carried away from the substrate surface via evaporation of the film during said etching. The liquid film (134) may be formed on the substrate surface by jetting a liquid vapour onto the substrate surface

摘要翻译： 本发明提供了一种根据预定路径图案化衬底（30）的方法，所述方法包括在衬底表面上形成液膜（134）并将来自激光器（10）的激光能量引导通过膜（134）至 蚀刻衬底表面，其中通过在所述蚀刻期间膜的蒸发将蚀刻的材料从衬底表面带走。 可以通过将液体蒸气喷射到基板表面上而在基板表面上形成液体膜（134）

公开(公告)号：US5965629A

公开(公告)日：1999-10-12

申请号：US835645

申请日：1997-04-11

申请人： Hyung Jin Jung ,  Seok Keun Koh ,  Won Kook Choi ,  Kyong Sop Han ,  Sik Sang Gam

发明人： Hyung Jin Jung ,  Seok Keun Koh ,  Won Kook Choi ,  Kyong Sop Han ,  Sik Sang Gam

IPC分类号： B29C35/08 ,  B29C59/16 ,  C03C17/23 ,  C03C23/00 ,  C04B41/00 ,  C04B41/80 ,  C08J7/12 ,  C08J3/28 ,  C08F2/46 ,  C08J7/18 ,  C09J5/02

CPC分类号： C04B41/009 ,  B29C59/16 ,  C03C17/23 ,  C03C23/0055 ,  C03C23/006 ,  C04B41/0027 ,  C04B41/80 ,  C08J7/12 ,  B29C2035/0872 ,  B29C2791/006 ,  C03C2217/211 ,  C03C2217/215 ,  C03C2217/23 ,  C03C2218/32

摘要： A process for modifying the surfaces of a polymer, ceramic, ITO or glass by irradiating energized ion particles onto the surfaces of the polymer, ceramic, ITO or glass, while blowing a reactive gas directly over the surface of the polymer, ceramic, ITO or glass under a vacuum condition, to decrease the wetting angle of the surface. The process can be widely used in the fields of polymers because it provides effects of increasing the spreading of aqueous dyestuffs, increasing adhesive strength with other materials and inhibition of light scattering by decreasing the wetting angle of the material surface.

摘要翻译： 通过在聚合物，陶瓷，ITO或玻璃的表面上照射赋能的离子粒子，同时将反应性气体直接吹到聚合物，陶瓷，ITO或其表面上，来改性聚合物，陶瓷，ITO或玻璃的表面的方法 玻璃在真空条件下，以减少表面的润湿角度。 该方法可以广泛用于聚合物领域，因为它提供了增加水性染料的铺展性，增加与其它材料的粘合强度以及通过降低材料表面的润湿角抑制光散射的效果。

公开(公告)号：US5464657A

公开(公告)日：1995-11-07

申请号：US264816

申请日：1994-06-23

申请人： Patricia R. Athey ,  Douglas S. Dauson ,  David E. Lecocq ,  George A. Neuman ,  John F. Sopko ,  Royann L. Stewart-Davis

发明人： Patricia R. Athey ,  Douglas S. Dauson ,  David E. Lecocq ,  George A. Neuman ,  John F. Sopko ,  Royann L. Stewart-Davis

IPC分类号： B32B9/00 ,  B32B17/06 ,  C03C17/00 ,  C03C17/23 ,  C03C17/245 ,  C03C17/30 ,  C03C17/34 ,  C07C7/04 ,  C23C16/40 ,  C23C16/44 ,  C23C16/453 ,  C23C16/455 ,  C23C16/54 ,  C23C16/00

CPC分类号： C03C17/245 ,  C03C17/002 ,  C03C17/2453 ,  C03C17/3417 ,  C23C16/401 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/453 ,  C23C16/545 ,  C03C2217/211 ,  C03C2217/212 ,  C03C2217/213 ,  C03C2217/215 ,  C03C2217/216 ,  C03C2217/218 ,  C03C2217/219 ,  C03C2217/228 ,  C03C2217/23 ,  C03C2217/241 ,  C03C2217/244 ,  C03C2218/152

摘要： A method for coating a moving substrate provides a coating having a chemical composition which varies continuously from the interface with the substrate to the opposite surface of the coating. The method involves directing a vapor coating composition toward a substrate surface and moving portions of the vapor in opposite directions. A vapor coating mixture may include a tin-containing precursor and a silicon-containing precursor. An accelerant, e.g. a phosphorus-containing precursor, may be used with the metal-containing precursors to increase the deposition rate of the coating. The coating deposited on the substrate has regions of continuously varying weight percent of silicon oxide and tin oxide as the distance from the substrate-coating interface increases, with the surface of the coating farthest from the substrate-coating interface being predominantly tin oxide. The regions of varying composition provide the coating with varying indices of refraction to eliminate iridescence to provide a coated article, particularly a tin oxide coated glass article, with a neutral color.

摘要翻译： 涂覆移动衬底的方法提供了具有从衬底到衬底的相对表面连续变化的化学组成的涂层。 该方法包括将蒸气涂料组合物引向衬底表面，并使蒸汽的相反方向移动。 蒸气涂覆混合物可以包括含锡前体和含硅前体。 促进剂，例如。 含磷前体可以与含金属的前体一起使用以增加涂层的沉积速率。 沉积在基板上的涂层具有连续改变重量百分比的氧化硅和氧化锡的区域，这是随着与基板 - 涂层界面的距离增加，涂层表面离基材 - 涂层界面最远的地方主要是氧化锡。 不同组成的区域为涂层提供了不同的折射率，以消除虹彩以提供具有中性色的涂层制品，特别是涂有氧化锡的玻璃制品。

公开(公告)号：US4859499A

公开(公告)日：1989-08-22

申请号：US821365

申请日：1986-01-22

申请人： Vincent Sauvinet ,  Jean Bletry ,  Micheline Bonnaud ,  Maurice Trouve

发明人： Vincent Sauvinet ,  Jean Bletry ,  Micheline Bonnaud ,  Maurice Trouve

IPC分类号： C03C17/23 ,  C03C17/25 ,  C07C51/41 ,  C07C53/06 ,  H01L31/18

CPC分类号： H01L31/1884 ,  C03C17/23 ,  C03C17/25 ,  C07C51/412 ,  C07C53/06 ,  C03C2217/215 ,  C03C2217/231 ,  C03C2218/112 ,  C03C2218/17 ,  Y02E10/50

摘要： A method for coating a substrate, preferably of glass, with a pyrolyzed transparent, electroconductive layer. The coating is comprised of indium formate, optionally mixed with a powdered or gaseous tin compound or a gaseous organotin compound. The coating layer is deposited upon a hot substrate whereupon it pyrolytically decomposes, forming a layer which is subsequently heat treated in a reducing or an oxidizing atmosphere to optionally enhance the low emissivity and low resistivity of the coating or reduce said low emissivity and low resistivity properties.

摘要翻译： 一种用热解的透明导电层涂覆基底，优选玻璃的方法。 该涂层由甲酸铟组成，任选地与粉状或气态锡化合物或气态有机锡化合物混合。 涂层沉积在热的基底上，然后它被热分解，形成一层随后在还原或氧化气氛中进行热处理以选择性地提高涂层的低发射率和低电阻率或降低所述低发射率和低电阻率特性 。

公开(公告)号：US3027277A

公开(公告)日：1962-03-27

申请号：US62705356

申请日：1956-12-07

申请人： PHILIPS CORP

发明人： DER LINDEN PETRUS CORNELIS VAN

IPC分类号： C03C17/25 ,  H01B1/00 ,  H01B1/08 ,  H01C7/00 ,  H01J25/70

CPC分类号： H01J25/70 ,  C03C17/25 ,  C03C2217/215 ,  C03C2217/24 ,  C03C2217/243 ,  C03C2218/112 ,  H01B1/00 ,  H01B1/08 ,  H01C7/006

公开(公告)号：US2694649A

公开(公告)日：1954-11-16

申请号：US10290049

申请日：1949-07-02

申请人： PITTSBURGH PLATE GLASS CO

发明人： TARNOPOL MILTON S

IPC分类号： C03C17/23

CPC分类号： C03C17/23 ,  C03C2217/215 ,  C03C2218/112 ,  Y10T428/265

公开(公告)号：US08435637B2

公开(公告)日：2013-05-07

申请号：US12926979

申请日：2010-12-21

申请人： Nestor P. Murphy ,  Rudolph Hugo Petrmichl ,  Vijayan S. Veerasamy

发明人： Nestor P. Murphy ,  Rudolph Hugo Petrmichl ,  Vijayan S. Veerasamy

IPC分类号： B32B9/00

CPC分类号： C03C17/23 ,  C03C17/22 ,  C03C17/225 ,  C03C17/3417 ,  C03C17/3435 ,  C03C17/3441 ,  C03C17/3452 ,  C03C2217/215 ,  C03C2217/218 ,  C03C2217/228 ,  C03C2217/23 ,  C03C2217/281 ,  C03C2217/285 ,  C23C14/024 ,  C23C14/08 ,  C23C14/086 ,  C23C14/58 ,  Y10T428/26 ,  Y10T428/265 ,  Y10T428/30 ,  Y10T428/31627

摘要： A scratch resistant coated article is provided which is also resistant to attacks by at least some fluoride-based etchant(s) for at least a period of time. In certain example embodiments, an anti-etch layer(s) is provided on a glass substrate in order to protect the glass substrate from attacks by fluoride-based etchant(s). In certain example embodiments, the anti-etch layer(s) is substantially transparent to visible light. In certain embodiments, a DLC layer(s) may be provided over the anti-etch layer. An underlayer may be provided under the anti-etch layer(s) in certain example embodiments. In certain example embodiments, the anti-etch layer(s) may be of or include a carbide and/or oxycarbide of Zr, Sn or the like.

摘要翻译： 提供了耐刮擦涂层制品，其还耐受至少一些基于氟化物的蚀刻剂至少一段时间的攻击。 在某些示例性实施例中，在玻璃基板上提供抗蚀刻层，以便保护玻璃基板免受基于氟化物的蚀刻剂的攻击。 在某些示例性实施例中，抗蚀刻层对可见光基本上是透明的。 在某些实施例中，可以在抗蚀刻层上提供DLC层。 在某些示例性实施例中，可以在抗蚀刻层下面设置底层。 在某些示例性实施例中，抗蚀刻层可以是或包括Zr，Sn等的碳化物和/或碳氧化物。

公开(公告)号：US06533965B1

公开(公告)日：2003-03-18

申请号：US09718982

申请日：2000-11-22

申请人： Makoto Sasaki ,  Chae Gee Sung ,  Kazuyuki Arai

发明人： Makoto Sasaki ,  Chae Gee Sung ,  Kazuyuki Arai

IPC分类号： H01B108

CPC分类号： C23C14/5806 ,  C03C17/2453 ,  C03C17/253 ,  C03C2217/211 ,  C03C2217/215 ,  C03C2217/216 ,  C03C2217/23 ,  C23C14/086 ,  C23C14/3414 ,  C23C30/00 ,  G02F1/13439 ,  H01B1/08

摘要： A transparent electrically conductive oxide film is composed of a compound oxide containing indium oxide, tin oxide, and zinc oxide and includes a connecting section, in which the tin content is higher than the zinc content at least in connecting section, and at least the connection section has crystallinity. Alternatively, in the transparent electrically conductive oxide film, the atomic percentage of zinc to the total of zinc, indium, and tin is in the range of about 1 at % through about 9 at %, the atomic ratio of tin to zinc is about 1 or more, the atomic percentage of tin to the total of zinc, indium, and tin is about 20 at % or less, and at least a portion thereof has crystallinity. An electronic apparatus provided with such a transparent electrically conductive oxide film as at least a portion of the electric circuit thereof, a target for forming a transparent electrically conductive oxide film, and a method for fabricating a substrate provided with a transparent electrically conductive oxide film are also disclosed.

摘要翻译： 透明导电氧化物膜由包含氧化铟，氧化锡和氧化锌的复合氧化物组成，并且包括至少在连接部分中锡含量高于锌含量的连接部分，并且至少连接 截面具有结晶度。 或者，在透明导电氧化物膜中，锌与锌，铟和锡的总量的原子百分比在约1at％至约9at％的范围内，锡与锌的原子比为约1 以上，锡与锌，铟和锡的合计的原子百分比为约20原子％以下，其至少一部分具有结晶性。 一种具有至少一部分电路的透明导电氧化膜的电子设备，形成透明导电氧化物膜的靶，以及具有透明导电氧化膜的基板的制造方法， 也披露。