公开(公告)号：US08053515B2

公开(公告)日：2011-11-08

申请号：US11949328

申请日：2007-12-03

申请人： Edmund Elce ,  Andrew Bell ,  Brian Knapp ,  Hendra Ng ,  Larry F. Rhodes ,  Robert Shick ,  Wei Zhang ,  William DiMenna ,  Saikumar Jayaraman ,  Jianyong Jin ,  Rajesh Raja Puthenkovilakom ,  Ramakrishna Ravikiran ,  Xiaoming Wu ,  Etsu Takeuchi

发明人： Edmund Elce ,  Andrew Bell ,  Brian Knapp ,  Hendra Ng ,  Larry F. Rhodes ,  Robert Shick ,  Wei Zhang ,  William DiMenna ,  Saikumar Jayaraman ,  Jianyong Jin ,  Rajesh Raja Puthenkovilakom ,  Ramakrishna Ravikiran ,  Xiaoming Wu ,  Etsu Takeuchi

IPC分类号： C08G63/60

CPC分类号： C08G61/04 ,  C08F232/08 ,  G03F7/0388

摘要： A polymer includes a first type of repeat unit represented by Formula I: where X is selected from —CH2—, —CH2—CH2—, or —O—; m is an integer from 0 to about 5; and where for the first type of repeat unit one of R1, R2, R3, and R4 is one of a maleimide containing group and for the second type of repeat unit one of R1, R2, R3, and R4 is a hindered aromatic group, a C8 or greater alkyl group, a C4 or greater halohydrocarbyl or perhalocarbyl group, a C7 or greater aralkyl group, or a heteroatom hydrocarbyl or halohydrocarbyl group.

摘要翻译： 聚合物包括由式I表示的第一类型的重复单元：其中X选自-CH 2 - ， - CH 2 -CH 2 - 或-O-; m是0至约5的整数; 并且对于第一类型的重复单元，R 1，R 2，R 3和R 4中的一个是含马来酰亚胺基团之一，并且对于第二类型的重复单元，R 1，R 2，R 3和R 4中的一个是受阻芳族基团， C8或更大的烷基，C4或更大的卤代烃基或全卤代羰基，C7或更高的芳烷基或杂原子烃基或卤代烃基。

公开(公告)号：US5571881A

公开(公告)日：1996-11-05

申请号：US476810

申请日：1995-06-07

申请人： Brian L. Goodall ,  George M. Benedikt ,  Lester H. McIntosh, III ,  Dennis A. Barnes ,  Larry F. Rhodes

发明人： Brian L. Goodall ,  George M. Benedikt ,  Lester H. McIntosh, III ,  Dennis A. Barnes ,  Larry F. Rhodes

IPC分类号： C08F4/70 ,  C08F4/30 ,  C08F4/42 ,  C08F4/80 ,  C08F32/00 ,  C08F32/08 ,  C08F36/04 ,  C08F36/20 ,  C08F210/14 ,  C08F232/08 ,  C08F236/20 ,  C08F4/76 ,  C08F4/78

CPC分类号： C08F232/08 ,  C08F32/08

摘要： Addition polymers derived from norbornene-functional monomers are terminated with an olefinic moiety derived from a chain transfer agent selected from a compound having a terminal olefinic double bond between adjacent carbon atoms, excluding styrenes, vinyl ethers, and conjugated dienes and at least one of said carbon atoms has two hydrogen atoms attached thereto. The addition polymers of this invention are prepared from a single or multicomponent catalyst system including a Group VIII metal ion source. The catalyst systems are unique in that they catalyze the insertion of the chain transfer agent exclusively at a terminal end of the polymer chain.

公开(公告)号：US5569730A

公开(公告)日：1996-10-29

申请号：US339863

申请日：1994-11-15

申请人： Brian L. Goodall ,  George M. Benedikt ,  Lester H. McIntosh, III ,  Dennis A. Barnes ,  Larry F. Rhodes

发明人： Brian L. Goodall ,  George M. Benedikt ,  Lester H. McIntosh, III ,  Dennis A. Barnes ,  Larry F. Rhodes

IPC分类号： C08F4/70 ,  C08F4/30 ,  C08F4/42 ,  C08F4/80 ,  C08F32/00 ,  C08F32/08 ,  C08F36/04 ,  C08F36/20 ,  C08F210/14 ,  C08F232/08 ,  C08F236/20 ,  C08F10/00 ,  C08F32/02 ,  C08F34/00

CPC分类号： C08F232/08 ,  C08F32/08

摘要： Addition polymers derived from norbornene-functional monomers are terminated with an olefinic moiety derived from a chain transfer agent selected from a compound having a terminal olefinic double bond between adjacent carbon atoms, excluding styrenes, vinyl ethers, and conjugated dienes and at least one of said carbon atoms has two hydrogen atoms attached thereto. The addition polymers of this invention are prepared from a single or multicomponent catalyst system including a Group VIII metal ion source. The catalyst systems are unique in that they catalyze the insertion of the chain transfer agent exclusively at a terminal end of the polymer chain.

摘要翻译： 衍生自降冰片烯官能单体的加成聚合物由衍生自链转移剂的烯烃部分封端，所述链转移剂选自相邻碳原子之间具有末端烯属双键的化合物，不包括苯乙烯，乙烯基醚和共轭二烯，并且所述 碳原子上连有两个氢原子。 本发明的加成聚合物由包含VIII族金属离子源的单组分或多组分催化剂体系制备。 催化剂体系是独特的，因为它们催化仅在聚合物链的末端插入链转移剂。

公开(公告)号：US07101654B2

公开(公告)日：2006-09-05

申请号：US10757119

申请日：2004-01-14

申请人： Xiaoming Wu ,  Larry F. Rhodes ,  Lawrence Seger

发明人： Xiaoming Wu ,  Larry F. Rhodes ,  Lawrence Seger

IPC分类号： G03F7/039 ,  G03F7/075 ,  G03F7/30 ,  C08F28/06 ,  C08G77/00

CPC分类号： G03F7/0395 ,  C08G61/06 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111

摘要： The disclosed invention relates to novel norbornene-type monomers containing pendent lactone or sultone groups. The invention also relates to norbornene-type polymers and copolymers comprising one or more repeating units represented by the formula: and containing pendent lactone or sultone groups. These polymers and copolymers are useful in making photoimagable materials. The photoimagable materials are particularly suitable for use in photoresist compositions useful in 193 and 157 nm photolithography.

摘要翻译： 所公开的发明涉及含有侧链内酯或磺内酯基团的新型降冰片烯型单体。 本发明还涉及降冰片烯型聚合物和共聚物，其包含一个或多个由下式表示的重复单元：并含有侧链内酯或磺内酯基。 这些聚合物和共聚物可用于制备可光成像材料。 光可塑材料特别适合用于193和157nm光刻中的光致抗蚀剂组合物。

公开(公告)号：US07341818B2

公开(公告)日：2008-03-11

申请号：US11033010

申请日：2005-01-10

申请人： Xiaoming Wu ,  Larry F. Rhodes ,  Lawrence Seger

发明人： Xiaoming Wu ,  Larry F. Rhodes ,  Lawrence Seger

IPC分类号： G03F7/039 ,  G03F7/033 ,  G03F7/30

CPC分类号： G03F7/0395 ,  C08G61/06 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111

摘要： The disclosed invention relates to novel norborne-type monomers containing pendent lactone or sultone groups. The invention also relates to norborne-type polymers and copolymers containing pendent lactone or sultone groups. These polymers and copolymers are useful in making photoimagable materials. The photoimagable materials are particularly suitable for use in photoresist compositions useful in 193 and 157 nm photolithography.

摘要翻译： 所公开的发明涉及含有侧链内酯或磺内酯基团的新型去偶型单体。 本发明还涉及含有侧链内酯或磺内酯基团的去偶型聚合物和共聚物。 这些聚合物和共聚物可用于制备可光成像材料。 光可塑材料特别适合用于193和157nm光刻中的光致抗蚀剂组合物。

公开(公告)号：US09175123B2

公开(公告)日：2015-11-03

申请号：US13223884

申请日：2011-09-01

申请人： David Christoph Mueller ,  Toby Cull ,  Pawel Miskiewicz ,  Miguel Carrasco-Orozco ,  Andrew Bell ,  Edmund Elce ,  Larry F. Rhodes ,  Kazuyoshi Fujita ,  Hendra Ng ,  Pramod Kandanarachchi ,  Steven Smith

发明人： David Christoph Mueller ,  Toby Cull ,  Pawel Miskiewicz ,  Miguel Carrasco-Orozco ,  Andrew Bell ,  Edmund Elce ,  Larry F. Rhodes ,  Kazuyoshi Fujita ,  Hendra Ng ,  Pramod Kandanarachchi ,  Steven Smith

IPC分类号： B32B27/32 ,  C08F132/08 ,  C08F232/00 ,  H01L51/05

CPC分类号： H01L51/052 ,  C08F32/04 ,  C08F232/00 ,  C08L45/00 ,  H01L51/0035 ,  H01L51/004 ,  H01L51/0043 ,  H01L51/0537 ,  H01L51/0541 ,  H01L51/0545 ,  H01L51/107

摘要： Embodiments in accordance with the present invention provide for the use of polycycloolefins in electronic devices and more specifically to the use of such polycycloolefins as gate insulator layers used in the fabrication of electronic devices, the electronic devices that encompass such polycycloolefin gate insulator and processes for preparing such polycycloolefin gate insulator layers and electronic devices encompassing such layers.

摘要翻译： 根据本发明的实施方案提供了聚环烯烃在电子器件中的用途，更具体地说，涉及使用这种聚环烯烃作为用于制造电子器件的栅极绝缘体层，包括这种聚环烯烃栅极绝缘体的电子器件以及用于制备 这种多环烯烃栅极绝缘体层和包含这些层的电子器件。

公开(公告)号：US20120056249A1

公开(公告)日：2012-03-08

申请号：US13223784

申请日：2011-09-01

申请人： David Christoph Mueller ,  Pawel Miskiewicz ,  Toby Cull ,  Piotr Wierzchowiec ,  Andrew Bell ,  Edmund Elce ,  Larry F. Rhodes ,  Kazuyoshi Fujita ,  Hendra Ng ,  Pramod Kandanarachchi ,  Steven Smith

发明人： David Christoph Mueller ,  Pawel Miskiewicz ,  Toby Cull ,  Piotr Wierzchowiec ,  Andrew Bell ,  Edmund Elce ,  Larry F. Rhodes ,  Kazuyoshi Fujita ,  Hendra Ng ,  Pramod Kandanarachchi ,  Steven Smith

IPC分类号： B32B27/32 ,  C08F136/20 ,  H01L21/336 ,  C08F232/08 ,  H01L29/78 ,  C08F236/20 ,  C08F132/08

CPC分类号： H01L51/0043 ,  C08F232/00 ,  C08L65/00 ,  C08L2203/20 ,  H01L51/0035 ,  H01L51/0529 ,  H01L51/0541 ,  H01L51/0545 ,  Y10T428/31938

摘要： Embodiments in accordance with the present invention provide for the use of polycycloolefins in electronic devices and more specifically to the use of such polycycloolefins as interlayers applied to fluoropolymer layers used in the fabrication of electronic devices, the electronic devices that encompass such polycycloolefin interlayers and processes for preparing such polycycloolefin interlayers and electronic devices.

摘要翻译： 根据本发明的实施方案提供了聚环烯烃在电子器件中的用途，更具体地说，涉及使用这种聚环烯烃作为中间层，其用于制备电子器件的氟聚合物层，包含这种聚环烯夹层的电子器件和 制备这种聚环烯夹层和电子器件。

公开(公告)号：US06538087B2

公开(公告)日：2003-03-25

申请号：US09916449

申请日：2001-07-27

申请人： Xiao-Mei Zhao ,  Ramakrishna Ravikiran ,  Phillip S. Neal ,  Robert A. Shick ,  Larry F. Rhodes ,  Andrew Bell

发明人： Xiao-Mei Zhao ,  Ramakrishna Ravikiran ,  Phillip S. Neal ,  Robert A. Shick ,  Larry F. Rhodes ,  Andrew Bell

IPC分类号： C08F1000

CPC分类号： G02B6/1221 ,  C08F32/08 ,  C08F34/00 ,  C08F230/08 ,  C08F232/02 ,  C08F232/08 ,  C08F234/02 ,  C08F234/04 ,  G02B6/132 ,  G02B6/138 ,  G02B2006/12069 ,  G02B2006/12097

摘要： The present invention relates to polymer compositions and methods of polymerizing such compositions. Furthermore, the present invention relates to polymer compositions that are useful in forming waveguides and to methods for making waveguides using such polymer compositions.

公开(公告)号：US07759439B2

公开(公告)日：2010-07-20

申请号：US12056481

申请日：2008-03-27

申请人： Larry F. Rhodes ,  Steven Smith ,  Pramod Kandanarachchi ,  Chun Chang ,  Patrick Bradley

发明人： Larry F. Rhodes ,  Steven Smith ,  Pramod Kandanarachchi ,  Chun Chang ,  Patrick Bradley

IPC分类号： C08F32/04

CPC分类号： C08F4/70 ,  C08F2/38

摘要： A method of controlling the molecular weight of poly(cyclic)olefin (norbornene-type) polymers and activating the polymerization thereof with a single material is provided. Such method include adding a chain transfer/activating agent to a mixture of monomer(s), catalyst, solvent and an optional cocatalyst and polymerizing the mixture to form a polymer. It is shown that the amount of chain transfer/activating agent in the mixture can serve to control the molecular weight of the resulting polymer, its percent conversion or both, and in some embodiments the optical density of the resulting polymer.

摘要翻译： 提供了一种控制聚（环状）烯烃（降冰片烯型）聚合物的分子量并用单一材料活化其聚合的方法。 这种方法包括向单体，催化剂，溶剂和任选的助催化剂的混合物中加入链转移/活化剂并使混合物聚合以形成聚合物。 显示混合物中链转移/活化剂的量可用于控制所得聚合物的分子量，其转化百分率或两者，并且在一些实施方案中可用于所得聚合物的光密度。

公开(公告)号：US07608382B2

公开(公告)日：2009-10-27

申请号：US11981617

申请日：2007-10-31

申请人： Larry F. Rhodes ,  Chun Chang ,  Leah J. Langsdorf ,  Howard A. Sidaway ,  Hiroshi Ito

发明人： Larry F. Rhodes ,  Chun Chang ,  Leah J. Langsdorf ,  Howard A. Sidaway ,  Hiroshi Ito

IPC分类号： G03F7/004

CPC分类号： G03F7/0395 ,  G03F7/30 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/108

摘要： A photoresist composition encompassing a polymer having at least one polycyclic olefin repeat unit having a desired exo mole percent is provided, where the repeat unit is derived from a polycyclic olefin monomer having the desired exo mole percent. Such polymers having such repeat units having a desired exo mole percent offer control of differential dissolution rate and hence provide enhanced imaging properties. Exemplary monomers having a desired exo mole percent are also provided.

摘要翻译： 提供了包含具有至少一个具有所需外摩尔百分数的多环烯烃重复单元的聚合物的光致抗蚀剂组合物，其中重复单元衍生自具有所需外摩尔百分数的多环烯烃单体。 具有所需外加摩尔百分比的这种重复单元的这种聚合物提供了差异溶解速率的控制，因此提供增强的成像性能。 还提供了具有所需外用摩尔百分数的示例性单体。