公开(公告)号：US5935867A

公开(公告)日：1999-08-10

申请号：US481895

申请日：1995-06-07

申请人： Roger Alvis ,  Scott Luning ,  Peter Griffin

发明人： Roger Alvis ,  Scott Luning ,  Peter Griffin

IPC分类号： H01L21/265 ,  H01L21/336 ,  H01L29/78

CPC分类号： H01L29/66659 ,  H01L21/26586 ,  H01L29/7835

摘要： A process for forming a shallow, lightly doped region in a semiconductor device. The method comprises the steps of providing a semiconductor substrate having a surface; growing an oxide layer on the substrate, the oxide having a thickness; depositing a layer of polysilicon on the oxide; patterning the polysilicon layer and the oxide layer to provide a gate structure; and implanting into the substrate a source and a drain region about the gate structure at an angle less than 90 degrees with respect to the surface of the substrate.

摘要翻译： 一种用于在半导体器件中形成浅的，轻掺杂区域的工艺。 该方法包括提供具有表面的半导体衬底的步骤; 在衬底上生长氧化物层，氧化物具有厚度; 在氧化物上沉积多晶硅层; 图案化多晶硅层和氧化物层以提供栅极结构; 以及相对于所述衬底的表面以小于90度的角度将围绕所述栅极结构的源极和漏极区域注入到所述衬底中。

公开(公告)号：US08030144B2

公开(公告)日：2011-10-04

申请号：US12576987

申请日：2009-10-09

申请人： Scott Luning ,  Frank Scott Johnson

发明人： Scott Luning ,  Frank Scott Johnson

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L21/84 ,  H01L21/338 ,  H01L21/336 ,  H01L21/3205

CPC分类号： H01L29/7842 ,  H01L29/66795 ,  H01L29/785

摘要： A method of fabricating a semiconductor device is provided. The method forms a fin arrangement on a semiconductor substrate, the fin arrangement comprising one or more semiconductor fin structures. The method continues by forming a gate arrangement overlying the fin arrangement, where the gate arrangement includes one or more adjacent gate structures. The method proceeds by forming an outer spacer around sidewalls of each gate structure. The fin arrangement is then selectively etched, using the gate structure and the outer spacer(s) as an etch mask, resulting in one or more semiconductor fin sections underlying the gate structure(s). The method continues by forming a stress/strain inducing material adjacent sidewalls of the one or more semiconductor fin sections.

摘要翻译： 提供一种制造半导体器件的方法。 所述方法在半导体衬底上形成翅片布置，所述翅片布置包括一个或多个半导体翅片结构。 该方法通过形成覆盖鳍片布置的栅极布置继续，其中栅极布置包括一个或多个相邻栅极结构。 该方法通过在每个栅极结构的侧壁周围形成外部间隔来进行。 然后使用栅极结构和外部间隔物作为蚀刻掩模来选择性地蚀刻鳍片布置，从而导致栅极结构下面的一个或多个半导体鳍片部分。 该方法通过在一个或多个半导体鳍片部分的侧壁附近形成应力/应变诱导材料来继续。

公开(公告)号：US20100308409A1

公开(公告)日：2010-12-09

申请号：US12480263

申请日：2009-06-08

申请人： Frank S. Johnson ,  Scott Luning ,  Michael J. Hargrove

发明人： Frank S. Johnson ,  Scott Luning ,  Michael J. Hargrove

IPC分类号： H01L27/088 ,  H01L21/308 ,  H01L21/31 ,  H01L21/8234

CPC分类号： H01L21/3086 ,  H01L21/823807 ,  H01L21/823821 ,  H01L21/845 ,  H01L27/1211 ,  H01L29/7843

摘要： FinFET structures with fins having stress-inducing caps and methods for fabricating such FinFET structures are provided. In an exemplary embodiment, a method for forming stressed structures comprises forming a first stress-inducing material overlying a semiconductor material and forming spacers overlying the first stress-inducing material. The first stress-inducing material is etched using the spacers as an etch mask to form a plurality of first stress-inducing caps. The semiconductor material is etched using the plurality of first stress-inducing caps as an etch mask.

摘要翻译： 提供具有应力诱导帽的翅片的FinFET结构和用于制造这种FinFET结构的方法。 在示例性实施例中，用于形成应力结构的方法包括形成覆盖半导体材料的第一应力诱导材料并形成覆盖第一应力诱导材料的间隔物。 使用间隔物作为蚀刻掩模蚀刻第一应力诱导材料，以形成多个第一应力诱导帽。 使用多个第一应力诱导盖作为蚀刻掩模蚀刻半导体材料。

公开(公告)号：US20060272574A1

公开(公告)日：2006-12-07

申请号：US11147600

申请日：2005-06-07

申请人： Andrew Waite ,  Scott Luning

发明人： Andrew Waite ,  Scott Luning

IPC分类号： C30B23/00 ,  C30B25/00 ,  C30B28/12 ,  C30B28/14

CPC分类号： H01L29/045 ,  H01L21/76254 ,  H01L21/823807

摘要： Methods for manufacturing an integrated circuit are provided. An exemplary method comprises the step of providing a silicon substrate having a first crystalline orientation. A silicon layer having a second crystalline orientation is bonded to the silicon substrate. The second crystalline orientation is different from the first crystalline orientation. The silicon layer is etched to expose a portion of the silicon substrate and an amorphous silicon layer is deposited on the exposed portion. The amorphous silicon layer is transformed into a regrown crystalline silicon layer having the first crystalline orientation. A first field effect transistor is formed on the silicon layer and a second field effect transistor is formed on the regrown crystalline silicon layer.

摘要翻译： 提供了制造集成电路的方法。 一种示例性方法包括提供具有第一晶体取向的硅衬底的步骤。 具有第二结晶取向的硅层与硅衬底接合。 第二结晶取向与第一结晶取向不同。 蚀刻硅层以暴露硅衬底的一部分，并且非晶硅层沉积在暴露部分上。 将非晶硅层转变成具有第一晶体取向的再结晶的晶体硅层。 在硅层上形成第一场效应晶体管，在再生晶体硅层上形成第二场效应晶体管。

公开(公告)号：US07138320B2

公开(公告)日：2006-11-21

申请号：US10974232

申请日：2004-10-24

申请人： Ralf van Bentum ,  Scott Luning ,  Andy Wei

发明人： Ralf van Bentum ,  Scott Luning ,  Andy Wei

IPC分类号： H01L21/336

CPC分类号： H01L29/66628 ,  H01L29/66545 ,  H01L29/66553 ,  H01L29/66636 ,  H01L29/66742 ,  H01L29/7848 ,  H01L29/78621 ,  H01L29/78687

摘要： By recessing a semiconductor layer, preferably by locally oxidizing the semiconductor layer, a stress-inducing material and/or a dopant species may be introduced into the thinned semiconductor layer in the vicinity of a gate electrode structure by means of a subsequent epitaxial growth process. In particular, the stress-inducing material formed adjacent to the gate electrode structure exerts compressive or tensile stress, depending on the type of material deposited, thereby also enhancing the mobility of the charge carriers in a channel region of the transistor element.

摘要翻译： 通过优选通过半导体层的局部氧化来凹入半导体层，可以通过随后的外延生长工艺在栅极电极结构附近的薄化半导体层中引入应力诱导材料和/或掺杂物种类。 特别地，与栅电极结构相邻形成的应力诱导材料根据所沉积材料的类型施加压缩或拉伸应力，从而也增强了晶体管元件的沟道区中电荷载流子的迁移率。

公开(公告)号：US06972478B1

公开(公告)日：2005-12-06

申请号：US11075774

申请日：2005-03-07

申请人： Andrew M. Waite ,  Scott Luning

发明人： Andrew M. Waite ,  Scott Luning

IPC分类号： H01L21/20 ,  H01L21/8238 ,  H01L21/84 ,  H01L27/12 ,  H01L29/04 ,  H01L29/78

CPC分类号： H01L29/045 ,  H01L21/2007 ,  H01L21/823807 ,  H01L21/84 ,  H01L27/1203 ,  H01L27/1207 ,  H01L29/7833

摘要： An integrated circuit and methods for its manufacture are provided. The integrated circuit comprises a bulk silicon substrate having a first region of crystalline orientation and a second region of crystalline orientation. A layer of silicon on insulator overlies a portion of the bulk silicon substrate. At least one field effect transistor is formed in the layer of silicon on insulator, at least one P-channel field effect transistor is formed in the second region of crystalline orientation, and at least one N-channel field effect transistor is formed in the first region of crystalline orientation.

摘要翻译： 提供集成电路及其制造方法。 集成电路包括具有<100>晶体取向的第一区域和<110>晶体取向的第二区域的体硅衬底。 绝缘体上的一层覆盖在体硅衬底的一部分上。 在绝缘体上的硅层中形成至少一个场效应晶体管，在<110>晶取向的第二区域中形成至少一个P沟道场效应晶体管，并形成至少一个N沟道场效应晶体管 在<100>晶体取向的第一区域。

公开(公告)号：US06548335B1

公开(公告)日：2003-04-15

申请号：US09651891

申请日：2000-08-30

申请人： Carl Robert Huster ,  Concetta Riccobene ,  Scott Luning

发明人： Carl Robert Huster ,  Concetta Riccobene ,  Scott Luning

IPC分类号： H01L21336

CPC分类号： H01L29/66651 ,  H01L21/28167 ,  H01L21/28211

摘要： Channel carrier mobility is increased by reducing gate/gate dielectric interface roughness, thereby reducing surface scattering. Embodiments include depositing a layer of silicon by selective epitaxy prior to gate oxide formation to provide a substantially atomically smooth surface resulting in a smoother interface between the gate polysilicon and silicon oxide after oxidation.

摘要翻译： 通过减少栅极/栅极电介质界面粗糙度从而减小表面散射，增加沟道载流子迁移率。 实施例包括在栅极氧化物形成之前通过选择性外延沉积硅层以提供基本上原子上平滑的表面，导致在氧化后栅极多晶硅和氧化硅之间的平滑的界面。

公开(公告)号：US06440819B1

公开(公告)日：2002-08-27

申请号：US09034100

申请日：1998-03-03

申请人： Scott Luning

发明人： Scott Luning

IPC分类号： H01L2176

CPC分类号： H01L21/76221

摘要： A local oxidation of silicon (LOCOS) process directed to forming differential field oxide thickness on a single wafer with minimized process steps and optimized planarity. When patterning the masking layer, at least two window widths are formed in the masking layer, exposing the underlying substrate and pad oxide. When one of the window widths is sufficiently small, oxidation of the substrate will be inhibited causing reduced growth and thus a reduced field oxide thickness in that window as compared to other larger windows formed in the same masking layer, creating differential field oxide thicknesses in one growth step. To optimize planarity, prior to oxidation variable depth trenches are formed in alignment with the windows so that the resulting field oxide regions are substantially planar with the substantial surface.

摘要翻译： 硅的局部氧化（LOCOS）工艺旨在以最小化的工艺步骤和优化的平面性在单个晶片上形成差分场氧化物厚度。 当图案化掩模层时，在掩模层中形成至少两个窗口宽度，暴露下面的衬底和衬垫氧化物。 当窗口宽度之一足够小时，与在相同掩模层中形成的其它较大窗口相比，衬底的氧化将被抑制，导致生长减小并且因此减小了该窗口中的场氧化物厚度，从而在一个窗口中产生差异的场氧化物厚度 成长步骤 为了优化平面性，在氧化之前，可变深度沟槽形成为与窗口对准，使得所得到的场氧化物区域与实质表面基本上是平面的。

公开(公告)号：US6051473A

公开(公告)日：2000-04-18

申请号：US755222

申请日：1996-11-22

申请人： Emi Ishida ,  Scott Luning ,  Dong-Hyuk Ju ,  Don Draper

发明人： Emi Ishida ,  Scott Luning ,  Dong-Hyuk Ju ,  Don Draper

IPC分类号： H01L21/225 ,  H01L21/336 ,  H01L21/768 ,  H01L29/417

CPC分类号： H01L29/66606 ,  H01L21/76895 ,  H01L29/41775 ,  H01L29/66575 ,  H01L29/66628 ,  H01L21/2257 ,  H01L29/66545

摘要： A process in accordance with the invention enables the manufacturability of raised source-drain MOSFETs. In accordance with the invention, a raised source-drain material, having a window therein, is formed over the substrate. A gate oxide and window sidewall oxides are subsequently formed. Dopants are diffused into the substrate. A gate is formed within the window.

摘要翻译： 根据本发明的方法能够提高升高的源极 - 漏极MOSFET的可制造性。 根据本发明，在衬底上形成一个其中具有窗口的升高的源极 - 漏极材料。 随后形成栅极氧化物和窗口侧壁氧化物。 掺杂剂扩散到衬底中。 窗口内形成门。

公开(公告)号：US5854132A

公开(公告)日：1998-12-29

申请号：US346041

申请日：1994-11-29

申请人： Shekhar Pramanick ,  Scott Luning ,  Jonathon Fewkes

发明人： Shekhar Pramanick ,  Scott Luning ,  Jonathon Fewkes

IPC分类号： G03F7/09 ,  H01L21/027 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/465

CPC分类号： G03F7/091 ,  H01L21/0276 ,  H01L21/32137

摘要： A method for patterning a polysilicon layer includes creating a TiN layer above an amorphous silicon (a-Si) layer forming a TiN/a-Si stack. The TiN/a-Si stack is formed above the polysilicon layer. The TiN layer serves as an ARC to reduce overexposure of the photoresist used to pattern the polysilicon layer, while the a-Si layer prevents contamination of the layer below the polysilicon layer.

摘要翻译： 用于图案化多晶硅层的方法包括在形成TiN / a-Si叠层的非晶硅（a-Si）层上方形成TiN层。 在多晶硅层上形成TiN / a-Si叠层。 TiN层用作ARC以减少用于图案化多晶硅层的光致抗蚀剂的过度曝光，而a-Si层防止多晶硅层下面的层被污染。