公开(公告)号：US20070274640A1

公开(公告)日：2007-11-29

申请号：US11827267

申请日：2007-07-11

申请人： Ut Tran ,  Hamid Eslampour

发明人： Ut Tran ,  Hamid Eslampour

IPC分类号： G02B6/26

CPC分类号： G02B6/4232 ,  G02B6/422 ,  G02B6/4227 ,  G02B6/423 ,  H01S5/0224 ,  H01S5/02268 ,  H01S5/02272

摘要： Optical components may be precisely positioned in three dimensions with respect to one another. A bonder which has the ability to precisely position the components in two dimensions can be utilized. The components may be equipped with contacts at different heights so that as the components come together in a third dimension, their relative positions can be sensed. This information may be fed back to the bonder to control the precise alignment in the third dimension.

公开(公告)号：US06445536B1

公开(公告)日：2002-09-03

申请号：US09140903

申请日：1998-08-27

申请人： Steven C. Rudy ,  Hugh C. Hiner ,  Lien-Chang Wang ,  Yong Shen ,  Ut Tran ,  Yunju Ra ,  Durga Ravipati

发明人： Steven C. Rudy ,  Hugh C. Hiner ,  Lien-Chang Wang ,  Yong Shen ,  Ut Tran ,  Yunju Ra ,  Durga Ravipati

IPC分类号： G11B533

CPC分类号： G11B5/3163 ,  G11B5/3109 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/313 ,  G11B5/3967

摘要： A thin film head apparatus and method for forming such a thin film head. In one approach, the present invention recites forming a cavity in a dielectric layer. Next, a layer of high magnetic field saturation (HBsat) material is sputter-deposited over the dielectric layer such that the HBsat material is deposited into the cavity formed in the dielectric layer. The cavity in the dielectric layer functions as a mold or “stencil” for the HBsat material. The HBsat material deposited into the cavity is used to form the first core of a thin film head. After the formation of the first core of the thin film head, a gap layer of material is deposited above the dielectric layer and above the first core. Next, a layer of HBsat material is sputter-deposited above the gap layer of material and above the first core of the thin film head. The layer of HBsat material disposed above the gap layer of material and above the first core is used to form the second core of the thin film head. Hence, this invention forms first and second cores of a thin film head using sputter deposition processes. As a result, selected HBsat materials which were not well suited to conventional thin film head formation methods can now be used to form the cores of thin film head structures.

摘要翻译： 一种用于形成这种薄膜头的薄膜头装置和方法。 在一种方法中，本发明阐述了在电介质层中形成空腔。 接下来，将一层高磁场饱和（HBsat）材料溅射沉积在电介质层上，使得HBsat材料沉积到形成在电介质层中的空腔中。 电介质层中的空腔用作HBsat材料的模具或“模板”。 沉积到腔中的HBsat材料用于形成薄膜头的第一芯。 在形成薄膜头的第一芯之后，材料的间隙层沉积在介电层上方并在第一芯上方。 接下来，将一层HBsat材料溅射沉积在材料的间隙层的上方并位于薄膜头的第一芯上方。 设置在材料的间隙层之上和第一芯之上的HBsat材料层用于形成薄膜头的第二芯。 因此，本发明使用溅射沉积工艺形成薄膜头的第一和第二芯。 结果，现在可以使用非常适合于常规薄膜头形成方法的所选HBsat材料来形成薄膜头结构的芯。

公开(公告)号：US5578342A

公开(公告)日：1996-11-26

申请号：US498169

申请日：1995-07-05

申请人： Ut Tran ,  Tai Lee ,  Tran Son

发明人： Ut Tran ,  Tai Lee ,  Tran Son

IPC分类号： G11B5/31 ,  B05D5/12 ,  B05D1/18 ,  C23C14/32 ,  C25D5/02

CPC分类号： G11B5/3116 ,  G11B5/3163

摘要： A process for producing a thin film magnetic head uses the upper magnetic pole as a self-aligning mask for partially trimming the lower magnetic pole, wherein the yoke and pole tip regions to be trimmed are processed by separate and distinct photolithographic steps, thereby achieving noncritical alignment in the yoke area, while maintaining critical alignment in the pole tip region which includes the transducing gap.

摘要翻译： 用于制造薄膜磁头的方法使用上磁极作为自对准掩模，用于部分修整下磁极，其中要修整的磁轭和磁极尖端区域通过分开且不同的光刻步骤进行处理，由此实现非临界 同时在包括换能间隙的极尖区域保持临界对准。

公开(公告)号：US20170062694A1

公开(公告)日：2017-03-02

申请号：US15353695

申请日：2016-11-16

申请人： Dimitre Latev ,  Arman Hajati ,  Darren Todd Imai ,  Ut Tran

发明人： Dimitre Latev ,  Arman Hajati ,  Darren Todd Imai ,  Ut Tran

IPC分类号： H01L41/04 ,  B32B37/12 ,  H01L41/29 ,  B06B1/06 ,  H01L41/047 ,  H01L41/09

摘要： Techniques and structures for providing flexibility of a micromachined transducer array. In an embodiment, a transducer array includes a plurality of transducer elements each comprising a piezoelectric element and one or more electrodes disposed in or on a support layer. The support layer is bonded to a flexible layer including a polymer material, wherein flexibility of the transducer array results in part from a total thickness of a flexible layer. In another embodiment, flexibility of the transducer array results in part from one or more flexural structures formed therein.

摘要翻译： 提供微机械传感器阵列的灵活性的技术和结构。 在一个实施例中，换能器阵列包括多个换能器元件，每个换能器元件包括压电元件和设置在支撑层中或支撑层上的一个或多个电极。 支撑层结合到包括聚合物材料的柔性层，其中换能器阵列的灵活性部分地来自柔性层的总厚度。 在另一个实施例中，换能器阵列的灵活性部分地由其中形成的一个或多个弯曲结构导致。

公开(公告)号：US08749790B1

公开(公告)日：2014-06-10

申请号：US13314962

申请日：2011-12-08

申请人： Shawn M. Tanner ,  Yufeng Hu ,  Ut Tran ,  Zhongyan Wang ,  Zhong Shi ,  Sergei Sochava

发明人： Shawn M. Tanner ,  Yufeng Hu ,  Ut Tran ,  Zhongyan Wang ,  Zhong Shi ,  Sergei Sochava

IPC分类号： G01N21/55

CPC分类号： G01N21/553 ,  G01N21/7703

摘要： A structure for measuring energy absorption by a surface plasmon receptor or NFT on a waveguide comprises a first waveguide, a first input grating for coupling light comprising a first wavelength into the first waveguide, a first output grating for coupling light out of the first waveguide, a first plurality of surface plasmon receptors in cooperation with the first waveguide to receive light energy and located between the first input grating and the first output grating. The structure may further comprise a second waveguide, a second input grating for coupling light into the second waveguide, a second output grating for coupling light out of the second waveguide, a second plurality of surface plasmon receptors between the second input grating and the second output grating and in cooperation with the second waveguide to receive light energy, wherein the second plurality may be less than or greater than the first plurality.

摘要翻译： 用于测量波导上的表面等离子体激元受体或NFT的能量吸收的结构包括：第一波导，用于将包含第一波长的光引入第一波导的第一输入光栅，用于将光从第一波导耦合的第一输出光栅， 与第一波导协作以接收光能并位于第一输入光栅和第一输出光栅之间的第一多个表面等离子体激元受体。 该结构还可以包括第二波导，用于将光耦合到第二波导中的第二输入光栅，用于将光从第二波导耦合的第二输出光栅，在第二输入光栅和第二输出之间的第二多个表面等离子体激元 光栅并与第二波导配合以接收光能，其中第二多个可以小于或大于第一多个。

公开(公告)号：US08491801B1

公开(公告)日：2013-07-23

申请号：US13291702

申请日：2011-11-08

申请人： Shawn M. Tanner ,  Yufeng Hu ,  Ut Tran ,  Zhongyan Wang

发明人： Shawn M. Tanner ,  Yufeng Hu ,  Ut Tran ,  Zhongyan Wang

IPC分类号： B44C1/22 ,  G11B5/127

CPC分类号： G11B5/3133 ,  G11B5/6088 ,  G11B2005/0021 ,  Y10T29/49032 ,  Y10T29/49048

摘要： A method and system provides a near-field transducer (NFT) for an energy assisted magnetic recording (EAMR) transducer. The method and system include forming a sacrificial NFT structure having a shape a location corresponding to the NFT. A dielectric layer is deposited. A portion of the dielectric layer resides on the sacrificial NFT structure. At least this portion of the dielectric layer on the sacrificial structure is removed. The sacrificial NFT structure is removed, exposing an NFT trench in the dielectric layer. At least one conductive layer for the NFT is deposited. A first portion of the conductive layer(s) reside in the NFT trench. A second portion of the conductive layer(s) external to the NFT trench is removed to form the NFT.

摘要翻译： 一种方法和系统为能量辅助磁记录（EAMR）传感器提供近场换能器（NFT）。 该方法和系统包括形成具有对应于NFT的位置的形状的牺牲NFT结构。 沉积介电层。 电介质层的一部分位于牺牲NFT结构上。 至少该牺牲结构上介电层的这一部分被去除。 去除牺牲NFT结构，暴露电介质层中的NFT沟槽。 沉积至少一个用于NFT的导电层。 导电层的第一部分驻留在NFT沟槽中。 除去NFT沟槽外部的导电层的第二部分以形成NFT。

公开(公告)号：US20100296773A1

公开(公告)日：2010-11-25

申请号：US12847117

申请日：2010-07-30

申请人： Achintya K. Bhowmik ,  Nagesh K. Vodrahalli ,  Gennady Farber ,  Hai-Feng Liu ,  Hamid Eslampour ,  Ut Tran ,  William B. Wong ,  Ruolin Lin ,  Jesper Arentoft Jayaswal

发明人： Achintya K. Bhowmik ,  Nagesh K. Vodrahalli ,  Gennady Farber ,  Hai-Feng Liu ,  Hamid Eslampour ,  Ut Tran ,  William B. Wong ,  Ruolin Lin ,  Jesper Arentoft Jayaswal

IPC分类号： G02B6/36 ,  H01L31/18

CPC分类号： H01S5/141 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/73265 ,  H01S5/02248 ,  H01S5/0268 ,  H01S5/0683 ,  H01S5/4062 ,  H01S5/4087 ,  H01L2924/00014

摘要： Embodiments of an optical detection apparatus are disclosed which may include one or more of a waveguide, a trench formed in the waveguide, a reflective surface, and a photodetector. The waveguide may be formed in a semiconductor substrate to propagate an optical signal received at a first end of the waveguide. The trench may also be formed in the waveguide having a first sidewall and a second sidewall, the first and second sidewalls forming first and second angles with the waveguide's propagation direction. The second sidewall may include a reflective surface formed thereon. The photodetector may be configured to receive an optical signal propagated in the waveguide, through the first sidewall and reflected from the reflective surface on the second sidewall.

摘要翻译： 公开了一种光学检测装置的实施例，其可以包括波导，在波导中形成的沟槽，反射表面和光电检测器中的一个或多个。 波导可以形成在半导体衬底中，以传播在波导的第一端处接收的光信号。 沟槽也可以形成在具有第一侧壁和第二侧壁的波导中，第一和第二侧壁与波导的传播方向形成第一和第二角度。 第二侧壁可以包括形成在其上的反射表面。 光电检测器可以被配置为接收在波导中传播的光信号，通过第一侧壁并从第二侧壁上的反射表面反射。

公开(公告)号：US07780360B2

公开(公告)日：2010-08-24

申请号：US12176758

申请日：2008-07-21

申请人： Achintya K. Bhowmik ,  Nagesh K. Vodrahalli ,  Gennady Farber ,  Hai-Feng Liu ,  Hamid Eslampour ,  Ut Tran ,  William B. Wong ,  Ruolin Li ,  Jesper Arentoft Jayaswal

发明人： Achintya K. Bhowmik ,  Nagesh K. Vodrahalli ,  Gennady Farber ,  Hai-Feng Liu ,  Hamid Eslampour ,  Ut Tran ,  William B. Wong ,  Ruolin Li ,  Jesper Arentoft Jayaswal

IPC分类号： G02B6/36 ,  H01S3/13

CPC分类号： H01S5/141 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/73265 ,  H01S5/02248 ,  H01S5/0268 ,  H01S5/0683 ,  H01S5/4062 ,  H01S5/4087 ,  H01L2924/00014

摘要： Embodiments of an optical detection apparatus are disclosed which may include one or more of a waveguide, a trench formed in the waveguide, a reflective surface, and a photodetector. The waveguide may be formed in a semiconductor substrate to propagate an optical signal received at a first end of the waveguide. The trench may also be formed in the waveguide having a first sidewall and a second sidewall, the first and second sidewalls forming first and second angles with the waveguide's propagation direction. The second sidewall may include a reflective surface formed thereon. The photodetector may be configured to receive an optical signal propagated in the waveguide, through the first sidewall and reflected from the reflective surface on the second sidewall.

摘要翻译： 公开了一种光学检测装置的实施例，其可以包括波导，在波导中形成的沟槽，反射表面和光电检测器中的一个或多个。 波导可以形成在半导体衬底中，以传播在波导的第一端处接收的光信号。 沟槽也可以形成在具有第一侧壁和第二侧壁的波导中，第一和第二侧壁与波导的传播方向形成第一和第二角度。 第二侧壁可以包括形成在其上的反射表面。 光电检测器可以被配置为接收在波导中传播的光信号，通过第一侧壁并从第二侧壁上的反射表面反射。

公开(公告)号：US07146086B2

公开(公告)日：2006-12-05

申请号：US10609803

申请日：2003-06-30

申请人： Ut Tran ,  David A. G. Deacon ,  Shing Man Lee

发明人： Ut Tran ,  David A. G. Deacon ,  Shing Man Lee

IPC分类号： G02B6/10 ,  G02B6/00

CPC分类号： G02B6/136 ,  G02B6/1221 ,  G02B2006/12097 ,  G02B2006/12176

摘要： A well may be formed for access to an optical waveguide core by a process that results in an L-shaped well. The L-shaped well may then be filled with a polymer. By controlling the size of each portion of well, the occurrence of bubbles within the well and cuts to the core may be reduced.

摘要翻译： 可以形成用于通过导致L形阱的工艺来访问光波导芯的阱。 然后可以用聚合物填充L形孔。 通过控制井的每个部分的尺寸，可以减少井内气泡的发生以及对芯的切割。

公开(公告)号：US07071492B2

公开(公告)日：2006-07-04

申请号：US10609839

申请日：2003-06-30

申请人： Ruolin Li ,  Ut Tran

发明人： Ruolin Li ,  Ut Tran

IPC分类号： H01L27/15

CPC分类号： G02F1/065 ,  G02F1/0147 ,  G02F2201/066

摘要： A polymer well may be formed over a thermal oxide formed over a semiconductor substrate in one embodiment. The well may include a waveguide and a pair of heaters adjacent the waveguide. Each heater may be mounted on a platform of insulating material to reduce heat loss through the substrate and the thermal oxide, in one embodiment.

摘要翻译： 在一个实施例中，聚合物阱可以形成在半导体衬底上形成的热氧化物上。 阱可以包括波导和邻近波导的一对加热器。 在一个实施例中，每个加热器可以安装在绝缘材料的平台上，以减少通过基底和热氧化物的热损失。