公开(公告)号：US20110083936A1

公开(公告)日：2011-04-14

申请号：US12971086

申请日：2010-12-17

申请人： Leon Yuan ,  Steven M. Poklop ,  William D. Schlueter

发明人： Leon Yuan ,  Steven M. Poklop ,  William D. Schlueter

IPC分类号： C10G25/03

CPC分类号： B01J38/44 ,  B01D53/04 ,  B01D53/229 ,  B01D53/685 ,  B01D53/75 ,  B01D53/8662 ,  B01D2253/102 ,  B01D2253/104 ,  B01D2253/106 ,  B01D2253/108 ,  B01D2255/20 ,  B01D2255/20723 ,  B01D2255/402 ,  B01D2257/2064 ,  B01J23/96

摘要： One exemplary embodiment is a refinery or a petrochemical production facility. The refinery or petrochemical production facility can include: a) a catalyst regeneration zone; b) a halogen removal zone; and c) an elimination zone for at least one of a dioxin and a furan compound, wherein at least a portion of an effluent from the halogen removal zone is combined with a stream comprising oxygen from the catalyst regeneration zone or halogen removal zone.

摘要翻译： 一个示例性实施例是炼油厂或石化生产设施。 炼油或石油化工生产设备可以包括：a）催化剂再生区; b）卤素除去区; 和c）二恶英和呋喃化合物中的至少一种的消除区，其中来自卤素去除区的流出物的至少一部分与来自催化剂再生区或卤素除去区的包含氧的流组合。

公开(公告)号：US07736600B2

公开(公告)日：2010-06-15

申请号：US11555056

申请日：2006-10-31

申请人： Daniel O. Clark ,  Sebastien Raoux ,  Robbert M. Vermeulen ,  Shaun W. Crawford

发明人： Daniel O. Clark ,  Sebastien Raoux ,  Robbert M. Vermeulen ,  Shaun W. Crawford

IPC分类号： B01D50/00

CPC分类号： B01D53/38 ,  B01D53/68 ,  B01D53/74 ,  B01D53/79 ,  B01D53/8659 ,  B01D53/8662 ,  B01D2251/104 ,  B01D2251/106 ,  B01D2251/2062 ,  B01D2258/0216 ,  C23C16/4412 ,  F23C7/02 ,  F23D2900/00016 ,  F23G7/065 ,  F23M5/00

摘要： A thermal reactor for use during the abatement of a semiconductor manufacturing process is provided, including a thermal reaction unit having: an interior porous wall that defines a central chamber, the interior porous wall formed from a plurality of stacked porous sections; at least one gas inlet in fluid communication with the central chamber and adapted to introduce gaseous waste stream to the central chamber; a thermal mechanism positioned within the central chamber and adapted to decompose the gaseous waste stream within the central chamber, thereby forming reaction products; and a fluid delivery system adapted to provide a fluid to the central chamber through the interior porous wall at a sufficient force to reduce deposition of reaction products on an inner surface of the interior porous wall of the central chamber; wherein at least one of the porous sections has one or more of: a property that varies within the porous section; and a property that differs from a property of at least one other porous section of the interior porous wall.

摘要翻译： 提供了一种在减少半导体制造过程中使用的热反应器，包括热反应单元，其具有限定中心室的内部多孔壁，所述内部多孔壁由多个堆叠的多孔部分形成; 至少一个气体入口与中心室流体连通并且适于将气体废物流引入中心室; 位于中心室内的热机构，其适于分解中心室内的气态废物流，从而形成反应产物; 以及流体输送系统，其适于通过内部多孔壁以足够的力向中心室提供流体，以减少反应产物在中心室的内部多孔壁的内表面上的沉积; 其中所述多孔部分中的至少一个具有以下一种或多种：在所述多孔部分内变化的性质; 以及与内部多孔壁的至少另一个多孔部分的性质不同的性质。

公开(公告)号：US20090100905A1

公开(公告)日：2009-04-23

申请号：US12264037

申请日：2008-11-03

申请人： Shin TAMATA ,  Takashi YABUTANI

发明人： Shin TAMATA ,  Takashi YABUTANI

IPC分类号： G01N33/00

CPC分类号： B01D53/68 ,  B01D53/70 ,  B01D53/8659 ,  B01D53/8662 ,  B01D2257/2064 ,  G06Q10/101 ,  G06Q30/04 ,  Y02C20/30

摘要： According to a process for treating perfluorides in which a perfluoride treatment undertaker carries out decomposition treatment of perfluorides discharged from a manufacturing plant by using a perfluoride treating apparatus connected to said manufacturing plant, and the cost of treatment of perfluorides calculated according to the amount of perfluorides treated by said perfluoride treating apparatus is communicated to the owner of said manufacturing plant, it is possible to reduce the cost required for the decomposition treatment of perfluorides which cost is to be defrayed by the product manufacturer.

摘要翻译： 根据用于处理全氟化物的方法，其中全氟化物处理承包商通过使用连接到所述制造厂的全氟化物处理设备进行从制造厂排出的全氟化物的分解处理，以及根据全氟化物计算的全氟化物的处理成本 通过所述氟化物处理装置处理的所述氟化物处理装置被传送到所述制造厂的所有者，可以降低成本由产品制造商支付的全氟化物的分解处理所需的成本。

公开(公告)号：US20090081111A1

公开(公告)日：2009-03-26

申请号：US11720724

申请日：2005-11-29

申请人： Dong Jin Suh ,  Tae Jin Park ,  Young Hyun Yoon ,  Jin Soon Choi

发明人： Dong Jin Suh ,  Tae Jin Park ,  Young Hyun Yoon ,  Jin Soon Choi

IPC分类号： C01B31/18 ,  B01J23/22 ,  B01J23/34 ,  B01J27/02 ,  B01J27/053 ,  C01B31/20

CPC分类号： B01J23/22 ,  B01D53/8662 ,  B01J21/063 ,  B01J23/34 ,  B01J37/036

摘要： Disclosed are a vanadia-titania aerogel catalyst having high specific surface area and porosity, a method of preparing the same and a method of completely oxidatively-decomposing a chlorinated aromatic compound using the catalyst under air condition. The vanadia-titania aerogel catalyst of the invention is an aerogel form having many porosities and a high specific surface area obtained by performing a supercritical drying of vanadia-titania wet gel, which is prepared by a sol-gel method, with carbon dioxide and then firing the dried vanadia-titania, with a micro porosity structure being maintained, consists of vanadia and titania wherein a content of the vanadia is 1˜15 wt % of an overall catalyst weight. In addition, according to the invention, the vanadia-titania aerogel catalyst may further comprise a manganese oxide of 1-5 wt % or a sulfur component of 0.0001-1 wt %. Since the vanadia-titania aerogle catalyst of the invention has the very high conversion rate and selectivity for the complete oxidation reaction of the chlorinated aromatic compound and is very thermally stable, it can be usefully used in the oxidation reaction having a high heating value capable of generating local heat spots.

摘要翻译： 公开了具有高比表面积和孔隙率的氧化钒 - 二氧化钛气凝胶催化剂，其制备方法和使用该催化剂在空气条件下完全氧化分解氯化芳族化合物的方法。 本发明的氧化钒 - 二氧化钛气凝胶催化剂是具有许多孔隙率和高比表面积的气凝胶形式，其通过使用溶胶 - 凝胶法制备的氧化钒 - 二氧化钛湿凝胶用二氧化碳进行超临界干燥，然后 焙烧干燥的氧化钒 - 二氧化钛，保持微孔结构，由氧钒和二氧化钛组成，其中氧钒的含量为总催化剂重量的1〜15重量％。 此外，根据本发明，氧化钒 - 二氧化钛气凝胶催化剂还可以包含1-5重量％的氧化锰或0.0001-1重量％的硫成分。 由于本发明的氧化钒 - 二氧化钛气溶胶催化剂对氯化芳族化合物的完全氧化反应具有非常高的转化率和选择性，并且非常热稳定，因此可以有用地用于具有高热值的氧化反应 产生局部热点。

公开(公告)号：US07348288B1

公开(公告)日：2008-03-25

申请号：US09684173

申请日：2000-10-06

申请人： James R. Kittrell

发明人： James R. Kittrell

IPC分类号： B01J31/00 ,  B01J21/08 ,  B01J23/42 ,  B01J23/43

CPC分类号： B01J35/004 ,  B01D53/8662 ,  B01D53/8678 ,  B01D2257/2064 ,  B01D2257/708 ,  B01D2259/804 ,  B01J35/0006 ,  B01J35/002

摘要： A process comprises passing a contaminated gaseous stream through a photocatalytic stage and, thereafter, through a catalytic stage.

摘要翻译： 一种方法包括使污染的气流通过光催化阶段，然后通过催化阶段。

公开(公告)号：US20080003150A1

公开(公告)日：2008-01-03

申请号：US11673548

申请日：2007-02-09

申请人： Sebastien Raoux ,  Kuo-Chen Lin ,  Robbert Vermeulen ,  Daniel Clark ,  Stephen Tsu ,  Mehran Moalem ,  Allen Fox ,  Monique McIntosh ,  Joshua Putz ,  Eric Rieske ,  Poh Lee

发明人： Sebastien Raoux ,  Kuo-Chen Lin ,  Robbert Vermeulen ,  Daniel Clark ,  Stephen Tsu ,  Mehran Moalem ,  Allen Fox ,  Monique McIntosh ,  Joshua Putz ,  Eric Rieske ,  Poh Lee

IPC分类号： B01D53/00 ,  G05B11/00

CPC分类号： B01D53/8662 ,  B01D2257/2066 ,  C01B7/20 ,  Y02C20/30 ,  Y02P20/154

摘要： In certain aspects, a system is provided for abating perfluorocarbons (PFCs) from a gaseous waste stream that includes (1) a wet scrubber adapted to scrub a gaseous waste stream and having an outlet adapted to discharge a scrubbed gaseous waste stream; and (2) a controlled decomposition oxidation (CDO) system. The CDO system includes a CDO thermal reaction chamber that includes (a) an inlet coupled to the outlet of the wet scrubber; (b) a catalyst bed adapted to abate PFCs within the CDO thermal reaction chamber; and (c) an outlet. Numerous other aspects are provided.

摘要翻译： 在某些方面，提供了一种用于从气态废物流中减少全氟化碳（PFCs）的系统，其包括（1）适于洗涤气态废物流并具有适于排出洗涤的气态废物流的出口的湿式洗涤器; 和（2）受控分解氧化（CDO）系统。 CDO系统包括CDO热反应室，其包括（a）连接到湿式洗涤器的出口的入口; （b）适于消除CDO热反应室内的PFCs的催化剂床; 和（c）出口。 提供了许多其他方面。

公开(公告)号：US07308409B2

公开(公告)日：2007-12-11

申请号：US10090413

申请日：2002-02-28

申请人： Shin Tamata ,  Takashi Yabutani

发明人： Shin Tamata ,  Takashi Yabutani

IPC分类号： G06Q99/00 ,  G07F19/00

CPC分类号： B01D53/68 ,  B01D53/70 ,  B01D53/8659 ,  B01D53/8662 ,  B01D2257/2064 ,  G06Q10/101 ,  G06Q30/04 ,  Y02C20/30

摘要： According to a process for treating perfluorides in which a perfluoride treatment undertaker carries out decomposition treatment of perfluorides discharged from a manufacturing plant by using a perfluoride treating apparatus connected to said manufacturing plant, and the cost of treatment of perfluorides calculated according to the amount of perflorides treated by said perfluoride treating apparatus is communicated to the owner of said manufacturing plant, it is possible to reduce the cost required for the decomposition treatment of perfluorides which cost is to be defrayed by the product manufacturer.

摘要翻译： 根据用于处理全氟化物的方法，其中全氟化物处理承包商通过使用连接到所述制造厂的全氟化物处理装置进行从制造厂排出的全氟化物的分解处理，以及根据perflorides的量计算的全氟化物的处理成本 通过所述氟化物处理装置处理的所述氟化物处理装置被传送到所述制造厂的所有者，可以降低成本由产品制造商支付的全氟化物的分解处理所需的成本。

公开(公告)号：US20060258528A1

公开(公告)日：2006-11-16

申请号：US11491139

申请日：2006-07-24

申请人： Du-Soung Kim ,  Jihn-Koo Lee ,  Bong-Soo Kim ,  Seung-Jae Lee ,  Myoung-Jin Kha

发明人： Du-Soung Kim ,  Jihn-Koo Lee ,  Bong-Soo Kim ,  Seung-Jae Lee ,  Myoung-Jin Kha

IPC分类号： B01J23/00

CPC分类号： B01J21/063 ,  B01D53/865 ,  B01D53/8662 ,  B01D2257/2064 ,  B01J23/18 ,  B01J23/682 ,  B01J23/683 ,  B01J23/686 ,  B01J23/687 ,  B01J27/053 ,  B01J35/04 ,  B01J37/0242

摘要： The present invention relates to a catalyst for removing aromatic halogenated compounds comprising dioxin, carbon monoxide and nitrogen oxide simultaneously and a method for preparing the catalyst, more particularly, a catalyst comprising 0.1 to 5% by weight of vanadium, 1 to 12% by weight of metals in 6A family and 0.1 to 10% by weight of Ag in titania carrier or, alternatively, a catalyst produced by impregnating said catalyst in 0.05 to 1M sulfuric acid solution to carry out acid treatment. The catalyst according to the present invention has improved efficiency for removing 1,2-dichlorobenzene as a reactant model of dioxin and carbon monoxide rather than existing catalysts and also, alternative efficiency for removing nitrogen oxide substantially equal to commonly known catalysts, so that the catalyst can effectively control various air pollutants contained in exhaust gas.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于同时除去包含二恶英，一氧化碳和氮氧化物的芳族卤代化合物的催化剂，以及一种制备该催化剂的方法，更具体地说，涉及一种催化剂，其包含0.1-5重量％的钒，1至12重量％ 的6A族金属和0.1〜10重量％的Ag在二氧化钛载体中，或者是通过将所述催化剂浸渍在0.05〜1M硫酸溶液中进行酸处理而制备的催化剂。 根据本发明的催化剂具有提高的作为二恶英和一氧化碳的反应物模型的1,2-二氯苯的效率，而不是现有的催化剂，以及用于除去基本上等于通常已知的催化剂的氮氧化物的替代效率，使得催化剂 可有效控制废气中含有的各种空气污染物。

公开(公告)号：US20060093547A1

公开(公告)日：2006-05-04

申请号：US11294376

申请日：2005-12-06

申请人： Shuichi Kanno ,  Toshiaki Arato ,  Shinzo Ikeda ,  Ken Yasuda ,  Hisao Yamashita ,  Shigeru Azuhata ,  Shin Tamata ,  Kazuyoshi Irie

发明人： Shuichi Kanno ,  Toshiaki Arato ,  Shinzo Ikeda ,  Ken Yasuda ,  Hisao Yamashita ,  Shigeru Azuhata ,  Shin Tamata ,  Kazuyoshi Irie

IPC分类号： C01B7/19

CPC分类号： A62D3/20 ,  A62D2101/22 ,  A62D2101/49 ,  B01D53/8659 ,  B01D53/8662 ,  B01D53/8671 ,  B01D2255/2092 ,  B01D2257/204 ,  B01D2258/0216 ,  C01B7/191 ,  Y02C20/30

摘要： A gas stream containing at least one fluorine compound selected from the group consisting of compounds of carbon and fluorine, compounds of carbon, hydrogen and fluorine, compounds of sulfur and fluorine, compounds of nitrogen and fluorine and compounds of carbon, hydrogen, oxygen and fluorine is contacted with a catalyst comprising at least one of alumina, titania, zirconia and silica, preferably a catalyst comprising alumina and at least one of nickel oxide, zinc oxide and titania in the presence of steam, thereby hydrolyzing the fluorine compound at a relatively low temperature, e.g. 200.degree.-800° C., to convert the fluorine of the fluorine compound to hydrogen fluoride.

摘要翻译： 含有选自碳和氟的化合物，碳，氢和氟的化合物，硫和氟的化合物，氮和氟的化合物，碳，氢，氧和氟的化合物的至少一种氟化合物的气流 与包含氧化铝，二氧化钛，氧化锆和二氧化硅中的至少一种的催化剂接触，优选在蒸汽存在下包含氧化铝和氧化镍，氧化锌和二氧化钛中的至少一种的催化剂，从而以相对低的水解水解氟化合物 温度，例如 将该氟化合物的氟转化成氟化氢。

公开(公告)号：US20060013745A1

公开(公告)日：2006-01-19

申请号：US10892184

申请日：2004-07-16

申请人： Yi-Rong Chen

发明人： Yi-Rong Chen

IPC分类号： B01D53/34 ,  B01D50/00

CPC分类号： B01D53/8659 ,  B01D53/8662 ,  B01D2257/2027 ,  B01D2257/2047 ,  B01D2257/2066 ,  Y02C20/30

摘要： The waste-gas treating system is designed for treating the waste gas created in general semiconductor processing in production; the waste-gas treating system mainly is provided at one side of a waste-gas treating equipment, and contains therein mainly a condensing tube, a catalyst treating unit, a water treating unit and water collecting tanks; the catalyst treating unit decomposes toxic gases such as per-fluorine compound (PFC) etc. that are remained in the waste-gas treating equipment and are unable to be dealt with to thereby form non-toxic gases, and does water treating on the byproduct from dissociation, thus a function of lowering temperature can be acquired, then the gases are exhausted to the atmosphere to perform secondarily treating to reduce the content of PFC in the atmosphere and to reduce damage of the hothouse effect.

摘要翻译： 废气处理系统设计用于处理生产中通常的半导体加工产生的废气; 废气处理系统主要设置在废气处理设备的一侧，主要包括冷凝管，催化剂处理单元，水处理单元和集水箱; 催化剂处理单元分解残留在废气处理设备中的无氟化合物（PFC）等有毒气体，不能处理，从而形成无毒气体，并对副产物进行水处理 从解离出来，可以获得降低温度的功能，然后将气体排放到大气中进行二次处理以降低大气中PFC的含量并减少温室效应的损害。