公开(公告)号：US20180211823A1

公开(公告)日：2018-07-26

申请号：US15746032

申请日：2015-08-24

申请人： Daniel SEVERIN ,  Thomas GEBELE ,  Thomas LEIPNITZ ,  Applied Materials, Inc.

发明人： Daniel SEVERIN ,  Thomas GEBELE ,  Thomas LEIPNITZ

IPC分类号： H01J37/32 ,  H01L21/285 ,  H01J37/34 ,  H01L27/12 ,  C23C14/34 ,  C23C14/00 ,  C23C14/08 ,  C23C14/35

CPC分类号： H01J37/32844 ,  C23C14/0042 ,  C23C14/0063 ,  C23C14/086 ,  C23C14/3464 ,  C23C14/352 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32834 ,  H01J37/3405 ,  H01J37/3473 ,  H01J37/3494 ,  H01J2237/0203 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/24585 ,  H01J2237/332 ,  H01L21/2855 ,  H01L27/1262 ,  Y02C20/30

摘要： A apparatus for vacuum sputter deposition is described. The apparatus includes, a vacuum chamber; three or more sputter cathodes within the vacuum chamber for sputtering material on a substrate; a gas distribution system for providing a processing gas including H2 to the vacuum chamber; a vacuum system for providing a vacuum inside the vacuum chamber; and a safety arrangement for reducing the risk of an oxy-hydrogen explosion, wherein the safety arrangement comprises a dilution gas feeding unit connected to the vacuum system for dilution of the H2-content of the processing gas.

公开(公告)号：US20120012171A1

公开(公告)日：2012-01-19

申请号：US12840039

申请日：2010-07-20

申请人： Ursula Ingeborg Schmidt ,  Elisabeth Sommer ,  Inge Vermeir ,  Markus Kress ,  Niels Kuhr ,  Philipp Obermeyer ,  Daniel Severin ,  Anton Supritz

发明人： Ursula Ingeborg Schmidt ,  Elisabeth Sommer ,  Inge Vermeir ,  Markus Kress ,  Niels Kuhr ,  Philipp Obermeyer ,  Daniel Severin ,  Anton Supritz

IPC分类号： H01L31/0236 ,  H01L31/18

CPC分类号： H01L31/1884 ,  H01L31/022483 ,  H01L31/02366 ,  Y02E10/50

摘要： Methods for manufacturing a layer stack for a thin-film solar cell and layer stacks are provided. The layer stack includes a transparent substrate having a first refraction index, a transparent conductive oxide layer comprising ZnO, wherein the transparent conductive oxide layer is deposited over the substrate and has a second refraction index, and a further layer, which is deposited between the transparent conductive oxide layer and the substrate, wherein the layer has a third refraction index in a range from the first refraction index to the second refraction index, the layer comprises a metal, and wherein the layer composition has a metal content of 0.5 to 10 weight-%.

摘要翻译： 提供了用于制造用于薄膜太阳能电池和层堆叠的层堆叠的方法。 层叠包括具有第一折射率的透明衬底，包含ZnO的透明导电氧化物层，其中透明导电氧化物层沉积在衬底上并且具有第二折射率，并且另外的层沉积在透明 导电氧化物层和基板，其中该层在从第一折射率到第二折射率的范围内具有第三折射率，该层包括金属，并且其中该层组合物的金属含量为0.5至10重量％ ％。

公开(公告)号：US20090286105A1

公开(公告)日：2009-11-19

申请号：US12306568

申请日：2007-06-28

申请人： Daniel Severin ,  Matthias Wutting ,  Lothar Herlitze ,  Hansjoerg Weis

发明人： Daniel Severin ,  Matthias Wutting ,  Lothar Herlitze ,  Hansjoerg Weis

IPC分类号： B32B18/00 ,  C23C14/34

CPC分类号： C23C14/083 ,  C23C14/0021 ,  C23C14/0676

摘要： The invention relates to a method for producing a coated article (1) by deposition of at least one metal oxide layer (3, 4) on a substrate (2). An oxygen-containing sputtering atmosphere is first produced in a coating chamber. A metal oxide layer is deposited on the substrate in that oxygen-containing atmosphere by sputtering a nitrogen-containing, ceramic target.

摘要翻译： 本发明涉及一种通过在基底（2）上沉积至少一个金属氧化物层（3,4）来生产涂覆制品（1）的方法。 首先在涂布室中产生含氧溅射气氛。 通过溅射含氮陶瓷靶，在该含氧气氛中在基板上沉积金属氧化物层。

公开(公告)号：US20120255602A1

公开(公告)日：2012-10-11

申请号：US13081207

申请日：2011-04-06

申请人： Ursula Ingeborg SCHMIDT ,  Elisabeth SOMMER ,  Inge VERMEIR ,  Markus KRESS ,  Niels KUHR ,  Philipp OBERMEYER ,  Daniel SEVERIN ,  Anton SUPRITZ

发明人： Ursula Ingeborg SCHMIDT ,  Elisabeth SOMMER ,  Inge VERMEIR ,  Markus KRESS ,  Niels KUHR ,  Philipp OBERMEYER ,  Daniel SEVERIN ,  Anton SUPRITZ

IPC分类号： H01L31/0224 ,  H01L31/18 ,  B82Y99/00

CPC分类号： H01L31/1884 ,  C23C14/025 ,  C23C14/086 ,  H01L31/022466 ,  H01L31/02366 ,  Y02E10/50

摘要： A method for controlling surface morphology of a transparent conductive oxide film (TCO) is provided. A substrate is provided as a basis for forming a solar cell. Onto the substrate, a seed layer is deposited. Then, the method includes depositing the transparent conductive oxide film (TCO) above the seed layer. The seed layer is adapted to control the surface morphology of the transparent conductive oxide film. The surface of the transparent conductive oxide film is etched in order to provide a front contact of the solar cell.

摘要翻译： 提供了一种用于控制透明导电氧化膜（TCO）的表面形态的方法。 提供基板作为形成太阳能电池的基础。 在基底上沉积种子层。 然后，该方法包括在种子层上沉积透明导电氧化物膜（TCO）。 种子层适于控制透明导电氧化物膜的表面形态。 透明导电氧化膜的表面被蚀刻以提供太阳能电池的前接触。

公开(公告)号：US20120012172A1

公开(公告)日：2012-01-19

申请号：US12840061

申请日：2010-07-20

申请人： Ursula Ingeborg Schmidt ,  Elisabeth Sommer ,  Inge Vermeir ,  Markus Kress ,  Niels Kuhr ,  Philipp Obermeyer ,  Daniel Severin ,  Anton Supritz ,  Steven Verhaverbeke

发明人： Ursula Ingeborg Schmidt ,  Elisabeth Sommer ,  Inge Vermeir ,  Markus Kress ,  Niels Kuhr ,  Philipp Obermeyer ,  Daniel Severin ,  Anton Supritz ,  Steven Verhaverbeke

IPC分类号： H01L31/0224 ,  H01L31/18 ,  H01L21/283

CPC分类号： H01L31/1884 ,  C03C17/3618 ,  C03C17/3636 ,  C03C17/3642 ,  C03C17/3678 ,  C03C2217/42 ,  C03C2217/77 ,  C03C2217/944 ,  C03C2218/31 ,  C03C2218/33 ,  C23C14/021 ,  C23C14/024 ,  C23C14/086 ,  H01L31/022466 ,  H01L31/022483 ,  H01L31/072 ,  H01L31/075 ,  Y02E10/50

摘要： Methods of depositing a TCO layer on a substrate and precursor for solar cells are described. A method of depositing a TCO layer 102, 204, 404, 604 on a substrate 102, 8091 includes providing a glass substrate having a first alkali metal concentration, conditioning the glass substrate, wherein the conditioning comprises at least one step selected from the group consisting of: applying a liquid to the substrate to form a layer with a second alkali metal layer concentration higher than the first alkali metal concentration, and depositing a layer to form a layer with a second alkali metal layer concentration higher than the first alkali metal concentration, and depositing a TCO layer over the conditioned substrate

摘要翻译： 描述了在基板上沉积TCO层的方法和用于太阳能电池的前体。 在衬底102,8091上沉积TCO层102,204,404,604的方法包括提供具有第一碱金属浓度的玻璃衬底，调节玻璃衬底，其中调理包括至少一个选自以下的步骤： ：将液体施加到所述基板上以形成具有高于所述第一碱金属浓度的第二碱金属层浓度的层，以及沉积形成具有高于所述第一碱金属浓度的第二碱金属层浓度的层的层， 以及在经调理的基底上沉积TCO层

公开(公告)号：US20090272641A1

公开(公告)日：2009-11-05

申请号：US12112692

申请日：2008-04-30

申请人： Joachim Mueller ,  Daniel Severin ,  Markus Kress

发明人： Joachim Mueller ,  Daniel Severin ,  Markus Kress

IPC分类号： C23C14/00

CPC分类号： C23C14/3414 ,  C23C14/086

摘要： In the present invention a sub-stoichiometric ceramic ZnOx:Al target, with 0.3

摘要翻译： 在本发明中，使用0.3

公开(公告)号：US20120285522A1

公开(公告)日：2012-11-15

申请号：US13468915

申请日：2012-05-10

申请人： Elisabeth Sommer ,  Philipp Obermeyer ,  Thomas Zilbauer ,  Inge Vermeir ,  Daniel Severin ,  Niels Kuhr ,  Markus Kress ,  Christof Kurthen ,  Ursula Ingeborg Schmidt ,  Stefan Klein ,  Susanne Buschbaum ,  Konrad Schwanitz ,  Christian Stoemmer ,  Tobias Stolley ,  Martin Rohde ,  Andreas Rembeck

发明人： Elisabeth Sommer ,  Philipp Obermeyer ,  Thomas Zilbauer ,  Inge Vermeir ,  Daniel Severin ,  Niels Kuhr ,  Markus Kress ,  Christof Kurthen ,  Ursula Ingeborg Schmidt ,  Stefan Klein ,  Susanne Buschbaum ,  Konrad Schwanitz ,  Christian Stoemmer ,  Tobias Stolley ,  Martin Rohde ,  Andreas Rembeck

IPC分类号： H01L31/0236 ,  H01L31/18 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/076 ,  C23C14/34 ,  C23C14/08

CPC分类号： H01L31/1884 ,  H01L31/022466 ,  H01L31/022483 ,  H01L31/02366 ,  H01L31/076 ,  Y02E10/548

摘要： Method of depositing a TCO layer on a substrate, of depositing precursors of a solar cell and precursors of a solar cell are described. The methods includes DC sputtering a ZnO-containing transparent conductive oxide layer over the substrate, the substrate having a size of 1.4 m2 or above and texturing the ZnO-containing transparent conductive oxide layer, wherein the textured ZnO-containing transparent conductive oxide layer has a root means square roughness of 60 nm or below.

摘要翻译： 描述了在衬底上沉积TCO层，沉积太阳能电池的前体和太阳能电池的前体的方法。 所述方法包括在衬底上溅射含ZnO的透明导电氧化物层，所述衬底具有1.4m 2或更大的尺寸，并对含ZnO的透明导电氧化物层进行纹理化，其中织构化的含ZnO透明导电氧化物层具有 根是指60nm以下的平方粗糙度。

公开(公告)号：US20120031479A1

公开(公告)日：2012-02-09

申请号：US12854469

申请日：2010-08-11

申请人： Markus KRESS ,  Tobias REPMANN ,  Daniel SEVERIN

发明人： Markus KRESS ,  Tobias REPMANN ,  Daniel SEVERIN

IPC分类号： H01L31/0216 ,  H01L31/0236

CPC分类号： H01L31/1884 ,  H01L31/022483 ,  Y02E10/50

摘要： Methods and devices for manufacturing a TCO layer of a thin film solar cell over a transparent substrate are described. Thereby, a first ZnO-containing layer is puttered with a sputtering method selected from the group consisting of: DC-sputtering, MF-sputtering, pulsed-sputtering, and combinations thereof, over the substrate with a first set of deposition parameters, a second ZnO-containing layer is puttered with a sputtering method selected from the group consisting of: DC-sputtering, MF-sputtering, pulsed-sputtering, and combinations thereof, over the first ZnO-containing layer with a second set of deposition parameters, at least one of the deposition parameters of the second set of deposition parameters is different from the corresponding parameter of the first set of deposition parameters; and the second ZnO-containing layer is textured.

摘要翻译： 描述了在透明基板上制造薄膜太阳能电池的TCO层的方法和装置。 由此，利用第一组沉积参数在衬底上用溅射法选择第一含ZnO层，其中所述溅射方法选自DC溅射，MF溅射，脉冲溅射及其组合，第二组 至少含有ZnO层的溅镀方法是选自以下的溅射方法：DC溅射，MF溅射，脉冲溅射及其组合在第一种含ZnO层上，具有第二组沉积参数 第二组沉积参数的沉积参数之一与第一组沉积参数的相应参数不同; 并且第二含ZnO层被织构化。