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公开(公告)号：US08896832B2
公开(公告)日：2014-11-25
申请号：US13108892
申请日：2011-05-16
申请人： Andrew V. Hill , Amnon Manassen , Daniel Kandel , Vladimir Levinski , Joel Seligson , Alexander Svizher , David Y. Wang , Lawrence D. Rotter , Johannes D. de Veer
发明人： Andrew V. Hill , Amnon Manassen , Daniel Kandel , Vladimir Levinski , Joel Seligson , Alexander Svizher , David Y. Wang , Lawrence D. Rotter , Johannes D. de Veer
CPC分类号： G02B27/141 , G01N21/474 , G01N21/4788 , G01N2021/4792 , G02B27/145 , G03F7/70633
摘要： Systems and methods for discrete polarization scatterometry are provided.
摘要翻译： 提供了离散极化散射法的系统和方法。
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公开(公告)号：US20110310388A1
公开(公告)日：2011-12-22
申请号：US13108892
申请日：2011-05-16
申请人： Andrew V. Hill , Amnon Manassen , Daniel Kandel , Vladimir Levinski , Joel Seligson , Alexander Svizher , David Y. Wang , Lawrence D. Rotter , Johannes D. de Veer
发明人： Andrew V. Hill , Amnon Manassen , Daniel Kandel , Vladimir Levinski , Joel Seligson , Alexander Svizher , David Y. Wang , Lawrence D. Rotter , Johannes D. de Veer
IPC分类号： G01J4/00
CPC分类号： G02B27/141 , G01N21/474 , G01N21/4788 , G01N2021/4792 , G02B27/145 , G03F7/70633
摘要： Systems and methods for discrete polarization scatterometry are provided.
摘要翻译： 提供了离散极化散射法的系统和方法。
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公开(公告)号：US20110069312A1
公开(公告)日：2011-03-24
申请号：US12872988
申请日：2010-08-31
申请人： Daniel Kandel , Vladimir Levinski , Alexander Svizher , Joel Seligson , Andrew Hill , Ohad Bachar , Amnon Manassen , Yung-Ho Alex Chuang , Ilan Sela , Moshe Markowitz , Daria Negri , Efraim Rotem
发明人： Daniel Kandel , Vladimir Levinski , Alexander Svizher , Joel Seligson , Andrew Hill , Ohad Bachar , Amnon Manassen , Yung-Ho Alex Chuang , Ilan Sela , Moshe Markowitz , Daria Negri , Efraim Rotem
CPC分类号： G01N21/47 , G01B11/02 , G01B11/0641 , G01B2210/56 , G01N21/211 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/4792 , G01N2201/06113 , G01N2201/105 , G03F7/70625 , G03F7/70633
摘要： Various metrology systems and methods are provided.
摘要翻译： 提供了各种计量系统和方法。
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公开(公告)号：US08441639B2
公开(公告)日：2013-05-14
申请号：US12872988
申请日：2010-08-31
申请人： Daniel Kandel , Vladimir Levinski , Alexander Svizher , Joel Seligson , Andrew Hill , Ohad Bachar , Amnon Manassen , Yung-Ho Alex Chuang , Ilan Sela , Moshe Markowitz , Daria Negri , Efraim Rotem
发明人： Daniel Kandel , Vladimir Levinski , Alexander Svizher , Joel Seligson , Andrew Hill , Ohad Bachar , Amnon Manassen , Yung-Ho Alex Chuang , Ilan Sela , Moshe Markowitz , Daria Negri , Efraim Rotem
CPC分类号： G01N21/47 , G01B11/02 , G01B11/0641 , G01B2210/56 , G01N21/211 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/4792 , G01N2201/06113 , G01N2201/105 , G03F7/70625 , G03F7/70633
摘要： Various metrology systems and methods are provided.
摘要翻译： 提供了各种计量系统和方法。
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公开(公告)号：US09164397B2
公开(公告)日：2015-10-20
申请号：US13188623
申请日：2011-07-22
申请人： Amnon Manassen , Daniel Kandel , Moshe Baruch , Joel L. Seligson , Alexander Svizher , Guy Cohen , Efraim Rotem , Ohad Bachar , Daria Negri , Noam Sapiens
发明人： Amnon Manassen , Daniel Kandel , Moshe Baruch , Joel L. Seligson , Alexander Svizher , Guy Cohen , Efraim Rotem , Ohad Bachar , Daria Negri , Noam Sapiens
CPC分类号： G03F7/70633 , G01N21/55 , G03F7/70616
摘要： The present invention includes an illumination source, at least one illumination symmetrization module (ISM) configured to symmetrize at least a portion of light emanating from the illumination source, a first beam splitter configured to direct a first portion of light processed by the ISM along an object path to a surface of one or more specimens and a second portion of light processed by the ISM along a reference path, and a detector disposed along a primary optical axis, wherein the detector is configured to collect a portion of light reflected from the surface of the one or more specimens.
摘要翻译： 本发明包括照明源，至少一个照明对称化模块（ISM），被配置为对来自照明源发出的光的至少一部分进行对称;第一分束器，被配置为将由ISM处理的光的第一部分沿着 一个或多个样本的表面的物体路径和沿着基准路径由ISM处理的光的第二部分以及沿着主光轴布置的检测器，其中检测器被配置为收集从表面反射的光的一部分 的一个或多个标本。
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公开(公告)号：US20120033226A1
公开(公告)日：2012-02-09
申请号：US13188623
申请日：2011-07-22
申请人： Amnon Manassen , Daniel Kandel , Moshe Baruch , Joel L. Seligson , Alexander Svizher , Guy Cohen , Efraim Rotem , Ohad Bachar , Daria Negri , Noam Sapiens
发明人： Amnon Manassen , Daniel Kandel , Moshe Baruch , Joel L. Seligson , Alexander Svizher , Guy Cohen , Efraim Rotem , Ohad Bachar , Daria Negri , Noam Sapiens
CPC分类号： G03F7/70633 , G01N21/55 , G03F7/70616
摘要： The present invention includes an illumination source, at least one illumination symmetrization module (ISM) configured to symmetrize at least a portion of light emanating from the illumination source, a first beam splitter configured to direct a first portion of light processed by the ISM along an object path to a surface of one or more specimens and a second portion of light processed by the ISM along a reference path, and a detector disposed along a primary optical axis, wherein the detector is configured to collect a portion of light reflected from the surface of the one or more specimens.
摘要翻译： 本发明包括照明源，至少一个照明对称化模块（ISM），被配置为对来自照明源发出的光的至少一部分进行对称;第一分束器，被配置为将由ISM处理的光的第一部分沿着 一个或多个样本的表面的物体路径和沿着基准路径由ISM处理的光的第二部分以及沿着主光轴布置的检测器，其中检测器被配置为收集从表面反射的光的一部分 的一个或多个标本。
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7.发明申请公开(公告)号：US20090303482A1
公开(公告)日：2009-12-10
申请号：US12455640
申请日：2009-06-04
IPC分类号： G01B11/00
CPC分类号： H01L21/67294 , H01L21/68
摘要： A semiconductor wafer may include a dummy field configured to enable overlay measurements. The enhanced dummy field may include a plurality of encoding blocs that enable OVL measurements to be made throughout the enhanced dummy field.
摘要翻译： 半导体晶片可以包括被配置为实现覆盖测量的虚拟场。 增强的伪字段可以包括能够在增强的伪字段中进行OVL测量的多个编码块。
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8.发明授权公开(公告)号：US08390808B1
公开(公告)日：2013-03-05
申请号：US13548656
申请日：2012-07-13
IPC分类号： G01B11/00
CPC分类号： H01L21/67294 , H01L21/68
摘要： A semiconductor wafer may include a dummy field configured to enable overlay measurements. The enhanced dummy field may include a plurality of encoding blocs that enable OVL measurements to be made throughout the enhanced dummy field.
摘要翻译： 半导体晶片可以包括被配置为实现覆盖测量的虚拟场。 增强的伪字段可以包括能够在增强的伪字段中进行OVL测量的多个编码块。
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9.发明授权公开(公告)号：US08243273B2
公开(公告)日：2012-08-14
申请号：US12455640
申请日：2009-06-04
IPC分类号： G01B11/00
CPC分类号： H01L21/67294 , H01L21/68
摘要： A semiconductor wafer may include a dummy field configured to enable overlay measurements. The enhanced dummy field may include a plurality of encoding blocs that enable OVL measurements to be made throughout the enhanced dummy field.
摘要翻译： 半导体晶片可以包括被配置为实现覆盖测量的虚拟场。 增强的伪字段可以包括能够在增强的伪字段中进行OVL测量的多个编码块。
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